Yarımkeçirici texnologiyasının davamlı inkişafı ilə yarımkeçirici sənayesində və hətta fotovoltaik sənayedə vafli substratın və ya epitaksial təbəqənin səth keyfiyyətinə olan tələblər də çox sərtdir.Beləliklə, vafli üçün keyfiyyət tələbləri nələrdir?Nümunə olaraq sapfir vafliləri götürsək, vaflilərin səth keyfiyyətini qiymətləndirmək üçün hansı göstəricilərdən istifadə etmək olar?
Gofretlərin qiymətləndirmə göstəriciləri hansılardır?
Üç göstərici
Sapfir vaflilər üçün onun qiymətləndirmə göstəriciləri ümumi qalınlıq sapması (TTV), əyilmə (Yay) və Çözgüdür (Warp).Bu üç parametr birlikdə silikon vaflinin düzlüyünü və qalınlığının vahidliyini əks etdirir və vaflinin dalğalanma dərəcəsini ölçə bilər.Gofret səthinin keyfiyyətini qiymətləndirmək üçün düzlüklə birləşdirilə bilər.
TTV, BOW, Warp nədir?
TTV (Ümumi qalınlıq dəyişikliyi)
TTV vaflinin maksimum və minimum qalınlığı arasındakı fərqdir.Bu parametr vafli qalınlığının vahidliyini ölçmək üçün istifadə edilən mühüm göstəricidir.Yarımkeçirici prosesdə vaflinin qalınlığı bütün səthdə çox vahid olmalıdır.Ölçmələr adətən vaflinin beş yerində aparılır və fərq hesablanır.Nəhayət, bu dəyər vaflinin keyfiyyətini qiymətləndirmək üçün vacib bir əsasdır.
Yay
Yarımkeçirici istehsalda yay, qısqacsız vaflinin orta nöqtəsi ilə istinad müstəvisi arasındakı məsafəni azad edərək, vaflinin əyilməsinə aiddir.Bu söz, yəqin ki, yayın əyri forması kimi, əyildikdə obyektin formasının təsvirindən yaranmışdır.Bow dəyəri silikon vaflinin mərkəzi və kənarı arasındakı sapmanın ölçülməsi ilə müəyyən edilir.Bu dəyər adətən mikrometrlərdə (µm) ifadə edilir.
Çarpma
Çözgü, sərbəst bağlanmayan vaflinin ortası ilə istinad müstəvisi arasındakı maksimum və minimum məsafə arasındakı fərqi ölçən vaflilərin qlobal xüsusiyyətidir.Silikon vaflinin səthindən təyyarəyə qədər olan məsafəni təmsil edir.
TTV, Bow, Warp arasındakı fərq nədir?
TTV qalınlıqdakı dəyişikliklərə diqqət yetirir və vaflinin əyilməsi və ya təhrif edilməsi ilə maraqlanmır.
Yay, əsasən mərkəzi nöqtənin və kənarın əyilməsini nəzərə alaraq, ümumi döngəyə diqqət yetirir.
Çözgü, bütün vafli səthinin əyilməsi və burulması da daxil olmaqla daha əhatəlidir.
Bu üç parametr silikon vaflinin forması və həndəsi xassələri ilə əlaqəli olsa da, onlar fərqli şəkildə ölçülür və təsvir edilir və onların yarımkeçirici prosesinə və vafli emalına təsiri də fərqlidir.
Üç parametr nə qədər kiçik olsa, bir o qədər yaxşıdır və parametr nə qədər böyükdürsə, yarımkeçirici prosesinə mənfi təsir daha çox olur.Buna görə də yarımkeçirici praktiki olaraq, biz bütün proses prosesi üçün vafli profil parametrlərinin əhəmiyyətini dərk etməli, yarımkeçirici prosesi etməli, detallara diqqət yetirməliyik.
(senzura)
Göndərmə vaxtı: 24 iyun 2024-cü il