Silikon karbid substratı yarımizolyasiya tipinə və keçirici tipə bölünür. Hal-hazırda, yarı izolyasiya edilmiş silisium karbid substrat məhsullarının əsas spesifikasiyası 4 düymdür. Keçirici silisium karbid bazarında mövcud əsas substrat məhsulunun spesifikasiyası 6 düymdür.
RF sahəsində aşağı axın tətbiqlərinə görə, yarı izolyasiya edilmiş SiC substratları və epitaksial materiallar ABŞ Ticarət Departamenti tərəfindən ixrac nəzarətinə tabedir. Substrat kimi yarı izolyasiya edilmiş SiC GaN heteroepitaksi üçün üstünlük verilən materialdır və mikrodalğalı sahədə mühüm tətbiq perspektivlərinə malikdir. Safir 14% və Si 16.9% kristal uyğunsuzluğu ilə müqayisədə SiC və GaN materiallarının kristal uyğunsuzluğu yalnız 3.4% təşkil edir. SiC-nin ultra yüksək istilik keçiriciliyi ilə birlikdə, onun hazırladığı yüksək enerji səmərəliliyi LED və GaN yüksək tezlikli və yüksək güclü mikrodalğalı cihazları radar, yüksək güclü mikrodalğalı avadanlıq və 5G rabitə sistemlərində böyük üstünlüklərə malikdir.
Yarım izolyasiya edilmiş SiC substratının tədqiqi və inkişafı həmişə SiC monokristal substratının tədqiqat və inkişafının diqqət mərkəzində olmuşdur. Yarım izolyasiya edilmiş SiC materiallarının yetişdirilməsində iki əsas çətinlik var:
1) Qrafit tigel, istilik izolyasiyası adsorbsiyasının və tozda dopinqlə daxil olan N donor çirklərini azaldın;
2) Kristalın keyfiyyəti və elektrik xassələri təmin edilərkən, qalıq dayaz səviyyəli çirkləri elektrik aktivliyi ilə kompensasiya etmək üçün dərin səviyyəli mərkəz tətbiq edilir.
Hal-hazırda, yarı izolyasiya edilmiş SiC istehsal gücü olan istehsalçılar əsasən SICC Co，Semisic Crystal Co，Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
Keçirici SiC kristalı artan atmosferə azot vurmaqla əldə edilir. Keçirici silisium karbid substratı əsasən enerji cihazlarının istehsalında istifadə olunur, yüksək gərginlikli, yüksək cərəyanlı, yüksək temperaturlu, yüksək tezlikli, aşağı itkili və digər unikal üstünlüklərə malik silisium karbid güc qurğuları, silikon əsaslı güc cihazlarının enerjisinin mövcud istifadəsini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdıracaqdır. çevrilmə səmərəliliyi, səmərəli enerji çevrilməsi sahəsinə əhəmiyyətli və geniş təsir göstərir. Əsas tətbiq sahələri elektrik nəqliyyat vasitələri/doldurma yığınları, fotovoltaik yeni enerji, dəmir yolu tranziti, smart şəbəkə və s. Keçirici məhsulların aşağı axını əsasən elektrik nəqliyyat vasitələri, fotovoltaik və digər sahələrdə enerji cihazları olduğundan, tətbiq perspektivi daha genişdir və istehsalçılar daha çoxdur.
Silikon karbid kristal növü: Ən yaxşı 4H kristal silisium karbidinin tipik quruluşu iki kateqoriyaya bölünə bilər, biri 3C-SiC və ya β-SiC kimi tanınan sfalerit strukturunun kubik silisium karbid kristal növü, digəri isə altıbucaqlıdır. və ya 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC və s. üçün səciyyəvi olan böyük dövr strukturunun almaz strukturu, birlikdə α-SiC kimi tanınır. 3C-SiC istehsal cihazlarında yüksək müqavimət üstünlüyünə malikdir. Bununla belə, Si və SiC qəfəs sabitləri və istilik genişlənmə əmsalları arasında yüksək uyğunsuzluq 3C-SiC epitaksial təbəqədə çoxlu sayda qüsurlara səbəb ola bilər. 4H-SiC, MOSFET-lərin istehsalında böyük potensiala malikdir, çünki onun kristal böyüməsi və epitaksial təbəqənin böyüməsi prosesləri daha mükəmməldir və elektron hərəkətliliyi baxımından 4H-SiC 3C-SiC və 6H-SiC-dən yüksəkdir və 4H üçün daha yaxşı mikrodalğalı xüsusiyyətləri təmin edir. -SiC MOSFETlər.
Əgər pozuntu varsa, əlaqə silin
Göndərmə vaxtı: 16 iyul 2024-cü il