8 düymlük SiC İstehsal dərəcəli lövhə 4H-N SiC substratı
Aşağıdakı cədvəldə 8 düymlük SiC lövhələrimizin xüsusiyyətləri göstərilir:
| 8 düymlük N tipli SiC DSP Xüsusiyyətləri | |||||
| Nömrə | Məhsul | Vahid | İstehsal | Tədqiqat | Kukla |
| 1:parametrlər | |||||
| 1.1 | politip | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | səth istiqaməti | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Elektrik parametri | |||||
| 2.1 | aşqar | -- | n-tipli azot | n-tipli azot | n-tipli azot |
| 2.2 | müqavimət | ohm ·sm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: Mexaniki parametr | |||||
| 3.1 | diametr | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | qalınlıq | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Çentik istiqaməti | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Çentik Dərinliyi | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Yay | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Əyilmə | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Quruluş | |||||
| 4.1 | mikro boru sıxlığı | ea/sm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metal tərkibi | atomlar/sm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/sm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/sm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/sm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5.Ön keyfiyyət | |||||
| 5.1 | ön | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | səth örtüyü | -- | Si üzlü CMP | Si üzlü CMP | Si üzlü CMP |
| 5.3 | hissəcik | ea/wafli | ≤100 (ölçü≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | cızmaq | ea/wafli | ≤5, Ümumi Uzunluq ≤200 mm | NA | NA |
| 5.5 | Kənar qırıntılar/çuxurlar/çatlamalar/ləkələr/çirklənmə | -- | Heç biri | Heç biri | NA |
| 5.6 | Politip sahələr | -- | Heç biri | Sahə ≤10% | Sahə ≤30% |
| 5.7 | ön işarələmə | -- | Heç biri | Heç biri | Heç biri |
| 6: Arxa keyfiyyət | |||||
| 6.1 | arxa cilalama | -- | C-üzlü MP | C-üzlü MP | C-üzlü MP |
| 6.2 | cızmaq | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Arxa qüsurların kənarı çiplər/girişlər | -- | Heç biri | Heç biri | NA |
| 6.4 | Bel nahamarlığı | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Arxa işarələmə | -- | Çənə | Çənə | Çənə |
| 7: kənar | |||||
| 7.1 | kənar | -- | Paxla | Paxla | Paxla |
| 8: Paket | |||||
| 8.1 | qablaşdırma | -- | Vakuumla Epi-hazır qablaşdırma | Vakuumla Epi-hazır qablaşdırma | Vakuumla Epi-hazır qablaşdırma |
| 8.2 | qablaşdırma | -- | Çoxvariantlı kaset qablaşdırması | Çoxvariantlı kaset qablaşdırması | Çoxvariantlı kaset qablaşdırması |
Ətraflı Diaqram
Əlaqəli Məhsullar
Mesajınızı buraya yazın və bizə göndərin