Yüksək temperatura davamlı vafli daşıyıcı üçün SiC keramika qabı
Silikon karbid keramika qabı (SiC qabı).
Yarımkeçiricilərin istehsalı və LED istehsalı kimi qabaqcıl sənaye tətbiqləri üçün nəzərdə tutulmuş silisium karbid (SiC) materialına əsaslanan yüksək performanslı keramika komponenti. Onun əsas funksiyalarına vafli daşıyıcı, aşındırma prosesi platforması və ya yüksək temperatur proses dəstəyi kimi xidmət etmək, prosesin vahidliyini və məhsul məhsuldarlığını təmin etmək üçün müstəsna istilik keçiriciliyi, yüksək temperatur müqaviməti və kimyəvi sabitlikdən istifadə etmək daxildir.
Əsas Xüsusiyyətlər
1. İstilik Performansı
- Yüksək istilik keçiriciliyi: 140-300 Vt/m·K, ənənəvi qrafiti (85 Vt/m·K) əhəmiyyətli dərəcədə üstələyir, sürətli istilik yayılmasına və istilik gərginliyini azaldır.
- Aşağı Termal Genişlənmə əmsalı: 4.0×10⁻⁶/℃ (25–1000℃), yaxından uyğun gələn silikon (2.6×10⁻⁶/℃), termal deformasiya risklərini minimuma endirir.
2. Mexaniki xüsusiyyətlər
- Yüksək Gücü: əyilmə gücü ≥320 MPa (20℃), sıxılma və təsirə davamlıdır.
- Yüksək Sərtlik: Mohs sərtliyi 9.5, yalnız almazdan sonra ikinci, üstün aşınma müqaviməti təklif edir.
3. Kimyəvi Sabitlik
- Korroziyaya Müqavimət: Güclü turşulara (məsələn, HF, H₂SO₄) davamlıdır, aşındırma prosesi mühitləri üçün uyğundur.
- Qeyri-maqnit: Daxili maqnit həssaslığı <1×10⁻⁶ emu/g, dəqiq alətlərlə müdaxilənin qarşısını alır.
4. Ekstremal Ətraf Tolerantlıq
- Yüksək temperaturda davamlılıq: 1600-1900 ℃-ə qədər uzunmüddətli işləmə temperaturu; 2200℃-ə qədər qısamüddətli müqavimət (oksigensiz mühit).
- Termal Zərbə Müqaviməti: Kəskin temperatur dəyişikliklərinə (ΔT >1000℃) çatlamadan dözür.
Tətbiqlər
| Tətbiq sahəsi | Xüsusi Ssenarilər | Texniki Dəyər |
| Yarımkeçiricilərin istehsalı | Gofret aşındırması (ICP), nazik təbəqənin çökməsi (MOCVD), CMP cilalanması | Yüksək istilik keçiriciliyi vahid temperatur sahələrini təmin edir; aşağı istilik genişlənməsi vafli əyilməni minimuma endirir. |
| LED istehsalı | Epitaksial böyümə (məsələn, GaN), vafli dilimləmə, qablaşdırma | Çox tipli qüsurları aradan qaldırır, LED işıqlandırma səmərəliliyini və ömrünü artırır. |
| Fotovoltaik sənaye | Silikon vafli sinterləmə sobaları, PECVD avadanlığı dəstəkləyir | Yüksək temperatur və termal şok müqaviməti avadanlığın ömrünü uzadır. |
| Lazer və Optika | Yüksək güclü lazer soyutma altlıqları, optik sistem dəstəkləri | Yüksək istilik keçiriciliyi sürətli istilik yayılmasına, optik komponentləri sabitləşdirməyə imkan verir. |
| Analitik alətlər | TGA/DSC nümunə sahibləri | Aşağı istilik tutumu və sürətli istilik reaksiyası ölçmə dəqiqliyini artırır. |
Məhsul Üstünlükləri
- Hərtərəfli Performans: İstilik keçiriciliyi, gücü və korroziyaya qarşı müqaviməti ifrat əməliyyat tələblərinə cavab verən alüminium oksidi və silisium nitridi keramikaları xeyli üstələyir.
- Yüngül Dizayn: 3,1-3,2 q/sm³ (poladın 40%-i) sıxlığı, inertial yükü azaldır və hərəkət dəqiqliyini artırır.
