6 düymlük Polikristal SiC kompozit substrat üzərində keçirici tək kristal SiC Diametri 150 mm P tipli N tipli

Qısa Təsvir:

Polikristal SiC kompozit substrat üzərindəki 6 düymlük keçirici monokristal SiC, yüksək güclü, yüksək temperaturlu və yüksək tezlikli elektron cihazlar üçün hazırlanmış innovativ silikon karbid (SiC) material həllini təmsil edir. Bu substrat, monokristal SiC-nin üstün elektrik xüsusiyyətlərini polikristal SiC-nin qiymət üstünlükləri ilə birləşdirən ixtisaslaşmış proseslər vasitəsilə polikristal SiC bazasına bağlanmış tək kristal SiC aktiv təbəqəsinə malikdir.
Ənənəvi tam monokristal SiC substratları ilə müqayisədə, polikristal SiC kompozit substrat üzərindəki 6 düymlük keçirici monokristal SiC, istehsal xərclərini əhəmiyyətli dərəcədə azaltmaqla yanaşı, yüksək elektron hərəkətliliyini və yüksək gərginlikli müqaviməti qoruyur. Onun 6 düymlük (150 mm) lövhə ölçüsü mövcud yarımkeçirici istehsal xətləri ilə uyğunluğu təmin edir və miqyaslı istehsala imkan verir. Bundan əlavə, keçirici dizayn güc cihazlarının istehsalında (məsələn, MOSFET-lər, diodlar) birbaşa istifadəyə imkan verir, əlavə aşqarlama proseslərinə ehtiyacı aradan qaldırır və istehsal iş axınlarını sadələşdirir.


Xüsusiyyətlər

Texniki parametrlər

Ölçü:

6 düym

Diametr:

150 mm

Qalınlıq:

400-500 μm

Monokristal SiC Film Parametrləri

Politip:

4H-SiC və ya 6H-SiC

Dopinq Konsentrasiyası:

1×10¹⁴ - 1×10¹⁸ sm⁻³

Qalınlıq:

5-20 μm

Vərəq Müqaviməti:

10-1000 Ω/kv

Elektron Mobilliyi:

800-1200 sm²/Vs

Çuxur Hərəkətliliyi:

100-300 sm²/Vs

Polikristal SiC Bufer Layer Parametrləri

Qalınlıq:

50-300 μm

İstilik keçiriciliyi:

150-300 Vt/m·K

Monokristal SiC Substrat Parametrləri

Politip:

4H-SiC və ya 6H-SiC

Dopinq Konsentrasiyası:

1×10¹⁴ - 1×10¹⁸ sm⁻³

Qalınlıq:

300-500 μm

Taxıl Ölçüsü:

> 1 mm

Səth pürüzlülüyü:

<0.3 mm RMS

Mexaniki və Elektrik Xüsusiyyətləri

Sərtlik:

9-10 Mohs

Sıxılma gücü:

3-4 GPa

Dartılma Gücü:

0.3-0.5 GPa

Ərazi Gücü:

> 2 MV/sm

Ümumi Doza Tolerantlığı:

> 10 Mrad

Tək Hadisə Təsiri Müqaviməti:

> 100 MeV·sm²/mq

İstilik keçiriciliyi:

150-380 Vt/m·K

İşləmə Temperaturu Aralığı:

-55 ilə 600°C arasında

 

Əsas Xüsusiyyətlər

Polikristal SiC kompozit substrat üzərindəki 6 düymlük keçirici monokristal SiC, material strukturu və performansının unikal balansını təklif edir və bu da onu tələbkar sənaye mühitləri üçün uyğun edir:

1. Xərclərin səmərəliliyi: Polikristal SiC bazası tam monokristal SiC ilə müqayisədə xərcləri əhəmiyyətli dərəcədə azaldır, monokristal SiC aktiv təbəqəsi isə cihaz səviyyəli performansı təmin edir və xərclərə həssas tətbiqlər üçün idealdır.

2. İstisna Elektrik Xüsusiyyətləri: Monokristal SiC təbəqəsi yüksək daşıyıcı hərəkətliliyi (>500 sm²/V·s) və aşağı qüsur sıxlığı nümayiş etdirir, yüksək tezlikli və yüksək güclü cihaz işləməsini dəstəkləyir.

3. Yüksək Temperatur Sabitliyi: SiC-nin özünəməxsus yüksək temperatur müqaviməti (>600°C) kompozit substratın ekstremal şəraitdə sabit qalmasını təmin edir və bu da onu elektrikli nəqliyyat vasitələri və sənaye mühərrikləri üçün uyğun edir.

4.6 düymlük Standartlaşdırılmış Plitənin Ölçüsü: Ənənəvi 4 düymlük SiC substratları ilə müqayisədə 6 düymlük format çip məhsuldarlığını 30%-dən çox artırır və cihaz vahidi xərclərini azaldır.

