Yarımkeçiricilər, Fotonika Optik Tətbiqləri üçün Yüksək Saflıqlı Əridilmiş Kvars Lövhələri 2″4″6″8″12″
Ətraflı Diaqram
Kvars Şüşəsinə Baxış
Kvars lövhələri bugünkü rəqəmsal dünyanı idarə edən saysız-hesabsız müasir cihazların onurğa sütununu təşkil edir. Smartfonunuzdakı naviqasiyadan tutmuş 5G baza stansiyalarının əsas sütununa qədər kvars yüksək performanslı elektronika və fotonika üçün tələb olunan sabitliyi, təmizliyi və dəqiqliyi sakitcə təmin edir. İstər çevik dövrəni dəstəkləsin, istər MEMS sensorlarını aktivləşdirsin, istərsə də kvant hesablamaları üçün əsas yaratsın, kvarsın unikal xüsusiyyətləri onu bütün sənaye sahələrində əvəzolunmaz edir.
Kvarsın (SiO2) amorf fazası olan “Əridilmiş Silika” və ya “Əridilmiş Kvars”. Borosilikat şüşə ilə müqayisədə əridilmiş silika heç bir qatqıya malik deyil; buna görə də o, təmiz formada, SiO2-də mövcuddur. Əridilmiş silika normal şüşə ilə müqayisədə infraqırmızı və ultrabənövşəyi spektrdə daha yüksək ötürücülüyə malikdir. Əridilmiş silika ultra təmiz SiO2-nin əridilməsi və yenidən bərkidilməsi yolu ilə istehsal olunur. Digər tərəfdən, sintetik əridilmiş silika qazlaşdırılan və sonra H2 + O2 atmosferində oksidləşən SiCl4 kimi silika ilə zəngin kimyəvi maddələrdən hazırlanır. Bu halda əmələ gələn SiO2 tozu substrat üzərində silikaya əridilir. Əridilmiş silika blokları lövhələrə kəsilir və sonra lövhələr nəhayət cilalanır.
Kvars Şüşə Vaflisinin Əsas Xüsusiyyətləri və Faydaları
-
Ultra Yüksək Saflıq (≥99.99% SiO2)
Material çirklənməsinin minimuma endirilməsi lazım olan ultra təmiz yarımkeçirici və fotonika prosesləri üçün idealdır. -
Geniş Termal Əməliyyat Aralığı
1100°C-dən yuxarı kriogen temperaturlarda əyilmədən və ya parçalanmadan struktur bütövlüyünü qoruyur. -
Görkəmli UB və IR ötürülməsi
Dərin ultrabənövşəyi (DUV) şüalardan yaxın infraqırmızı (NIR) şüalara qədər əla optik aydınlıq təmin edir və dəqiq optik tətbiqləri dəstəkləyir. -
Aşağı İstilik Genişlənmə Əmsalı
Temperatur dalğalanmaları altında ölçülü sabitliyi artırır, stressi azaldır və prosesin etibarlılığını artırır. -
Üstün Kimyəvi Müqavimət
Əksər turşulara, qələvilərə və həlledicilərə qarşı təsirsizdir - bu onu kimyəvi cəhətdən aqressiv mühitlər üçün çox uyğun edir. -
Səthin Son Çevikliyi
Ultra hamar, tək və ya iki tərəfli cilalanmış örtüklərlə mövcuddur, fotonika və MEMS tələblərinə uyğundur.
Kvars Şüşəsi Vafli İstehsal Prosesi
Əridilmiş kvars lövhələri bir sıra nəzarətli və dəqiq addımlar vasitəsilə istehsal olunur:
-
Xammal seçimi
Yüksək təmizlikli təbii kvars və ya sintetik SiO₂ mənbələrinin seçilməsi. -
Ərimə və Füzyon
Kvars, daxilolmaları və qabarcıqları aradan qaldırmaq üçün nəzarətli atmosfer altında elektrik sobalarında ~2000°C-də əridilir. -
Blok Formalaşdırma
Əridilmiş silisium bərk bloklara və ya külçələrə soyudulur. -
Vafli Dilimləmə
Külçələri lövhə blanklarına kəsmək üçün dəqiq almaz və ya məftil mişarlar istifadə olunur. -
Çapma və cilalama
Hər iki səth dəqiq optik, qalınlıq və pürüzlülük xüsusiyyətlərinə cavab vermək üçün düzəldilmiş və cilalanmışdır. -
Təmizləmə və Təftiş
Plitələr ISO 100/1000 sinif təmiz otaqlarında təmizlənir və qüsurlar və ölçü uyğunluğu üçün ciddi yoxlamadan keçirilir.
