SIC Seramik Chuck Tray Seramik Suction Kubokları Precision Maching Xüsusi

SIC Seramik Chuck Tepsisi Seramik Suction Cups Precision Maching Xüsusi Xüsusi Şəkil

Qısa təsvir:

Silikon Carbide Seramik Tray Sucker, yüksək sərtliyi, yüksək istilik keçiriciliyi və əla kimyəvi sabitlik səbəbiylə yarımkeçirici istehsal üçün ideal bir seçimdir. Yüksək düzlük və səthinin bitməsi, vaffer və əmzik arasında tam təmasda, çirklənmədən və zərərin azaldılması ilə tam təmasda olmasını təmin edir; Yüksək temperatur və korroziya müqaviməti sərt proses mühitinə uyğundur; Eyni zamanda, yüngül dizayn və uzun ömürlük xüsusiyyətlər istehsal xərclərini azaldır və boşalma, cilalama, litoqrafiya və digər proseslərdə əvəzolunmaz əsas komponentlərdir.

Bizə e-poçt göndər

Məhsul təfərrüatı

Məhsul etiketləri

Maddi xüsusiyyətlər:

1.Hüşdüyü: Silikon karbidinin MOHS sərtliyi 9,2-9.5, yalnız almaz, güclü aşınma müqaviməti ilə ikincidir.
2. Yüksək istilik keçiriciliyi: Silikon karbidinin istilik keçiriciliyi, istiliyi tez bir zamanda yayıla bilən və yüksək temperatur mühiti üçün uyğun olan 120-200 w / m · K qədər yüksəkdir.
3. Aşağı istilik genişləndirmə əmsalı: silikon karbid istilik genişləndirmə əmsalı azdır (4.0-4.5 × 10⁻⁶ / K), hələ də yüksək temperaturda ölçülü sabitliyi qoruya bilər.
4. Kimyəvi sabitlik: silikon karbid turşusu və qələvi korroziya müqaviməti, kimyəvi aşındırıcı mühitdə istifadə üçün uyğundur.
5. Yüksək mexaniki güc: silikon karbidinin yüksək əyilmə gücü və sıxıcı gücə malikdir və böyük mexaniki stresə tab gətirə bilər.

Xüsusiyyətlər:

1. Yarımkeçirici sənayesi, həddindən artıq nazik boşluqlar vakuum emiş kubokuna yerləşdirilməlidir, vakuum əmziyi boşaltma, mumlama, incə, mumlama, təmizlik, təmizlik və kəsmə prosesində istifadə olunur.
2.Silicon Carbide Sucker yaxşı istilik keçiriciliyinə malikdir, mumlama və mumlama vaxtını effektiv şəkildə qısaldır, istehsal səmərəliliyini artırır.
3.Silikon karbid vakuum əmziyi də yaxşı turşu və qələvi korroziyaya qarşı müqavimət göstərir.
4. Ənənəvi Corundum daşıyıcısı plitəsi ilə tamamlandı, yüklənməni və boşaltma istiliyini və soyutma müddətini qısaldın, iş səmərəliliyini artırın; Eyni zamanda, yuxarı və aşağı plitələr arasındakı aşınmasını azalda, yaxşı təyyarə dəqiqliyini qoruya bilər və xidmət həyatını təxminən 40% artıra bilər.
5. Material nisbəti kiçik, yüngül çəkidir. Operatorların paletləri daşıması, nəqliyyat çətinliyi nəticəsində dəyən zərər riskini təxminən 20% azaltmaq üçün daha asandır.
6.Size: maksimum diametr 640mm; Düzlük: 3um və ya daha az

Tətbiq sahəsi:

1. Yarımkeçirici istehsal
● Wafter Emal:
Photolitoqrafiya, incə film çöküntüsü və digər proseslərdə vaffer fiksasiyası və digər proseslər üçün yüksək dəqiqlik və proses ardıcıllığını təmin etmək. Onun yüksək temperaturu və korroziya müqaviməti sərt yarımkeçirici istehsal mühitləri üçün uyğundur.
● Epitaxial böyümə:
SIC və ya Gan Epitaxial böyüməsində, istilik və düzəltmək üçün bir daşıyıcı kimi, cihaz performansını yaxşılaşdıran yüksək temperaturda temperaturun vahidliyi və kristal keyfiyyətini təmin etmək üçün bir daşıyıcı kimi.
2. Şəkil avadanlığı
● LED İstehsalat:
Sapphire və ya siv substratını düzəltmək və mocvd prosesində bir istilik daşıyıcısı olaraq, epitaksial böyümənin vahidliyini təmin etmək, LED işıqlığın səmərəliliyi və keyfiyyətini yaxşılaşdırmaq üçün istifadə olunur.
● Lazer Diode:
Proses istiliyinin sabitliyini təmin etmək üçün yüksək dəqiqlik və istilik substratı olaraq, lazer diodunun çıxış gücünü və etibarlılığını artırın.
3. Dəqiq emal
● Optik komponent emalı:
Emal zamanı yüksək dəqiqlik və aşağı çirklənməni təmin etmək üçün optik linzalar və filtrlər kimi dəqiq komponentləri düzəltmək üçün istifadə olunur və yüksək intensivlik üçün uyğundur.
● Seramik emal:
Yüksək sabitlik qurğusu olaraq, yüksək temperatur və aşındırıcı mühitdə dəqiqlik və ardıcıllıqla təmin etmək üçün keramika materiallarının dəqiq işlənməsi üçün uyğundur.
4. Elmi təcrübələr
● Yüksək temperatur təcrübəsi:
Yüksək temperatur mühitində bir nümunə fiksasiya cihazı olaraq, temperaturun vahidliyini və nümunə sabitliyini təmin etmək üçün 1600 ° C-dən yuxarı həddindən artıq temperatur təcrübələrini dəstəkləyir.
● Vakuum testi:
Vakuum mühitində nümunə düzəltmə və istilik daşıyıcısı olaraq, vakuum örtük və istilik müalicəsi üçün uyğun təcrübənin dəqiqliyini və təkrarlanmasını təmin etmək üçün.

Texniki xüsusiyyətlər:

(Maddi xüsusiyyət)		(Vahid)	(SSIC)
(SIC məzmunu)		(Wt)%	> 99
(Orta taxıl ölçüsü)		mikron	4-10
(Sıxlıq)		kq / dm3	> 3.14
(Aydın məsaməsizlik)		VO1%	<0.5
(Vickers sərtliyi)	HV 0.5	Gpa	28
* (Flekseval güc) * (üç xal)	20ºC	Mpa	450
(Kompressiv güc)	20ºC	Mpa	3900
(Elastik modul)	20ºC	Gpa	420
(Sınığı sərtliyi)		Mpa / m '%	3.5
(İstilik keçiriciliyi)	20 ° ° °	*W / (m k)**	160
(Müqavimət)	20 ° ° °	Ohm.cm	106-108
(Termal genişləndirmə əmsalı)	A (RT ... 80ºC)**	*K-1 10-6**	4.3
(Maksimum işləmə temperaturu)		oºc	1700

İllik texniki yığma və sənaye təcrübəsi ilə, XKH, Müştərinin müəyyən ehtiyaclarına uyğun olaraq, Müştərinin müəyyən ehtiyaclarına uyğun olaraq, Müştərinin müəyyən ehtiyaclarına uyğun olaraq Chuck'ın ölçüsü, istilik üsulu və vakuum adsorbsiya dizaynı kimi əsas parametrləri düzəldə bilir. SIC Silicon Carbide Ceramic Chucks, əla istilik keçiriciliyi, yüksək temperatur sabitliyi və kimyəvi sabitlik, epitaxial böyümə və digər əsas proseslərdə əvəzolunmaz komponentlər oldu. Xüsusilə SIC və Gan kimi üçüncü nəsil yarımkeçirici materialların istehsalında, silikon karbiddəki keramika chucks üçün tələb böyüməyə davam edir. Gələcəkdə 5G, elektrikli nəqliyyat vasitələri, süni intellekt və digər texnologiyaların sürətli inkişafı ilə silikon karbid keramik çakiklərin tətbiqi perspektivləri genişlənəcəkdir.