Yüksək Temperatur Müqavimətinə malik Vafli Daşıyıcısı üçün SiC Seramik Qab
Silikon Karbid Keramika Qabı (SiC Qabı)
Yarımkeçirici istehsalı və LED istehsalı kimi qabaqcıl sənaye tətbiqləri üçün hazırlanmış, silikon karbid (SiC) materialına əsaslanan yüksək performanslı keramika komponenti. Onun əsas funksiyalarına lövhə daşıyıcısı, aşındırma prosesi platforması və ya yüksək temperaturlu proses dəstəyi kimi xidmət etmək, prosesin vahidliyini və məhsulun məhsuldarlığını təmin etmək üçün müstəsna istilik keçiriciliyindən, yüksək temperatur müqavimətindən və kimyəvi sabitlikdən istifadə etmək daxildir.
Əsas Xüsusiyyətlər
1. İstilik Performansı
- Yüksək İstilik Keçiriciliyi: 140–300 Vt/m·K, ənənəvi qrafiti (85 Vt/m·K) əhəmiyyətli dərəcədə üstələyir, sürətli istilik yayılmasına və istilik stressinin azalmasına imkan verir.
- Aşağı İstilik Genişlənmə Əmsalı: 4.0 × 10⁻⁶/℃ (25–1000℃), silikonla (2.6 × 10⁻⁶/℃) çox oxşardır, istilik deformasiya risklərini minimuma endirir.
2. Mexaniki Xüsusiyyətlər
- Yüksək möhkəmlik: Əyilmə möhkəmliyi ≥320 MPa (20℃), sıxılmaya və zərbəyə davamlıdır.
- Yüksək Sərtlik: Mohs sərtliyi 9.5, yalnız almazdan sonra ikinci yerdədir və üstün aşınma müqaviməti təklif edir.
3. Kimyəvi Sabitlik
- Korroziyaya davamlılıq: Güclü turşulara (məsələn, HF, H₂SO₄) davamlıdır, aşındırma prosesləri üçün uyğundur.
- Qeyri-maqnit: Daxili maqnit həssaslığı <1×10⁻⁶ emu/g, dəqiq cihazlarla müdaxilənin qarşısını alır.
4. Həddindən artıq Ətraf Mühitə Dözümlülük
- Yüksək Temperatur Davamlılığı: Uzunmüddətli işləmə temperaturu 1600–1900℃-ə qədər; qısamüddətli müqavimət 2200℃-ə qədər (oksigensiz mühit).
- Termal Zərbəyə Davamlılıq: Çatlamadan qəfil temperatur dəyişikliklərinə (ΔT >1000℃) davam gətirir.
Tətbiqlər
| Tətbiq sahəsi | Xüsusi ssenarilər | Texniki Dəyər |
| Yarımkeçirici İstehsalı | Lövhə aşındırılması (ICP), nazik təbəqə çöküntüsü (MOCVD), CMP cilalanması | Yüksək istilik keçiriciliyi vahid temperatur sahələrini təmin edir; aşağı istilik genişlənməsi lövhənin əyilməsini minimuma endirir. |
| LED istehsalı | Epitaksial böyümə (məsələn, GaN), lövhə doğranması, qablaşdırma | Çoxnövlü qüsurları aradan qaldırır, LED işıqlandırma səmərəliliyini və ömrünü artırır. |
| Fotovoltaik Sənaye | Silikon lövhə sinterləmə sobaları, PECVD avadanlığı dayaqları | Yüksək temperatur və istilik şokuna davamlılıq avadanlığın ömrünü uzadır. |
| Lazer və Optika | Yüksək güclü lazer soyutma substratları, optik sistem dayaqları | Yüksək istilik keçiriciliyi optik komponentləri sabitləşdirərək sürətli istilik yayılmasına imkan verir. |
| Analitik Alətlər | TGA/DSC nümunə tutucuları | Aşağı istilik tutumu və sürətli istilik reaksiyası ölçmə dəqiqliyini artırır. |
Məhsulun üstünlükləri
- Hərtərəfli Performans: İstilik keçiriciliyi, möhkəmliyi və korroziyaya davamlılığı alüminium və silikon nitrid keramikasını xeyli üstələyir və həddindən artıq əməliyyat tələblərinə cavab verir.
- Yüngül Dizayn: Sıxlığı 3.1–3.2 q/sm³ (40%-i poladdan), ətalət yükünü azaldır və hərəkət dəqiqliyini artırır.
