Mündəricat
1. FOUP-un icmalı və əsas funksiyaları
2. FOUP-un strukturu və dizayn xüsusiyyətləri
3. FOUP-un Təsnifat və Tətbiq Təlimatları
4. Yarımkeçiricilər İstehsalında FOUP əməliyyatları və əhəmiyyəti
5.Texniki Çağırışlar və Gələcək İnkişaf Trendləri
6.XKH-nin Fərdi Həllər və Xidmət Dəstəyi
Yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində Ön Açılış Birləşdirilmiş Pod (FOUP) vaflilərin qorunması, daşınması və saxlanması üçün istifadə olunan kritik konteynerdir. Onun daxili hissəsi 25 ədəd 300 mm vafliləri yerləşdirə bilər və onun əsas komponentlərinə öndən açılan konteyner və açılıb-bağlanması üçün xüsusi qapı çərçivəsi daxildir. FOUP 12 düymlük vafli fablar daxilində avtomatlaşdırılmış nəqliyyat sistemində əsas daşıyıcıdır. O, adətən qapalı vəziyyətdə daşınır və yalnız avadanlığın yükləmə portuna itələdikdə açılır və vaflilərin avadanlığın yükləmə/boşaltma portuna ötürülməsinə imkan verir.
FOUP-un dizaynı mikro-mühit tələblərinə uyğunlaşdırılıb. Onun arxa tərəfində vafli daxil etmək üçün yuvalar var və qapaq xüsusi olaraq açıcının sıxacına uyğunlaşdırılıb. Gofretlə işləyən robotlar 1-ci sinif təmiz hava mühitində işləyir və vaflilərin ötürülmə zamanı çirklənməməsini təmin edir. Bundan əlavə, FOUP avtomatlaşdırılmış material idarəetmə sistemi (AMHS) vasitəsilə proses alətləri arasında hərəkət edir. Müasir vafli fabriklər əsasən daşınma üçün yerüstü rels sistemlərindən istifadə edir, bir neçə köhnə fabrik isə yerüstü avtomatlaşdırılmış idarə olunan nəqliyyat vasitələrini (AGV) istifadə edə bilər.
FOUP nəinki avtomatlaşdırılmış vafli transferini təmin edir, həm də saxlama funksiyasını yerinə yetirir. Çoxsaylı istehsal addımlarına görə, vaflilərin bütün proses axını tamamlaması aylar çəkə bilər. Yüksək aylıq istehsal həcmləri ilə birlikdə bu o deməkdir ki, fab daxilində on minlərlə vafli daim tranzitdə və ya istənilən vaxt müvəqqəti saxlamada olur. Saxlama zamanı çirkləndiricilərin vaflilərə toxunmasının qarşısını almaq üçün FOUP-lar vaxtaşırı azotla təmizlənir, təmiz və etibarlı istehsal prosesini təmin edir.
1. FOUP-un funksiyaları və əhəmiyyəti
FOUP-un əsas funksiyası vafliləri xarici zərbədən və çirklənmədən qorumaq, xüsusən də köçürmə zamanı məhsula təsirlərin qarşısını almaqdır. Qaz təmizləmə və Yerli Atmosferə Nəzarət (LAC) kimi üsullarla rütubətin qarşısını effektiv şəkildə alır, növbəti istehsal addımını gözləyərkən vaflilərin təhlükəsiz vəziyyətdə qalmasını təmin edir. Onun möhürlənmiş və idarə olunan sistemi yalnız lazımi birləşmələrin və elementlərin daxil olmasına imkan verir, VOC, oksigen və nəmin vaflilərə mənfi təsirlərini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.
25 vafli tam yüklənmiş bir FOUP 9 kiloqrama qədər çəkə bildiyi üçün onun daşınması Avtomatlaşdırılmış Materialla İşləmə Sisteminə (AMHS) etibar edilməlidir. Bunu asanlaşdırmaq üçün FOUP müxtəlif birləşmə lövhələri, sancaqlar və dəliklər kombinasiyaları ilə hazırlanmışdır və asan identifikasiya və təsnifat üçün RFID elektron etiketləri ilə təchiz edilmişdir. Bu avtomatlaşdırılmış idarəetmə demək olar ki, heç bir əl əməliyyatı tələb etmir, səhv dərəcələrini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır və istehsal prosesinin təhlükəsizliyini və dəqiqliyini artırır.