5. Keçirici Dizayn: Əvvəlcədən aşqarlanmış N-tipli və ya P-tipli təbəqələr cihaz istehsalında ion implantasiyası mərhələlərini minimuma endirir, istehsal səmərəliliyini və məhsuldarlığı artırır.

6. Üstün İstilik İdarəetməsi: Polikristal SiC bazasının istilik keçiriciliyi (~120 Vt/m·K) monokristal SiC-yə yaxınlaşır və yüksək güclü cihazlarda istilik yayılması problemlərini effektiv şəkildə həll edir.

Bu xüsusiyyətlər, polikristal SiC kompozit substratı üzərində 6 düymlük keçirici monokristal SiC-ni bərpa olunan enerji, dəmir yolu nəqliyyatı və aerokosmik kimi sənaye sahələri üçün rəqabətli bir həll yolu kimi təqdim edir.

Əsas Tətbiqlər

Polikristal SiC kompozit substrat üzərində 6 düymlük keçirici monokristal SiC, yüksək tələbat olan bir neçə sahədə uğurla tətbiq edilmişdir:
1. Elektrikli Nəqliyyat Vasitələrinin Gücləndiriciləri: İnverter səmərəliliyini artırmaq və batareya diapazonunu genişləndirmək üçün yüksək gərginlikli SiC MOSFET-lərində və diodlarında istifadə olunur (məsələn, Tesla, BYD modelləri).

2. Sənaye Mühərrikləri: Ağır maşınqayırma və külək turbinlərində enerji istehlakını azaldaraq yüksək temperaturlu, yüksək kommutasiya tezlikli güc modullarını işə salır.

3. Fotovoltaik İnverterlər: SiC cihazları günəş enerjisinin çevrilmə səmərəliliyini artırır (>99%), kompozit substrat isə sistem xərclərini daha da azaldır.

4. Dəmir yolu nəqliyyatı: Yüksək sürətli dəmir yolu və metro sistemləri üçün dartma çeviricilərində tətbiq olunur, yüksək gərginlikli müqavimət (>1700V) və kompakt forma faktorları təklif edir.

5. Aerokosmik: Peyk enerji sistemləri və təyyarə mühərriki idarəetmə dövrələri üçün idealdır, həddindən artıq temperatur və radiasiyaya davam gətirə bilir.

Praktik istehsalda, polikristal SiC kompozit substratı üzərindəki 6 düymlük keçirici monokristal SiC, əlavə kapital qoyuluşu tələb etməyən standart SiC cihaz prosesləri (məsələn, litoqrafiya, aşındırma) ilə tam uyğundur.

XXKH Xidmətləri

XKH, polikristal SiC kompozit substratı üzərində 6 düymlük keçirici monokristal SiC üçün hərtərəfli dəstək təmin edir və Ar-Ge-dən kütləvi istehsala qədər əhatə edir:

1. Fərdiləşdirmə: Müxtəlif cihaz tələblərinə cavab vermək üçün tənzimlənən monokristal təbəqə qalınlığı (5–100 μm), aşqarlama konsentrasiyası (1e15–1e19 sm⁻³) və kristal istiqaməti (4H/6H-SiC).

2. Plitənin emalı: Qoş və işlə inteqrasiyası üçün arxa tərəfinin incəldilməsi və metalizasiya xidmətləri ilə 6 düymlük substratların toplu təchizatı.

3. Texniki Təsdiqləmə: Materialın keyfiyyətini sürətləndirmək üçün XRD kristallik analizi, Hall effekti testi və istilik müqavimətinin ölçülməsi daxildir.

4. Sürətli Prototipləmə: Tədqiqat müəssisələri üçün inkişaf dövrlərini sürətləndirmək üçün 2-4 düymlük nümunələr (eyni proses).

5. Xətaların Təhlili və Optimallaşdırılması: Emal problemləri üçün material səviyyəli həllər (məsələn, epitaksial təbəqə qüsurları).

Missiyamız, prototipləmədən həcm istehsalına qədər hərtərəfli dəstək təklif edərək, SiC güc elektronikası üçün üstünlük verilən xərc-səmərəlilik həlli kimi polikristal SiC kompozit substratı üzərində 6 düymlük keçirici monokristal SiC-ni yaratmaqdır.

Nəticə

Polikristal SiC kompozit substrat üzərindəki 6 düymlük keçirici monokristal SiC, innovativ mono/polikristal hibrid strukturu sayəsində performans və qiymət arasında irəliləyiş əldə edir. Elektrikli nəqliyyat vasitələri çoxaldıqca və Sənaye 4.0 inkişaf etdikcə, bu substrat yeni nəsil güc elektronikası üçün etibarlı maddi təməl təmin edir. XKH, SiC texnologiyasının potensialını daha da araşdırmaq üçün əməkdaşlığı alqışlayır.

Polikristal SiC kompozit substrat üzərində 6 düymlük tək kristal SiC 2
Polikristal SiC kompozit substrat üzərində 6 düymlük tək kristal SiC 3

  • Əvvəlki:
  • Növbəti:

  • Mesajınızı buraya yazın və bizə göndərin