Gofret İstehsalında SPC Sisteminin Dərin Anlanması

1. SPC Sisteminin icmalı

SPC istehsal proseslərinə nəzarət etmək və nəzarət etmək üçün statistik üsullardan istifadə edən bir üsuldur. Onun əsas funksiyası real vaxt məlumatlarını toplamaq və təhlil etməklə istehsal prosesində anomaliyaları aşkar etmək, mühəndislərə vaxtında düzəlişlər və qərarlar qəbul etməkdə kömək etməkdir. SPC-nin məqsədi istehsal prosesində dəyişkənliyi azaltmaq, məhsulun keyfiyyətinin sabit qalmasını və spesifikasiyalara cavab verməsini təmin etməkdir.

SPC aşındırma prosesində istifadə olunur:

Avadanlığın kritik parametrlərinə nəzarət edin (məsələn, aşındırma dərəcəsi, RF gücü, kameranın təzyiqi, temperatur və s.)

Əsas məhsulun keyfiyyət göstəricilərini (məsələn, xəttin eni, aşındırma dərinliyi, kənar pürüzlülük və s.) təhlil edin.

Mühəndislər bu parametrlərə nəzarət etməklə avadanlığın performansının pisləşməsini və ya istehsal prosesində sapmaları göstərən tendensiyaları aşkar edə, beləliklə, hurda nisbətlərini azalda bilər.

2. SPC Sisteminin Əsas Komponentləri

SPC sistemi bir neçə əsas moduldan ibarətdir:

Məlumatların Toplanması Modulu: Avadanlıqdan və proses axınlarından (məsələn, FDC, EES sistemləri vasitəsilə) real vaxt məlumatları toplayır və mühüm parametrləri və istehsal nəticələrini qeyd edir.

Nəzarət Diaqramı Modulu: Prosesin sabitliyini vizuallaşdırmaq və prosesin nəzarətdə olub-olmadığını müəyyən etmək üçün statistik nəzarət qrafiklərindən (məsələn, X-Bar diaqramı, R diaqramı, Cp/Cpk diaqramı) istifadə edir.

Siqnal Sistemi: Kritik parametrlər nəzarət hədlərini aşdıqda və ya tendensiya dəyişikliklərini göstərdikdə həyəcan siqnallarını işə salır və mühəndisləri tədbir görməyə sövq edir.

Təhlil və Hesabat Modulu: SPC qrafikləri əsasında anomaliyaların əsas səbəbini təhlil edir və mütəmadi olaraq proses və avadanlıq üçün performans hesabatları yaradır.

3. SPC-də Nəzarət Diaqramlarının Ətraflı İzahı

Nəzarət qrafikləri SPC-də ən çox istifadə edilən alətlərdən biridir və "normal dəyişkənlik" (təbii proseslərin dəyişməsi nəticəsində yaranır) və "anormal dəyişkənlik" (avadanlığın nasazlığı və ya proses sapması nəticəsində yaranır) arasında fərq qoymağa kömək edir. Ümumi nəzarət qrafiklərinə aşağıdakılar daxildir:

X-Bar və R Diaqramları: Prosesin sabit olub-olmadığını müşahidə etmək üçün istehsal partiyaları daxilində orta və diapazonu izləmək üçün istifadə olunur.

Cp və Cpk İndeksləri: Proses qabiliyyətini ölçmək üçün istifadə olunur, yəni prosesin nəticəsinin ardıcıl olaraq spesifikasiya tələblərinə cavab verə bilib-bilmədiyini. Cp potensial imkanları ölçür, Cpk isə proses mərkəzinin spesifikasiya limitlərindən kənara çıxmasını nəzərə alır.

Məsələn, aşındırma prosesində aşındırma dərəcəsi və səth pürüzlülüyü kimi parametrlərə nəzarət edə bilərsiniz. Müəyyən bir avadanlıq parçasının aşındırma dərəcəsi nəzarət həddini aşarsa, bunun təbii bir dəyişiklik və ya avadanlığın nasazlığının göstəricisi olub olmadığını müəyyən etmək üçün nəzarət cədvəllərindən istifadə edə bilərsiniz.

4. Aşınma Avadanlıqlarında SPC-nin Tətbiqi

Aşınma prosesində avadanlıq parametrlərinə nəzarət vacibdir və SPC prosesin sabitliyini aşağıdakı yollarla yaxşılaşdırmağa kömək edir:

Avadanlıq Vəziyyətinin Monitorinqi: FDC kimi sistemlər aşındırma avadanlığının əsas parametrləri (məsələn, RF gücü, qaz axını) haqqında real vaxt məlumatları toplayır və potensial avadanlıq problemlərini aşkar etmək üçün bu məlumatları SPC nəzarət qrafikləri ilə birləşdirir. Məsələn, nəzarət cədvəlindəki RF gücünün tədricən müəyyən edilmiş dəyərdən kənara çıxdığını görsəniz, məhsulun keyfiyyətinə təsir etməmək üçün tənzimləmə və ya texniki qulluq üçün erkən tədbirlər görə bilərsiniz.

