8 düymlük SiC İstehsal dərəcəli vafli 4H-N SiC substratı

Qısa təsvir:

8 düymlük SiC substratları güclü MOSFET-lər (Metal Oksid Yarımkeçirici Sahə Təsirli Transistorlar), Schottky diodları və digər güclü yarımkeçirici cihazlar kimi yüksək güclü elektron cihazlarda istifadə olunur.

Bizə e-poçt göndərin

Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

Aşağıdakı cədvəl 8 düymlük SiC vaflilərimizin xüsusiyyətlərini göstərir:

8 düym N tipli SiC DSP Xüsusiyyətləri
Nömrə	Maddə	Vahid	İstehsal	Araşdırma	dummy
1: parametrlər
1.1	politip	--	4H	4H	4H
1.2	səth oriyentasiyası	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: Elektrik parametri
2.1	dopant	--	n-tipli azot	n-tipli azot	n-tipli azot
2.2	müqavimət	ohm · sm	0,015~0,025	0,01~0,03	NA
3: Mexaniki parametr
3.1	diametri	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	qalınlığı	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Çentik oriyentasiyası	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Çəngəl dərinliyi	mm	1~1,5	1~1,5	1~1,5
3.5	LTV	μm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Yay	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Çarpma	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: Quruluş
4.1	mikroborunun sıxlığı	e/sm2	≤2	≤10	≤50
4.2	metal tərkibi	atomlar/sm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	e/sm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	e/sm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	e/sm2	≤7000	≤10000	NA
5.Ön keyfiyyət
5.1	ön	--	Si	Si	Si
5.2	səthi bitirmə	--	Si-üzlü CMP	Si-üzlü CMP	Si-üzlü CMP
5.3	hissəcik	ea / gofret	≤100(ölçü≥0.3μm)	NA	NA
5.4	cızmaq	ea / gofret	≤5,Ümumi Uzunluq≤200mm	NA	NA
5.5	Kənar çiplər / girintilər / çatlar / ləkələr / çirklənmə	--	Heç biri	Heç biri	NA
5.6	Politip sahələr	--	Heç biri	Sahə ≤10%	Sahə ≤30%
5.7	ön işarələmə	--	Heç biri	Heç biri	Heç biri
6: Arxa keyfiyyət
6.1	arxa finiş	--	C üzlü deputat	C üzlü deputat	C üzlü deputat
6.2	cızmaq	mm	NA	NA	NA
6.3	Arxa qüsurların kənarı çiplər / girintilər	--	Heç biri	Heç biri	NA
6.4	Arxa pürüzlülük	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Geri işarələmə	--	çentik	çentik	çentik
7: kənar
7.1	kənar	--	pax	pax	pax
8: Paket
8.1	qablaşdırma	--	Vakuum ilə epi-hazır qablaşdırma	Vakuum ilə epi-hazır qablaşdırma	Vakuum ilə epi-hazır qablaşdırma
8.2	qablaşdırma	--	Çox vafli kaset qablaşdırması	Çox vafli kaset qablaşdırması	Çox vafli kaset qablaşdırması