- Uzunömürlülük və Etibarlılıq: 1600℃ temperaturda xidmət müddəti 5 ildən çoxdur, bu da dayanma müddətini və əməliyyat xərclərini 30% azaldır.
- Fərdiləşdirmə: Dəqiq tətbiqlər üçün düzlük xətası <15 μm olan mürəkkəb həndəsələri (məsələn, məsaməli sorucu stəkanlar, çoxqatlı qablar) dəstəkləyir.
Texniki Xüsusiyyətlər
| Parametr Kateqoriyası | Göstərici |
| Fiziki Xüsusiyyətlər | |
| Sıxlıq | ≥3.10 q/sm³ |
| Bükülmə Gücü (20℃) | 320–410 MPa |
| İstilik keçiriciliyi (20℃) | 140–300 Vt/(m·K) |
| İstilik Genişlənmə Əmsalı (25–1000℃) | 4.0×10⁻⁶/℃ |
| Kimyəvi Xüsusiyyətlər | |
| Turşuya davamlılıq (HF/H₂SO₄) | 24 saat batırıldıqdan sonra korroziya yoxdur |
| Emal Dəqiqliyi | |
| Düzlük | ≤15 μm (300×300 mm) |
| Səth Kələ-kötürlüyü (Ra) | ≤0.4 μm |
XXKH-nin Xidmətləri
XKH, xüsusi inkişaf, dəqiq emal və ciddi keyfiyyət nəzarətini əhatə edən hərtərəfli sənaye həlləri təqdim edir. Xüsusi inkişaf üçün, yarımkeçiricilər və aerokosmik kimi tətbiqlər üçün mürəkkəb həndəsələri optimallaşdırmaq üçün 3D modelləşdirmə və simulyasiya ilə birləşdirilmiş yüksək təmizlikli (>99.999%) və məsaməli (30-50% məsaməlilik) material həlləri təklif edir. Dəqiq emal sadələşdirilmiş bir prosesi izləyir: toz emalı → izostatik/quru presləmə → 2200°C sinterləmə → CNC/almaz üyütmə → yoxlama, nanometr səviyyəli cilalama və ±0.01 mm ölçülü tolerantlığı təmin edir. Keyfiyyətə nəzarət, qabaqcıl sənaye ehtiyacları üçün etibarlı, yüksək performanslı komponentlər təqdim edən tam proses sınaqlarını (XRD tərkibi, SEM mikrostrukturu, 3 nöqtəli əyilmə) və texniki dəstəyi (prosesin optimallaşdırılması, 24/7 məsləhətləşmə, 48 saat nümunə çatdırılması) əhatə edir.
Tez-tez Verilən Suallar (FAQ)
1. S: Silikon karbid keramika qablarından hansı sənaye sahələrində istifadə olunur?
A: Həddindən artıq istiliyə davamlılığı və kimyəvi stabilliyinə görə yarımkeçirici istehsalında (plitə emalı), günəş enerjisində (PECVD prosesləri), tibbi avadanlıqlarda (MRT komponentləri) və aerokosmik sahədə (yüksək temperaturlu hissələr) geniş istifadə olunur.
2. S: Silisium karbid kvars/şüşə qablardan necə daha yaxşı işləyir?
A: Daha yüksək istilik zərbəsinə davamlılıq (kvarsın 1100°C-yə qarşı 1800°C-yə qədər), sıfır maqnit müdaxiləsi və daha uzun ömür müddəti (kvarsın 6-12 ayına qarşı 5+ il).
3. S: Silikon karbid qabları turşu mühitlərə tab gətirə bilərmi?
A: Bəli. HF, H2SO4 və NaOH-a qarşı davamlıdır və ildə <0.01 mm korroziyaya məruz qalır, bu da onları kimyəvi aşındırma və lövhə təmizləmə üçün ideal edir.
4. S: Silikon karbid qabları avtomatlaşdırma ilə uyğundurmu?
A: Bəli. Avtomatlaşdırılmış fabriklərdə hissəciklərin çirklənməsinin qarşısını almaq üçün səth düzlüyü <0.01 mm olan vakuum yığımı və robot idarəetmə üçün nəzərdə tutulmuşdur.
5. S: Ənənəvi materiallarla müqayisədə qiymət müqayisəsi nədir?
A: Daha yüksək ilkin xərc (3-5 dəfə kvars), lakin uzun ömür müddəti, azalmış dayanma müddəti və üstün istilik keçiriciliyindən enerji qənaəti səbəbindən 30-50% daha aşağı TCO.