Məhsulun Keyfiyyətinə Nəzarət: Siz həmçinin onların dayanıqlığına nəzarət etmək üçün əsas məhsul keyfiyyət parametrlərini (məsələn, aşındırma dərinliyi, xəttin eni) SPC sisteminə daxil edə bilərsiniz. Bəzi kritik məhsul göstəriciləri tədricən hədəf dəyərlərdən kənara çıxarsa, SPC sistemi proses tənzimlənməsinin lazım olduğunu bildirən həyəcan siqnalı verəcəkdir.

Profilaktik Baxım (PM): SPC avadanlıq üçün profilaktik təmir dövrünü optimallaşdırmağa kömək edə bilər. Avadanlıqların performansı və prosesin nəticələri haqqında uzunmüddətli məlumatları təhlil edərək, avadanlıqların təmiri üçün optimal vaxtı müəyyən edə bilərsiniz. Məsələn, RF gücünün və ESC-nin istifadə müddətinin monitorinqi ilə siz nə vaxt təmizləmə və ya komponentin dəyişdirilməsinin lazım olduğunu müəyyən edə, avadanlıqların nasazlıq dərəcələrini və istehsalın dayanma müddətini azalda bilərsiniz.

5. SPC Sistemi üçün Gündəlik İstifadə Məsləhətləri

Gündəlik əməliyyatlarda SPC sistemindən istifadə edərkən aşağıdakı addımları yerinə yetirmək olar:

Əsas Nəzarət Parametrlərini (KPI) müəyyən edin: İstehsal prosesində ən vacib parametrləri müəyyənləşdirin və onları SPC monitorinqinə daxil edin. Bu parametrlər məhsulun keyfiyyəti və avadanlıqların performansı ilə sıx əlaqəli olmalıdır.

Nəzarət Limitlərini və Siqnal Limitlərini təyin edin: Tarixi məlumatlara və proses tələblərinə əsaslanaraq, hər bir parametr üçün ağlabatan nəzarət limitləri və həyəcan hədləri təyin edin. Nəzarət hədləri adətən ±3σ (standart kənarlaşmalar) səviyyəsində müəyyən edilir, həyəcan hədləri isə prosesin və avadanlığın xüsusi şərtlərinə əsaslanır.

Davamlı Monitorinq və Təhlil: Məlumatların tendensiyalarını və variasiyalarını təhlil etmək üçün SPC nəzarət qrafiklərini mütəmadi olaraq nəzərdən keçirin. Bəzi parametrlər nəzarət həddini keçərsə, avadanlığın parametrlərini tənzimləmək və ya avadanlığa texniki xidmət göstərmək kimi təcili tədbirlər görmək lazımdır.

Anormallıqların İdarə Edilməsi və Əsas Səbəb Təhlili: Anormallıq baş verdikdə, SPC sistemi hadisə haqqında ətraflı məlumatı qeyd edir. Bu məlumatlara əsaslanaraq anormallığın əsas səbəbini aradan qaldırmalı və təhlil etməlisiniz. Problemin avadanlığın nasazlığı, prosesdən kənara çıxması və ya xarici mühit faktorları ilə bağlı olub-olmadığını təhlil etmək üçün FDC sistemlərindən, EES sistemlərindən və s.-dən alınan məlumatları birləşdirmək çox vaxt mümkündür.

Davamlı Təkmilləşdirmə: SPC sistemi tərəfindən qeydə alınan tarixi məlumatlardan istifadə edərək, prosesdə zəif nöqtələri müəyyənləşdirin və təkmilləşdirmə planları təklif edin. Məsələn, aşındırma prosesində ESC-nin xidmət müddəti və təmizləmə üsullarının avadanlığın texniki xidmət dövrlərinə təsirini təhlil edin və avadanlığın işləmə parametrlərini davamlı olaraq optimallaşdırın.

6. Praktik tətbiq işi

Praktik bir nümunə olaraq, tutaq ki, siz E-MAX aşındırma avadanlığına cavabdehsiniz və kamera katodunda vaxtından əvvəl köhnəlmə baş verir, bu da D0 (BARC qüsuru) dəyərlərinin artmasına səbəb olur. SPC sistemi vasitəsilə RF gücünü və aşındırma dərəcəsini izləməklə siz bu parametrlərin müəyyən edilmiş dəyərlərindən tədricən kənara çıxdığı bir tendensiya görürsünüz. SPC həyəcan siqnalı işə salındıqdan sonra siz FDC sistemindən məlumatları birləşdirin və problemin kameranın daxilində qeyri-sabit temperatur nəzarətindən qaynaqlandığını müəyyənləşdirin. Daha sonra siz yeni təmizləmə üsulları və texniki qulluq strategiyalarını tətbiq edirsiniz, nəticədə D0 dəyərini 4,3-dən 2,4-ə endirirsiniz və bununla da məhsulun keyfiyyətini yaxşılaşdırırsınız.

7. XINKEHUI-də əldə edə bilərsiniz.

XINKEHUI-də siz mükəmməl vafli əldə edə bilərsiniz, istər silikon vafli, istərsə də SiC vafli. Biz dəqiqliyə və performansa diqqət yetirərək müxtəlif sənaye sahələri üçün yüksək keyfiyyətli vaflilərin çatdırılmasında ixtisaslaşmışıq.