SiC Seramik Çəngəl Qolu / Ucu Effektor - Yarımkeçirici İstehsal üçün Təkmil Dəqiq İdarəetmə

SiC Seramik Çəngəl Qolu / Ucu Effektor - Yarımkeçirici İstehsal üçün Qabaqcıl Dəqiq İdarəetmə Xüsusi Şəkil

Qısa təsvir:

Tez-tez Ceramic End Effector olaraq adlandırılan SiC Seramik Çəngəl Qolu, xüsusilə yarımkeçirici və fotovoltaik istehsalda yüksək texnologiyalı sənayelərdə vafli daşınması, hizalanması və yerləşdirilməsi üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək performanslı dəqiq işləmə komponentidir. Yüksək təmizlikdə silisium karbid keramika istifadə edərək hazırlanmış bu komponent müstəsna mexaniki gücü, ultra aşağı istilik genişlənməsini və termal şoka və korroziyaya qarşı üstün müqaviməti birləşdirir.

Bizə e-poçt göndərin

Xüsusiyyətlər

Ətraflı Diaqram

Məhsula Baxış

Alüminiumdan, paslanmayan poladdan və ya hətta kvarsdan hazırlanmış ənənəvi son effektorlardan fərqli olaraq, SiC keramika son effektorları vakuum kameralarında, təmiz otaqlarda və sərt emal mühitlərində misilsiz performans təklif edərək onları yeni nəsil vafli idarə edən robotların əsas hissəsinə çevirir. Çirklənmədən təmiz istehsala artan tələbat və çip istehsalında daha sərt dözümlülüklə, keramika son effektorlarının istifadəsi sürətlə sənaye standartına çevrilir.

İstehsal prinsipi

uydurmasıSiC Seramik Son Effektorlarhəm performansı, həm də davamlılığı təmin edən bir sıra yüksək dəqiqlikli, yüksək təmizlikli prosesləri əhatə edir. Adətən iki əsas proses istifadə olunur:

Reaksiya ilə bağlanmış silisium karbid (RB-SiC)

Bu prosesdə silisium karbid tozundan və bağlayıcıdan hazırlanmış preforma yüksək temperaturda (~1500°C) ərimiş silisiumla süzülür və bu, sıx, sərt SiC-Si kompoziti yaratmaq üçün qalıq karbonla reaksiya verir. Bu üsul əla ölçülü nəzarət təklif edir və böyük miqyaslı istehsal üçün sərfəli qiymətə malikdir.

Təzyiqsiz Sinterlənmiş Silikon Karbid (SSiC)

SSiC çox yüksək temperaturda (>2000°C) aşqarlardan və ya bağlama fazasından istifadə etmədən ultra incə, yüksək təmizlikli SiC tozunun sinterlənməsi ilə hazırlanır. Bu, təxminən 100% sıxlığa və SiC materialları arasında mövcud olan ən yüksək mexaniki və istilik xüsusiyyətlərinə malik məhsulla nəticələnir. Bu ultra kritik vafli işləmə tətbiqləri üçün idealdır.

Post-Emal

Dəqiq CNC emal: Yüksək düzlük və paralellik əldə edir.
Səthi bitirmə: Almaz cilalama səth pürüzlülüyünü <0,02 µm-ə qədər azaldır.
Yoxlama: Hər bir parçanı yoxlamaq üçün optik interferometriya, CMM və qeyri-dağıdıcı sınaqdan istifadə edilir.

Bu addımlar zəmanət verirSiC son effektiardıcıl vafli yerləşdirmə dəqiqliyi, əla planarlıq və minimal hissəcik əmələ gəlməsini təmin edir.

Əsas Xüsusiyyətlər və Faydalar

Xüsusiyyət	Təsvir
Ultra Yüksək Sərtlik	Vickers sərtliyi > 2500 HV, aşınmaya və qırılmaya davamlıdır.
Aşağı Termal Genişlənmə	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, termal velosipeddə ölçü sabitliyinə imkan verir.
Kimyəvi təsirsizlik	HF, HCl, plazma qazları və digər aşındırıcı maddələrə davamlıdır.
Əla Termal Zərbə Müqaviməti	Vakuum və soba sistemlərində sürətli isitmə/soyutma üçün uyğundur.
Yüksək Sərtlik və Güc	Uzun konsollu çəngəl qollarını əyilmədən dəstəkləyir.
Aşağı qaz buraxma	Ultra yüksək vakuum (UHV) mühitləri üçün idealdır.
ISO Class 1 Təmiz Otaq Hazırdır	Hissəciksiz əməliyyat vaflinin bütövlüyünü təmin edir.

