8 düymlük SiC İstehsal dərəcəli vafli 4H-N SiC substratı
Aşağıdakı cədvəldə 8 düymlük SiC vaflilərimizin texniki xüsusiyyətləri göstərilir:
| 8 düym N tipli SiC DSP Xüsusiyyətləri | |||||
| Nömrə | Maddə | Vahid | İstehsal | Araşdırma | dummy |
| 1: parametrlər | |||||
| 1.1 | politip | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | səth oriyentasiyası | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Elektrik parametri | |||||
| 2.1 | dopant | -- | n-tipli azot | n-tipli azot | n-tipli azot |
| 2.2 | müqavimət | ohm · sm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Mexaniki parametr | |||||
| 3.1 | diametri | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | qalınlığı | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Çentik oriyentasiyası | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Çəngəl dərinliyi | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Yay | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Çarpma | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Quruluş | |||||
| 4.1 | mikroborunun sıxlığı | e/sm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metal tərkibi | atomlar/sm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | e/sm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | e/sm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | e/sm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5.Ön keyfiyyət | |||||
| 5.1 | ön | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | səthi bitirmə | -- | Si-üzlü CMP | Si-üzlü CMP | Si-üzlü CMP |
| 5.3 | hissəcik | ea / gofret | ≤100(ölçü≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | cızmaq | ea / gofret | ≤5,Ümumi Uzunluq≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Kənar çiplər / girintilər / çatlar / ləkələr / çirklənmə | -- | Heç biri | Heç biri | NA |
| 5.6 | Politip sahələr | -- | Heç biri | Sahə ≤10% | Sahə ≤30% |
| 5.7 | ön işarələmə | -- | Heç biri | Heç biri | Heç biri |
| 6: Arxa keyfiyyət | |||||
| 6.1 | arxa finiş | -- | C üzlü deputat | C üzlü deputat | C üzlü deputat |
| 6.2 | cızmaq | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Arxa qüsurların kənarı çiplər / girintilər | -- | Heç biri | Heç biri | NA |
| 6.4 | Arxa pürüzlülük | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Geri işarələmə | -- | çentik | çentik | çentik |
| 7: kənar | |||||
| 7.1 | kənar | -- | pax | pax | pax |
| 8: Paket | |||||
| 8.1 | qablaşdırma | -- | Vakuum ilə epi-hazır qablaşdırma | Vakuum ilə epi-hazır qablaşdırma | Vakuum ilə epi-hazır qablaşdırma |
| 8.2 | qablaşdırma | -- | Çox vafli kaset qablaşdırması | Çox vafli kaset qablaşdırması | Çox vafli kaset qablaşdırması |
Ətraflı Diaqram
Mesajınızı buraya yazın və bizə göndərin
