Silikon Karbid Konsol Avarçəkmə (SiC Konsol Avarçəkmə)
Ətraflı Diaqram
Məhsula Baxış
Yüksək performanslı reaksiya ilə əlaqəli silikon karbiddən (RBSiC) istehsal olunan silikon karbid konsol avarı, yarımkeçirici və fotovoltaik tətbiqlər üçün lövhə yükləmə və emal sistemlərində istifadə olunan vacib bir komponentdir.
Ənənəvi kvars və ya qrafit avarları ilə müqayisədə, SiC konsol avarları üstün mexaniki möhkəmlik, yüksək sərtlik, aşağı istilik genişlənməsi və əla korroziyaya davamlılıq təklif edir. Onlar yüksək temperaturda əla struktur sabitliyini qoruyub saxlayır, böyük lövhə ölçüləri, uzun xidmət müddəti və ultra aşağı çirklənmə kimi ciddi tələblərə cavab verir.
Yarımkeçirici proseslərin daha böyük lövhə diametrlərinə, daha yüksək məhsuldarlığa və daha təmiz emal mühitlərinə doğru davamlı inkişafı ilə SiC konsol yastıqları tədricən ənənəvi materialları əvəz edərək diffuziya sobaları, LPCVD və əlaqəli yüksək temperaturlu avadanlıqlar üçün üstünlük verilən seçim halına gəlmişdir.
Məhsul Xüsusiyyətləri
-
Əla Yüksək Temperatur Sabitliyi
-
1000–1300℃ temperaturda deformasiya olmadan etibarlı şəkildə işləyir.
-
Maksimum xidmət temperaturu 1380℃-ə qədər.
-
-
Yüksək Yük Daşıma Qabiliyyəti
-
Əyilmə gücü 250–280 MPa-ya qədərdir ki, bu da kvars avarlarından daha yüksəkdir.
-
Böyük diametrli lövhələri (300 mm və daha yuxarı) idarə etmək qabiliyyətinə malikdir.
-
-
Genişləndirilmiş Xidmət Ömrü və Az Baxım
-
Aşağı istilik genişlənmə əmsalı (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), LPCVD örtük materialları ilə yaxşı uyğunlaşır.
-
Stressdən qaynaqlanan çatları və soyulmanı azaldır, təmizləmə və texniki xidmət dövrlərini əhəmiyyətli dərəcədə uzadır.
-
-
Korroziyaya davamlılıq və təmizlik
-
Turşulara və qələvilərə qarşı əla müqavimət.
-
Açıq məsaməliliyi <0,1% olan sıx mikrostruktur, hissəciklərin əmələ gəlməsini və çirklərin buraxılmasını minimuma endirir.
-
-
Avtomatlaşdırmaya Uyğun Dizayn
-
Yüksək ölçülü dəqiqliklə sabit en kəsik həndəsəsi.
-
Robotlaşdırılmış lövhə yükləmə və boşaltma sistemləri ilə sorunsuz şəkildə inteqrasiya olunur və tam avtomatlaşdırılmış istehsala imkan verir.
-
Fiziki və Kimyəvi Xüsusiyyətlər
| Məhsul | Vahid | Məlumatlar |
|---|---|---|
| Maksimum Xidmət Temperaturu | ℃ | 1380-ci il |
| Sıxlıq | q/sm³ | 3.04 – 3.08 |
| Açıq məsaməlilik | % | < 0.1 |
| Əyilmə Gücü | MPa | 250 (20℃), 280 (1200℃) |
| Elastiklik Modulu | Ümumi Orta Pa | 330 (20℃), 300 (1200℃) |
| İstilik keçiriciliyi | Vt/m·K | 45 (1200℃) |
| İstilik Genişlənmə Əmsalı | K⁻¹×10⁻⁶ | 4.5 |
| Vickers Sərtliyi | HV2 | ≥ 2100 |
| Turşu/Qələvi Müqaviməti | - | Əla |
-
Standart uzunluqlar:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
-
Xüsusi ölçülər tələb olunduqda mövcuddur
Tətbiqlər
-
Yarımkeçiricilər Sənayesi
-
LPCVD (Aşağı Təzyiqli Kimyəvi Buxar Çöküntüsü)
-
Diffuziya prosesləri (fosfor, bor və s.)
-
Termal oksidləşmə
-
-
Fotovoltaik Sənaye
-
Polisilikon və monokristal lövhə diffuziyası və örtüyü
-
Yüksək temperaturda tavlama və passivasiya
-
-
Digər sahələr
-
Yüksək temperaturlu korroziyalı mühitlər
-
Uzun xidmət müddəti və aşağı çirklənmə tələb edən dəqiq lövhə idarəetmə sistemləri
-
Müştəri üstünlükləri
-
Əməliyyat Xərclərinin Azaldılması– Kvars avarları ilə müqayisədə daha uzun ömür müddəti, boş dayanma vaxtını və dəyişdirmə tezliyini minimuma endirir.
-
Daha yüksək məhsuldarlıq– Son dərəcə aşağı çirklənmə lövhə səthinin təmizliyini təmin edir və qüsur nisbətlərini azaldır.
-
Gələcəyə Dəyərli– Böyük lövhə ölçüləri və yeni nəsil yarımkeçirici proseslərlə uyğundur.
-
Təkmilləşdirilmiş Məhsuldarlıq– Robot avtomatlaşdırma sistemləri ilə tam uyğundur, yüksək həcmli istehsalı dəstəkləyir.
Tez-tez verilən suallar – Silikon Karbid Konsol Avarçəkmə
S1: Silikon karbid konsol avar nədir?
A: Reaksiya ilə əlaqəli silikon karbiddən (RBSiC) hazırlanmış lövhə dayaq və idarəetmə komponentidir. Diffuziya sobalarında, LPCVD-də və digər yüksək temperaturlu yarımkeçirici və fotovoltaik proseslərdə geniş istifadə olunur.
S2: Niyə kvars avarları əvəzinə SiC seçməlisiniz?
A: Kvars avarları ilə müqayisədə SiC avarları aşağıdakıları təklif edir:
-
Daha yüksək mexaniki möhkəmlik və yük daşıma qabiliyyəti
-
1380℃-ə qədər temperaturda daha yaxşı istilik sabitliyi
-
Daha uzun xidmət müddəti və azaldılmış texniki xidmət dövrləri
-
Daha aşağı hissəcik əmələ gəlməsi və çirklənmə riski
-
Daha böyük lövhə ölçüləri (300 mm və daha yuxarı) ilə uyğunluq
S3: SiC konsol avar hansı lövhə ölçülərini dəstəkləyə bilər?
A: 2378 mm, 2550 mm və 2660 mm-lik soba sistemləri üçün standart kürəklər mövcuddur. 300 mm və daha çox diametrli lövhələri dəstəkləmək üçün xüsusi ölçülər mövcuddur.
Haqqımızda
XKH xüsusi optik şüşə və yeni kristal materiallarının yüksək texnologiyalı inkişafı, istehsalı və satışı üzrə ixtisaslaşıb. Məhsullarımız optik elektronika, istehlakçı elektronikası və hərbçilərə xidmət göstərir. Biz Sapphire optik komponentləri, mobil telefon linza örtükləri, keramika, LT, silikon karbid SIC, kvars və yarımkeçirici kristal lövhələr təklif edirik. Bacarıqlı təcrübə və qabaqcıl avadanlıqlarla, aparıcı optoelektron materialları yüksək texnologiyalı müəssisə olmağı hədəfləyərək qeyri-standart məhsul emalı sahəsində üstünlüyümüz var.
