Yarımkeçirici, Fotonik Optik Tətbiqlər üçün Yüksək Təmizlikli Əridilmiş Kvars Vafliləri 2″4″6″8″12″
Ətraflı Diaqram
Kvars şüşəsinə ümumi baxış
Kvars vafliləri günümüzün rəqəmsal dünyasını idarə edən saysız-hesabsız müasir cihazların əsasını təşkil edir. Smartfonunuzdakı naviqasiyadan tutmuş 5G baza stansiyalarının onurğa sütununa qədər kvars yüksək performanslı elektronika və fotonikada tələb olunan sabitliyi, saflığı və dəqiqliyi sakitcə təmin edir. İstər çevik sxemləri dəstəkləmək, istər MEMS sensorlarını işə salmaq, istərsə də kvant hesablamaları üçün əsas yaratmaq, kvarsın unikal xüsusiyyətləri onu bütün sənayelər üçün əvəzolunmaz edir.
Kvarsın (SiO2) amorf fazası olan "Əridilmiş Silisium" və ya "Əridilmiş Kvars". Borosilikat şüşədən fərqli olaraq, əridilmiş silisiumun əlavələri yoxdur; deməli, o, təmiz formada, SiO2-də mövcuddur. Qaynadılmış silisium adi şüşə ilə müqayisədə infraqırmızı və ultrabənövşəyi spektrdə daha yüksək ötürmə qabiliyyətinə malikdir. Erimiş silisium çox təmiz SiO2-nin əridilməsi və yenidən bərkidilməsi nəticəsində əldə edilir. Digər tərəfdən sintetik əridilmiş silisium qazlaşdırılan və sonra H2 + O2 atmosferində oksidləşən SiCl4 kimi silisiumla zəngin kimyəvi prekursorlardan hazırlanır. Bu halda əmələ gələn SiO2 tozu substratda silisiumla əridilir. Birləşdirilmiş silisium blokları vaflilərə kəsilir, bundan sonra vaflilər nəhayət cilalanır.
Kvars şüşə vaflisinin əsas xüsusiyyətləri və üstünlükləri
-
Ultra Yüksək Saflıq (≥99,99% SiO2)
Materialın çirklənməsinin minimuma endirilməli olduğu ultra təmiz yarımkeçirici və fotonik proseslər üçün idealdır. -
Geniş termal əməliyyat diapazonu
Kriogen temperaturdan 1100°C-dən yuxarıya qədər struktur bütövlüyünü əyilmə və ya deqradasiya olmadan saxlayır. -
Görkəmli UV və IR ötürülməsi
Dərin ultrabənövşəyi şüalardan (DUV) yaxın infraqırmızı (NIR) vasitəsilə mükəmməl optik aydınlıq verir və dəqiq optik tətbiqləri dəstəkləyir. -
Aşağı istilik genişlənmə əmsalı
Temperatur dəyişkənliyi altında ölçü sabitliyini artırır, stressi azaldır və prosesin etibarlılığını artırır. -
Üstün Kimyəvi Müqavimət
Əksər turşulara, qələvilərə və həlledicilərə qarşı təsirsizdir, bu onu kimyəvi cəhətdən aqressiv mühitlər üçün yaxşı uyğunlaşdırır. -
Səthi bitirmə elastikliyi
Fotonik və MEMS tələblərinə uyğun ultra hamar, tək və ya ikitərəfli cilalanmış örtüklərlə mövcuddur.
Kvars şüşə vaflisinin istehsal prosesi
Ərinmiş kvars vafliləri bir sıra idarə olunan və dəqiq addımlarla istehsal olunur:
-
Xammal seçimi
Yüksək təmizlikdə təbii kvars və ya sintetik SiO₂ mənbələrinin seçilməsi. -
Ərimə və Fusion
Kvars daxilolmaları və qabarcıqları aradan qaldırmaq üçün idarə olunan atmosfer altında elektrik sobalarında ~2000°C-də əridilir. -
Blokların formalaşması
Ərinmiş silisium bərk bloklara və ya külçələrə soyudulur. -
Vafli dilimləmə
Dəqiq almaz və ya məftil mişarları külçələri vafli blanklara kəsmək üçün istifadə olunur. -
Ləkələmə və Cilalama
Hər iki səth dəqiq optik, qalınlıq və pürüzlülük spesifikasiyalarına cavab vermək üçün düzəldilir və cilalanır. -
Təmizləmə və Təftiş
Vaflilər ISO Class 100/1000 təmiz otaqlarda təmizlənir və qüsurlar və ölçü uyğunluğu üçün ciddi yoxlamaya məruz qalır.