2. FOUP-un strukturu və təsnifatı
FOUP-un tipik ölçüləri təqribən 420 mm enində, 335 mm dərinliyində və 335 mm hündürlüyündədir. Onun əsas struktur komponentlərinə aşağıdakılar daxildir: yuxarı qaldırıcının daşınması üçün üst OHT (göbələk başlığı); avadanlıq vaflisinə giriş üçün ön qapı; yan Tutacaqlar, müxtəlif çirklənmə səviyyələri olan proses sahələrini ayırd etmək üçün tez-tez rənglə kodlanır; mesaj kartlarının yerləşdirilməsi üçün Kart sahəsi; və FOUP üçün unikal identifikator kimi xidmət edən alt RFID etiketi, alətlər və yerüstü qaldırıcılar onu tanımağa imkan verir. Baza həmçinin alətlərlə uyğunlaşdırmaq və proses sahələrini fərqləndirmək üçün dörd identifikasiya və yerləşdirmə dəliyi ilə təchiz edilmişdir.
İstifadəsinə əsasən, FOUP-lar üç növə bölünür: PRD (istehsal üçün), ENG (mühəndis vafliləri üçün) və MON (monitör vafliləri üçün). PRD FOUP-lar məhsul istehsalı üçün istifadə oluna bilər, ENG növləri R&D və ya təcrübələr üçün uyğundur və MON növləri CMP və DIFF kimi addımlar üçün prosesin monitorinqinə həsr olunub. Qeyd etmək vacibdir ki, PRD FOUP-ları həm ENG, həm də MON məqsədləri üçün istifadə edilə bilər və ENG növləri MON üçün istifadə edilə bilər, lakin əks əməliyyat keyfiyyət riskləri yaradır.
Çirklənmə səviyyəsinə görə təsnif edilən FOUP-lar FE FOUP (ön proses, metalsız), BE FOUP (arxa uç proses, metal ehtiva edir) və NI FOUP, CU FOUP və CO FOUP kimi xüsusi metal prosesləri üçün ixtisaslaşmışlara bölünə bilər. Müxtəlif proseslər üçün FOUP-lar adətən yan tutacaqların və ya qapı panellərinin rəngi ilə seçilir. Front-end proseslərdən olan FOUP-lar arxa uç proseslərdə istifadə edilə bilər, lakin arxa uç FOUP-lar heç vaxt front-end proseslərdə istifadə edilməməlidir, çünki bu, çirklənmə risklərinə səbəb ola bilər.
Yarımkeçiricilər istehsalında əsas daşıyıcı kimi, FOUP yüksək avtomatlaşdırma və ciddi çirklənmə nəzarəti vasitəsilə istehsal prosesi zamanı vaflilərin təhlükəsizliyini və təmizliyini təmin edir və onu müasir vafli fablarda əvəzolunmaz infrastruktura çevirir.
Nəticə
XKH sizin xüsusi proses tələblərinizə və avadanlıq interfeysinin spesifikasiyalarına ciddi riayət etməklə müştərilərə yüksək səviyyədə fərdiləşdirilmiş Ön Açılış Vahid Pod (FOUP) həlləri təqdim etməyə sadiqdir. Qabaqcıl material texnologiyasından və dəqiq istehsal proseslərindən istifadə edərək, biz hər bir FOUP məhsulunun müstəsna hermetiklik, təmizlik və mexaniki dayanıqlıq təmin etməsini təmin edirik. Texniki komandamız, FOUP ilə Avtomatlaşdırılmış Materialın İdarəetmə Sistemi (AMHS), eləcə də emal avadanlığı arasında qüsursuz inteqrasiyanı və səmərəli əməkdaşlığı təmin edən, seçim üzrə məsləhətləşmə və struktur optimallaşdırmadan təmizləmə və texniki xidmətə qədər hərtərəfli həyat dövrü dəstəyi təklif edən dərin sənaye təcrübəsinə malikdir. Biz vaflilərin təhlükəsizliyini və istehsal məhsuldarlığının artırılmasını əsas məqsədlərimiz kimi ardıcıl olaraq prioritetləşdiririk. İnnovativ məhsullar və hərtərəfli texniki xidmətlər vasitəsilə biz sizin yarımkeçiricilərin istehsal prosesləri üçün möhkəm zəmanət veririk və nəticədə istehsalın səmərəliliyini və məhsul məhsuldarlığını artırırıq.
Göndərmə vaxtı: Sentyabr-08-2025