4 düym 6 düymlük litium niobat tək kristal plyonka LNOI vaflisi
LNOI materiallarının hazırlanması prosesi əsasən aşağıdakı dörd mərhələyə bölünür
(1) O ionları müəyyən enerji ilə X-kəsilmiş litium niobat materialına vuruldu və litium niobatın səth qatının altında müəyyən bir dərinlikdə qüsur təbəqəsinə daxil edildi;
(2) İon implantasiya edilmiş litium niobat materialı yapışdırıcı struktur yaratmaq üçün oksid təbəqəsi ilə silikon substrata yapışdırılır;
(3) He ion implantasiyası nəticəsində yaranan qüsurları təkamül etmək və çatlar əmələ gətirmək üçün birləşmə strukturu tavlanmışdır. Nəhayət, litium niobat qalıq litium niobat dilimləri və LNOI vafliləri yaratmaq üçün qüsur təbəqəsi boyunca ayrıldı.
LNOI vaflisinin tətbiqləri və üstünlükləri
1--Lityum niobat pyezoelektrik filmləri (LNOI) yüksək piezoelektrik əmsala və mexaniki enerjini elektrik enerjisinə və ya elektrik enerjisini mexaniki enerjiyə çevirə bilən dielektrik sabitliyə malikdir. Buna görə də, təzyiq sensorları, sürətləndirici sensorlar, temperatur sensorları və s. kimi sensorlar sahəsində geniş istifadə olunur. Bundan əlavə, litium niobat pyezoelektrik filmi akustik cihazlarda və vibrasiya cihazlarında da istifadə edilə bilər, məsələn, piezoelektrik keramika çevirici kompleksi piezoelektrik keramika filtri.
2-Litium niobat pyezoelektrik filmin sabitliyi də onun üstünlüklərindən biridir. Kristal strukturunun sabitliyi və kimyəvi təsirsizliyi sayəsində litium niobat piezoelektrik filmi yüksək temperaturda, yüksək rütubətdə, güclü turşuda, güclü qələvidə və digər sərt mühitlərdə yaxşı korroziyaya davamlılıq və davamlılıq ilə işləyə bilər.
3-Lityum niobat pyezoelektrik film əla performansa və sabitliyə malik yeni piezoelektrik materialdır və geniş tətbiq perspektivinə malikdir. Elm və texnologiyanın davamlı inkişafı ilə litium niobat piezoelektrik film daha çox şəhərdə tətbiq olunacaq və insanların həyatına daha çox rahatlıq və yenilik gətirəcəkdir.