Kvars şüşə vaflisinin xüsusiyyətləri
| spesifikasiya | vahid | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Diametr / ölçü (və ya kvadrat) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Tolerantlıq (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Qalınlıq | mm | 0,10 və ya daha çox | 0,30 və ya daha çox | 0,40 və ya daha çox | 0,50 və ya daha çox | 0,50 və ya daha çox |
| Əsas istinad mənzili | mm | 32.5 | 57.5 | Yarım çentikli | Yarım çentikli | Yarım çentikli |
| LTV (5mm×5mm) | μm | < 0,5 | < 0,5 | < 0,5 | < 0,5 | < 0,5 |
| TTV | μm | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
| Yay | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Çarpma | μm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5mm×5mm) < 0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Kenarların yuvarlaqlaşdırılması | mm | SEMI M1.2 Standartına uyğundur / IEC62276-a baxın | ||||
| Səth növü | Tək tərəfli cilalanmış / cüt tərəfli cilalanmış | |||||
| Cilalanmış yan Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Arxa tərəf meyarları | μm | ümumi 0.2-0.7 və ya fərdi | ||||
Kvars Digər Şəffaf Materiallara qarşı
| Əmlak | Kvars şüşəsi | Borosilikat şüşə | Safir | Standart şüşə |
|---|---|---|---|---|
| Maksimum İşləmə Temp | ~1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| UV ötürülməsi | Əla (JGS1) | Yazıq | yaxşı | Çox kasıb |
| Kimyəvi Müqavimət | Əla | Orta | Əla | Yazıq |
| Saflıq | Son dərəcə yüksək | Aşağıdan orta səviyyəyə qədər | Yüksək | Aşağı |
| Termal genişlənmə | Çox aşağı | Orta | Aşağı | Yüksək |
| Xərc | Orta və yüksək | Aşağı | Yüksək | Çox aşağı |
Kvars Şüşə Gofreti haqqında FAQ
S1: Ərinmiş kvars və əridilmiş silisium arasındakı fərq nədir?
Hər ikisi SiO₂-nin amorf formaları olsa da, əridilmiş kvars adətən təbii kvars mənbələrindən qaynaqlanır, əridilmiş silisium isə sintetik olaraq istehsal olunur. Funksional olaraq, onlar oxşar performans təklif edirlər, lakin əridilmiş silisium bir qədər yüksək təmizliyə və homojenliyə malik ola bilər.
S2: Ərinmiş kvars vafliləri yüksək vakuumlu mühitlərdə istifadə edilə bilərmi?
Bəli. Aşağı qaz xassələri və yüksək istilik müqavimətinə görə əridilmiş kvars vafliləri vakuum sistemləri və aerokosmik tətbiqlər üçün əladır.
3-cü sual: Bu vaflilər dərin UV lazer tətbiqləri üçün uyğundurmu?
Tamamilə. Birləşdirilmiş kvars ~ 185 nm-ə qədər yüksək keçiriciliyə malikdir, bu da onu DUV optikləri, litoqrafiya maskaları və eksimer lazer sistemləri üçün ideal edir.
S4: Siz xüsusi vafli istehsalı dəstəkləyirsiniz?
Bəli. Biz sizin xüsusi tətbiq tələbləriniz əsasında diametri, qalınlığı, səth keyfiyyəti, düzlər/çəntiklər və lazer naxışları daxil olmaqla tam fərdiləşdirmə təklif edirik.
Haqqımızda
XKH xüsusi optik şüşə və yeni kristal materialların yüksək texnologiyalı inkişafı, istehsalı və satışı üzrə ixtisaslaşmışdır. Məhsullarımız optik elektronika, istehlak elektronikası və orduya xidmət edir. Biz Sapphire optik komponentləri, mobil telefon linzaları, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Kvars və yarımkeçirici kristal vafliləri təklif edirik. Bacarıqlı təcrübə və qabaqcıl avadanlıqla, biz qabaqcıl optoelektronik materialların yüksək texnologiyalı müəssisəsi olmağı qarşısına məqsəd qoyaraq qeyri-standart məhsul emalı sahəsində üstünyük.
