Naxışlı Sapphire Substrate PSS 2inch 4inch 6inch ICP quru aşındırma LED çipləri üçün istifadə edilə bilər
Əsas xüsusiyyət
1. Materialın xüsusiyyətləri: Substrat materialı yüksək sərtliyə, yüksək istilik müqavimətinə və kimyəvi sabitliyə malik tək kristal sapfirdir (Al₂O₃).
2. Səth quruluşu: Səth fotolitoqrafiya və konuslar, piramidalar və ya altıbucaqlı massivlər kimi dövri mikro-nano strukturlara etching vasitəsilə formalaşır.
3. Optik performans: Səth naxış dizaynı vasitəsilə interfeysdə işığın ümumi əks olunması azalır və işığın çıxarılması səmərəliliyi yaxşılaşdırılır.
4. İstilik performansı: Sapphire substratı yüksək güclü LED tətbiqləri üçün uyğun olan əla istilik keçiriciliyinə malikdir.
5. Ölçü spesifikasiyası: Ümumi ölçülər 2 düym (50,8 mm), 4 düym (100 mm) və 6 düymdür (150 mm).
Əsas tətbiq sahələri
1. LED istehsalı:
Təkmilləşdirilmiş işıq çıxarma səmərəliliyi: PSS naxış dizaynı vasitəsilə işıq itkisini azaldır, LED parlaqlığını və işıq səmərəliliyini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır.
Təkmilləşdirilmiş epitaksial böyümə keyfiyyəti: Naxışlı quruluş GaN epitaksial təbəqələri üçün daha yaxşı böyümə bazası təmin edir və LED performansını yaxşılaşdırır.
2. Lazer Diodu (LD):
Yüksək güclü lazerlər: PSS-nin yüksək istilik keçiriciliyi və sabitliyi yüksək güclü lazer diodları üçün uyğundur, istilik yayılması performansını və etibarlılığını artırır.
Aşağı həddi cərəyan: Epitaksial artımı optimallaşdırın, lazer diodunun eşik cərəyanını azaldın və səmərəliliyi artırın.
3. Fotodetektor:
Yüksək həssaslıq: PSS-nin yüksək işıq ötürülməsi və aşağı qüsur sıxlığı fotodetektorun həssaslığını və reaksiya sürətini yaxşılaşdırır.
Geniş spektral reaksiya: ultrabənövşəyi ilə görünən diapazonda fotoelektrik aşkarlama üçün uyğundur.
4. Elektrik elektronikası:
Yüksək gərginlik müqaviməti: Sapphire yüksək izolyasiya və istilik sabitliyi yüksək gərginlikli elektrik cihazları üçün uyğundur.
Effektiv istilik yayılması: Yüksək istilik keçiriciliyi güc cihazlarının istilik yayılması performansını yaxşılaşdırır və xidmət müddətini uzadır.
5. Rf cihazları:
Yüksək tezlikli performans: PSS-nin aşağı dielektrik itkisi və yüksək istilik sabitliyi yüksək tezlikli RF cihazları üçün uyğundur.
Aşağı səs-küy: Yüksək düzlük və aşağı qüsur sıxlığı cihazın səs-küyünü azaldır və siqnal keyfiyyətini yaxşılaşdırır.
6. Biosensorlar:
Yüksək həssaslığın aşkarlanması: PSS-nin yüksək işıq ötürülməsi və kimyəvi sabitliyi yüksək həssaslıqlı biosensorlar üçün uyğundur.
Biouyğunluq: Safirin biouyğunluğu onu tibbi və bioloji aşkarlama tətbiqləri üçün uyğun edir.
GaN epitaksial materialı olan naxışlı sapfir substrat (PSS):
Naxışlı sapfir substratı (PSS) GaN (qallium nitridi) epitaksial böyüməsi üçün ideal substratdır. Sapfirin qəfəs sabiti GaN-ə yaxındır ki, bu da qəfəs uyğunsuzluqlarını və epitaksial böyümədə qüsurları azalda bilər. PSS səthinin mikro-nano strukturu təkcə işığın çıxarılmasının effektivliyini yaxşılaşdırmır, həm də GaN epitaksial təbəqəsinin kristal keyfiyyətini yaxşılaşdırır və bununla da LED-in işini və etibarlılığını artırır.
Texniki parametrlər
| Maddə | Naxışlı Sapphire Substrat (2~6inch) | ||
| Diametri | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Qalınlıq | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Səth Orientasiyası | C-müstəvisi (0001) M oxuna doğru kənar bucaq (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| C-müstəvisi (0001) A oxuna doğru kənar bucaq (11-20) 0 ± 0.1° | |||
| İlkin Düz Orientasiya | A-Təyyarəsi (11-20) ± 1.0° | ||
| İlkin Düz Uzunluq | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| R-təyyarə | saat 9 | ||
| Ön səthi bitirmə | Naxışlı | ||
| Arxa səthi bitirmə | SSP: İncə üyüdülmüş, Ra = 0,8-1,2um; DSP: Epi-cilalanmış, Ra<0.3nm | ||
| Lazer işarəsi | Arxa tərəf | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| BOW | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| ÇÖZÜK | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Kənar İstisna | ≤2 mm | ||
| Nümunə Spesifikasiyası | Forma quruluşu | Günbəz, Konus, Piramida | |
| Nümunə Hündürlüyü | 1.6~1.8μm | ||
| Nümunə diametri | 2.75~2.85μm | ||
| Nümunə Məkanı | 0.1~0.3μm | ||
XKH müştərilərə LED, displey və optoelektronika sahəsində səmərəli yeniliklərə nail olmaqda kömək etmək üçün texniki dəstək və satış sonrası xidmətlə yüksək keyfiyyətli, fərdi naxışlı sapfir substratların (PSS) təmin edilməsində ixtisaslaşmışdır.
1. Yüksək keyfiyyətli PSS təchizatı: LED, displey və optoelektronik cihazların ehtiyaclarını ödəmək üçün müxtəlif ölçülərdə (2 ", 4", 6") naxışlı sapfir substratlar.
2. Fərdi dizayn: İşıq çıxarma səmərəliliyini optimallaşdırmaq üçün müştəri ehtiyaclarına uyğun olaraq səth mikro-nano strukturunu (konus, piramida və ya altıbucaqlı massiv kimi) fərdiləşdirin.
3. Texniki dəstək: Müştərilərə məhsulun performansını yaxşılaşdırmaqda kömək etmək üçün PSS tətbiqi dizaynını, prosesin optimallaşdırılmasını və texniki məsləhətləri təmin edin.
4. Epitaksial böyümə dəstəyi: Yüksək keyfiyyətli epitaksial təbəqənin böyüməsini təmin etmək üçün GaN epitaksial material ilə uyğunlaşdırılmış PSS təmin edilir.
5. Sınaq və sertifikatlaşdırma: Məhsulların sənaye standartlarına cavab verməsini təmin etmək üçün PSS keyfiyyətinin yoxlanılması hesabatını təqdim edin.
Ətraflı Diaqram
