Avadanlıq üçün CVD SiC örtüklü SiC keramika qabı boşqab qrafit

Qısa təsvir:

Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd. Φ380mm–Φ600mm yarımkeçirici aşındırma diski, vafli daşıyıcı disk, silisium karbid qabı, SIC qabı, silisium karbid qabı, ICP aşındırma qabı, aşındırma qabı, silisium karbid təmizliyi > 99% xidmət müddəti istehsal edir. qrafit əsaslı olduğundan dörd dəfə çoxdur CVD qabı, deformasiya olmadan uzunmüddətli istifadə, FH turşusuna davamlı, konsentratlı H2So4 korroziyasına.

Bizə e-poçt göndərin

Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

Silikon karbid keramika yalnız epitaksiya və ya MOCVD kimi nazik təbəqənin çökmə mərhələsində və ya vafli emalında istifadə edilmir, bunun əsasında MOCVD üçün vafli daşıyıcı qablar əvvəlcə çökmə mühitinə məruz qalır və buna görə də yüksək dərəcədə davamlıdır. istilik və korroziya.SiC örtüklü daşıyıcılar da yüksək istilik keçiriciliyinə və əla istilik paylama xüsusiyyətlərinə malikdir.

Yüksək temperaturda Metal Üzvi Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (MOCVD) emalı üçün Saf Kimyəvi Buxar Depoziti Silikon Karbid (CVD SiC) vafli daşıyıcıları.

Saf CVD SiC vafli daşıyıcıları bu prosesdə istifadə edilən qrafit olan və CVD SiC təbəqəsi ilə örtülmüş adi vafli daşıyıcılardan əhəmiyyətli dərəcədə üstündür. bu örtülmüş qrafit əsaslı daşıyıcılar bugünkü yüksək parlaqlıqlı mavi və ağ ledin GaN çökməsi üçün tələb olunan yüksək temperaturlara (1100 ilə 1200 dərəcə Selsi) tab gətirə bilməz. Yüksək temperaturlar örtükdə xırda iynə dəliklərinin yaranmasına səbəb olur, bunun vasitəsilə kimyəvi maddələrin altındakı qrafiti aşındırır. Qrafit hissəcikləri daha sonra soyulur və GaN-ni çirkləndirir, bu da örtülmüş vafli daşıyıcının dəyişdirilməsinə səbəb olur.

CVD SiC 99,999% və ya daha çox təmizliyə malikdir və yüksək istilik keçiriciliyinə və istilik şokuna qarşı müqavimətə malikdir. Buna görə də, yüksək parlaqlıqlı LED istehsalının yüksək temperaturlarına və sərt mühitlərinə tab gətirə bilər. Nəzəri sıxlığa çatan, minimal hissəciklər istehsal edən, çox yüksək korroziya və aşınma müqaviməti göstərən möhkəm monolit materialdır. Material metal çirkləri daxil etmədən qeyri-şəffaflığı və keçiriciliyi dəyişə bilər. Gofret daşıyıcıları adətən 17 düym diametrdədir və 40-a qədər 2-4 düymlük vafli saxlaya bilir.