Naxışlı Safir Substratı PSS 2 düymlük 4 düymlük 6 düymlük ICP quru aşındırma LED çipləri üçün istifadə edilə bilər
Əsas xarakteristika
1. Material xüsusiyyətləri: Substrat materialı yüksək sərtliyə, yüksək istilik müqavimətinə və kimyəvi stabilliyə malik tək kristal sapfirdir (Al₂O₃).
2. Səth quruluşu: Səth fotolitoqrafiya və konuslar, piramidalar və ya altıbucaqlı massivlər kimi dövri mikro-nano strukturlara aşındırma yolu ilə formalaşır.
3. Optik performans: Səth naxış dizaynı vasitəsilə interfeysdə işığın ümumi əks olunması azalır və işığın çıxarılması səmərəliliyi artır.
4. İstilik göstəricisi: Safir substratı əla istilik keçiriciliyinə malikdir, yüksək güclü LED tətbiqləri üçün uyğundur.
5. Ölçü xüsusiyyətləri: Ümumi ölçülər 2 düym (50.8 mm), 4 düym (100 mm) və 6 düym (150 mm)-dir.
Əsas tətbiq sahələri
1. LED istehsalı:
Təkmilləşdirilmiş işıq çıxarma səmərəliliyi: PSS, naxışlı dizayn vasitəsilə işıq itkisini azaldır, LED parlaqlığını və işıq səmərəliliyini əhəmiyyətli dərəcədə artırır.
Təkmilləşdirilmiş epitaksial böyümə keyfiyyəti: Naxışlı struktur GaN epitaksial təbəqələri üçün daha yaxşı böyümə bazası təmin edir və LED performansını artırır.
2. Lazer Diodu (LD):
Yüksək güclü lazerlər: PSS-in yüksək istilik keçiriciliyi və stabilliyi yüksək güclü lazer diodları üçün uyğundur, istilik yayılma performansını və etibarlılığını artırır.
Aşağı eşik cərəyanı: Epitaksial böyüməni optimallaşdırın, lazer diodunun eşik cərəyanını azaldın və səmərəliliyi artırın.
3. Fotodetektor:
Yüksək həssaslıq: PSS-in yüksək işıq keçiriciliyi və aşağı qüsur sıxlığı fotodetektorun həssaslığını və cavab sürətini artırır.
Geniş spektral cavab: ultrabənövşəyidən görünənə qədər fotoelektrik aşkarlama üçün uyğundur.
4. Güc elektronikası:
Yüksək gərginlikli müqavimət: Sapphire-nin yüksək izolyasiyası və istilik stabilliyi yüksək gərginlikli güc cihazları üçün uyğundur.
Səmərəli istilik yayılması: Yüksək istilik keçiriciliyi güc cihazlarının istilik yayma performansını artırır və xidmət müddətini uzadır.
5. RF cihazları:
Yüksək tezlikli performans: PSS-in aşağı dielektrik itkisi və yüksək istilik stabilliyi yüksək tezlikli RF cihazları üçün uyğundur.
Aşağı səs-küy: Yüksək düzlük və aşağı qüsur sıxlığı cihaz səs-küyünü azaldır və siqnal keyfiyyətini artırır.
6. Biosensorlar:
Yüksək həssaslıq aşkarlanması: PSS-in yüksək işıq keçiriciliyi və kimyəvi stabilliyi yüksək həssaslıqlı biosensorlar üçün uyğundur.
Biouyğunluq: Safirin biouyğunluğu onu tibbi və biodeteksiya tətbiqləri üçün uyğun edir.
GaN epitaksial materialı ilə naxışlı sapfir substratı (PSS):
Naxışlı sapfir substratı (PSS) GaN (qallium nitridi) epitaksial böyüməsi üçün ideal bir substratdır. Safirin qəfəs sabiti GaN-a yaxındır ki, bu da qəfəs uyğunsuzluqlarını və epitaksial böyümədəki qüsurları azalda bilər. PSS səthinin mikro-nano strukturu yalnız işığın çıxarılması səmərəliliyini artırmaqla yanaşı, GaN epitaksial təbəqəsinin kristal keyfiyyətini də yaxşılaşdırır və bununla da LED-in işini və etibarlılığını artırır.
Texniki parametrlər
| Məhsul | Naxışlı Safir Substratı (2~6 düym) | ||
| Diametr | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
| Qalınlıq | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Səth istiqaməti | C-müstəvisi (0001) M oxuna doğru kənar bucaq (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| C-müstəvisi (0001) A oxuna doğru kənar bucaq (11-20) 0 ± 0.1° | |||
| Əsas Düz Orientasiya | A-Mütəxəssis (11-20) ± 1.0° | ||
| Əsas Düz Uzunluq | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
| R-Təyyarə | Saat 9-da | ||
| Ön Səthin Hazırlanması | Naxışlı | ||
| Arxa Səthin Bitməsi | SSP: İncə üyüdülmüş, Ra=0.8-1.2um; DSP: Epi cilalanmış, Ra<0.3nm | ||
| Lazer İşarəsi | Arxa tərəf | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| BOW | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| ÇƏRGİ | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Kənar İstisnası | ≤2 mm | ||
| Nümunə Xüsusiyyətləri | Forma Quruluşu | Günbəz, Konus, Piramida | |
| Nümunə Hündürlüyü | 1.6~1.8μm | ||
| Naxış diametri | 2.75~2.85μm | ||
| Nümunə Məkanı | 0.1~0.3μm | ||
XKH, müştərilərə LED, displey və optoelektronika sahəsində səmərəli innovasiyalara nail olmağa kömək etmək üçün yüksək keyfiyyətli, xüsusi hazırlanmış naxışlı sapfir substratları (PSS) texniki dəstək və satış sonrası xidmətlə təmin etməkdə ixtisaslaşıb.
1. Yüksək keyfiyyətli PSS təchizatı: LED, displey və optoelektron cihazlarının ehtiyaclarını ödəmək üçün müxtəlif ölçülərdə (2", 4", 6) naxışlı sapfir substratlar.
2. Xüsusi dizayn: İşığın çıxarılması səmərəliliyini optimallaşdırmaq üçün müştəri ehtiyaclarına uyğun olaraq səth mikro-nano strukturunu (məsələn, konus, piramida və ya altıbucaqlı massiv) fərdiləşdirin.
3. Texniki dəstək: Müştərilərə məhsul performansını yaxşılaşdırmağa kömək etmək üçün PSS tətbiq dizaynı, proses optimallaşdırması və texniki məsləhət təmin edin.
4. Epitaksial böyümə dəstəyi: Yüksək keyfiyyətli epitaksial təbəqə böyüməsini təmin etmək üçün GaN epitaksial materialı ilə uyğunlaşdırılmış PSS təmin edilir.
5. Test və sertifikatlaşdırma: Məhsulların sənaye standartlarına cavab verdiyini təmin etmək üçün PSS keyfiyyət yoxlaması hesabatı təqdim edin.
Ətraflı Diaqram