- Uzunömürlülük və Etibarlılıq: Xidmət müddəti 1600 ℃ temperaturda 5 ildən artıqdır, dayanma müddətini azaldır və əməliyyat xərclərini 30% azaldır.
- Fərdiləşdirmə: Dəqiq tətbiqlər üçün düzlük xətası <15 μm olan mürəkkəb həndəsələri (məsələn, məsaməli vantuzlar, çox qatlı qablar) dəstəkləyir.
Texniki Spesifikasiyalar
| Parametr kateqoriyası | göstərici |
| Fiziki xüsusiyyətlər | |
| Sıxlıq | ≥3,10 q/sm³ |
| Bükülmə Gücü (20 ℃) | 320–410 MPa |
| İstilik keçiriciliyi (20 ℃) | 140–300 Vt/(m·K) |
| İstilik genişlənmə əmsalı (25-1000 ℃) | 4,0×10⁻⁶/℃ |
| Kimyəvi xassələri | |
| Turşu Müqaviməti (HF/H₂SO₄) | 24 saat batırıldıqdan sonra korroziya yoxdur |
| Emal Dəqiqliyi | |
| Yastılıq | ≤15 μm (300×300 mm) |
| Səthi pürüzlülük (Ra) | ≤0,4 μm |
XKH xidmətləri
XKH fərdi inkişaf, dəqiq emal və ciddi keyfiyyətə nəzarəti əhatə edən hərtərəfli sənaye həlləri təqdim edir. Xüsusi inkişaf üçün o, yarımkeçiricilər və aerokosmik tətbiqlər üçün mürəkkəb həndəsələri optimallaşdırmaq üçün 3D modelləşdirmə və simulyasiya ilə birləşdirilmiş yüksək təmizlik (>99,999%) və məsaməli (30-50% məsaməli) material həlləri təklif edir. Dəqiq emal sadələşdirilmiş bir prosesi izləyir: toz emalı → izostatik/quru presləmə → 2200°C sinterləmə → CNC/almaz daşlama → yoxlama, nanometr səviyyəsində cilalanma və ±0,01 mm ölçülü dözümlülüyün təmin edilməsi. Keyfiyyətə nəzarətə qabaqcıl sənaye ehtiyacları üçün etibarlı, yüksək performanslı komponentlər təqdim edən tam proses testi (XRD tərkibi, SEM mikro strukturu, 3 nöqtəli əyilmə) və texniki dəstək (prosesin optimallaşdırılması, 24/7 məsləhət, 48 saatlıq nümunə çatdırılması) daxildir.
Tez-tez verilən suallar (FAQ)
1. S: Hansı sənaye silikon karbid keramika qablarından istifadə edir?
A: Həddindən artıq istiliyə davamlılıq və kimyəvi sabitliyə görə yarımkeçirici istehsalında (vafli işləmə), günəş enerjisində (PECVD prosesləri), tibbi avadanlıqlarda (MRT komponentləri) və aerokosmikdə (yüksək temperatur hissələri) geniş istifadə olunur.
2. S: Silikon karbid kvars/şüşə qablardan necə üstündür?
A: Daha yüksək termal zərbə müqaviməti (kvarsın 1100°C-yə qarşı 1800°C-ə qədər), sıfır maqnit müdaxiləsi və daha uzun ömür (5+ il və kvarsın 6-12 ayı).
3. S: Silikon karbid qablar asidik mühitləri idarə edə bilərmi?
A: Bəli. İldə <0,01 mm korroziyaya malik HF, H2SO4 və NaOH'a davamlıdır, bu da onları kimyəvi aşındırma və vafli təmizləmə üçün ideal edir.
4. S: Silisium karbid qabları avtomatlaşdırmaya uyğundurmu?
A: Bəli. Avtomatlaşdırılmış fabriklərdə hissəciklərin çirklənməsinin qarşısını almaq üçün səthi düzlük <0,01 mm olan vakuum götürmə və robotla işləmə üçün nəzərdə tutulmuşdur.
5. S: Ənənəvi materiallarla qiymət müqayisəsi nədir?
A: Daha yüksək ilkin xərc (3-5x kvars), lakin uzadılmış xidmət müddəti, azaldılmış dayanma müddəti və üstün istilik keçiriciliyindən enerjiyə qənaət səbəbindən 30-50% aşağı TCO.