Tətbiqlər

SiC Ceramic Fork Arm / End Effector həddindən artıq dəqiqlik, təmizlik və kimyəvi müqavimət tələb edən sənayelərdə geniş istifadə olunur. Əsas tətbiq ssenarilərinə aşağıdakılar daxildir:

Yarımkeçiricilərin istehsalı

Çökmə (CVD, PVD), aşındırma (RIE, DRIE) və təmizləmə sistemlərində vafli yükləmə/boşaltma.
FOUPs, kasetlər və proses alətləri arasında robot vafli daşınması.
Termik emal və ya tavlama zamanı yüksək temperaturla işləmə.

Fotovoltaik hüceyrə istehsalı

Avtomatlaşdırılmış xətlərdə kövrək silikon vaflilərin və ya günəş substratlarının zərif daşınması.

Düz Panel Ekran (FPD) Sənayesi

OLED/LCD istehsal mühitlərində böyük şüşə panellərin və ya substratların daşınması.

Mürəkkəb yarımkeçirici / MEMS

Çirklənməyə nəzarət və yerləşdirmə dəqiqliyinin vacib olduğu GaN, SiC və MEMS istehsal xətlərində istifadə olunur.

Onun son effektor rolu həssas əməliyyatlar zamanı qüsursuz, sabit işləməyi təmin etmək üçün xüsusilə vacibdir.

Fərdiləşdirmə imkanları

Biz müxtəlif avadanlıq və proses tələblərinə cavab vermək üçün geniş fərdiləşdirmə təklif edirik:

Çəngəl Dizaynı: İki dırnaqlı, çoxbarmaqlı və ya bölünmüş səviyyəli planlar.
Gofret Ölçüsü Uyğunluğu: 2"-dən 12"-ə qədər vaflilər.
Quraşdırma interfeysləri: OEM robot qolları ilə uyğun gəlir.
Qalınlıq və Səth Toleransları: Mikron səviyyəli düzlük və kənar yuvarlaqlaşdırma mövcuddur.
Sürüşməyə qarşı Xüsusiyyətlər: Güvənli vafli tutma üçün isteğe bağlı səth toxumaları və ya örtüklər.

Hər birikeramika son effektiminimal alət dəyişiklikləri ilə dəqiq uyğunluğu təmin etmək üçün müştərilərlə birgə dizayn edilmişdir.

Tez-tez verilən suallar (FAQ)

S1: SiC son effektor tətbiqi üçün kvarsdan necə yaxşıdır?
A1:Kvars adətən təmizliyi üçün istifadə edilsə də, mexaniki möhkəmliyə malik deyil və yük və ya temperatur zərbəsi altında qırılmağa meyllidir. SiC üstün güc, aşınma müqaviməti və termal sabitlik təklif edir, dayanma vaxtı və vafli zədələnmə riskini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.

2-ci sual: Bu keramika çəngəl qolu bütün robot vafli emal edənlərə uyğundurmu?
A2:Bəli, keramika son effektorlarımız əksər vafli idarəetmə sistemləri ilə uyğun gəlir və dəqiq mühəndislik təsvirləri ilə xüsusi robot modellərinizə uyğunlaşdırıla bilər.

3-cü sual: 300 mm-lik vafliləri əyilmədən idarə edə bilərmi?
A3:Tamamilə. SiC-nin yüksək sərtliyi hətta nazik, uzun çəngəl qollarına 300 mm-lik vafliləri hərəkət zamanı sallanma və əyilmə olmadan etibarlı şəkildə saxlamağa imkan verir.

S4: SiC keramika son effektorunun tipik xidmət müddəti nədir?
A4:Düzgün istifadə edildikdə, SiC son effektoru istilik və mexaniki stresə qarşı əla müqaviməti sayəsində ənənəvi kvars və ya alüminium modellərindən 5-10 dəfə uzun müddət davam edə bilər.

S5: Siz dəyişdirmə və ya sürətli prototipləmə xidmətləri təklif edirsiniz?
A5:Bəli, biz sürətli nümunə istehsalını dəstəkləyirik və mövcud avadanlıqdan CAD çertyojları və ya tərs mühəndis hissələri əsasında əvəzetmə xidmətləri təklif edirik.

Haqqımızda

XKH xüsusi optik şüşə və yeni kristal materialların yüksək texnologiyalı inkişafı, istehsalı və satışı üzrə ixtisaslaşmışdır. Məhsullarımız optik elektronika, istehlak elektronikası və orduya xidmət edir. Biz Sapphire optik komponentləri, mobil telefon linzaları, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Kvars və yarımkeçirici kristal vafliləri təklif edirik. Bacarıqlı təcrübə və qabaqcıl avadanlıqla, biz qabaqcıl optoelektronik materialların yüksək texnologiyalı müəssisəsi olmağı qarşısına məqsəd qoyaraq qeyri-standart məhsul emalı sahəsində üstünyük.