Kvars Şüşəsi lövhəsinin xüsusiyyətləri
| spesifikasiya | vahid | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Diametr / ölçü (və ya kvadrat) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Tolerantlıq (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Qalınlıq | mm | 0.10 və ya daha çox | 0.30 və ya daha çox | 0.40 və ya daha çox | 0.50 və ya daha çox | 0.50 və ya daha çox |
| Əsas istinad düzü | mm | 32.5 | 57.5 | Yarım çentik | Yarım çentik | Yarım çentik |
| LTV (5mm×5mm) | μm | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
| TTV | μm | <2 | <3 | <3 | <5 | <5 |
| Yay | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Əyilmə | μm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5mm×5mm) < 0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Kənarların Yuvarlaqlaşdırılması | mm | SEMI M1.2 Standartına uyğundur / IEC62276-ya baxın | ||||
| Səth növü | Tək Tərəf Cilalanmış / İki Tərəf Cilalanmış | |||||
| Cilalanmış yan Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Arxa tərəf meyarları | μm | ümumi 0.2-0.7 və ya xüsusi | ||||
Kvars və digər şəffaf materiallar
| Əmlak | Kvars Şüşəsi | Borosilikat Şüşə | Safir | Standart Şüşə |
|---|---|---|---|---|
| Maksimum İşləmə Temperaturu | ~1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| UB ötürülməsi | Əla (JGS1) | Kasıb | Yaxşı | Çox kasıb |
| Kimyəvi müqavimət | Əla | Orta | Əla | Kasıb |
| Saflıq | Son dərəcə yüksək | Aşağıdan orta səviyyəyə | Yüksək | Aşağı |
| Termal Genişlənmə | Çox aşağı | Orta | Aşağı | Yüksək |
| Qiymət | Orta dərəcədən yüksək səviyyəyə | Aşağı | Yüksək | Çox aşağı |
Kvars Şüşə Vafli ilə bağlı tez-tez verilən suallar
S1: Əridilmiş kvars və əridilmiş silisium arasındakı fərq nədir?
Hər ikisi SiO₂-un amorf formaları olsa da, əridilmiş kvars adətən təbii kvars mənbələrindən əmələ gəlir, əridilmiş silisium isə sintetik olaraq istehsal olunur. Funksional olaraq, onlar oxşar performans təklif edirlər, lakin əridilmiş silisium bir qədər yüksək təmizliyə və homogenliyə malik ola bilər.
S2: Əridilmiş kvars lövhələri yüksək vakuum mühitlərində istifadə edilə bilərmi?
Bəli. Aşağı qaz çıxarma xüsusiyyətlərinə və yüksək istilik müqavimətinə görə əridilmiş kvars lövhələri vakuum sistemləri və aerokosmik tətbiqlər üçün əladır.
S3: Bu lövhələr dərin UB lazer tətbiqləri üçün uyğundurmu?
Əlbəttə. Əridilmiş kvars ~185 nm-ə qədər yüksək keçiriciliyə malikdir və bu da onu DUV optikası, litoqrafiya maskaları və eksimer lazer sistemləri üçün ideal hala gətirir.
S4: Xüsusi lövhə istehsalını dəstəkləyirsinizmi?
Bəli. Xüsusi tətbiq tələblərinizə əsasən, diametr, qalınlıq, səth keyfiyyəti, düzlüklər/kəsiklər və lazer naxışları da daxil olmaqla tam fərdiləşdirmə təklif edirik.
Haqqımızda
XKH xüsusi optik şüşə və yeni kristal materiallarının yüksək texnologiyalı inkişafı, istehsalı və satışı üzrə ixtisaslaşıb. Məhsullarımız optik elektronika, istehlakçı elektronikası və hərbçilərə xidmət göstərir. Biz Sapphire optik komponentləri, mobil telefon linza örtükləri, keramika, LT, silikon karbid SIC, kvars və yarımkeçirici kristal lövhələr təklif edirik. Bacarıqlı təcrübə və qabaqcıl avadanlıqlarla, aparıcı optoelektron materialları yüksək texnologiyalı müəssisə olmağı hədəfləyərək qeyri-standart məhsul emalı sahəsində üstünlüyümüz var.
