Silikon karbid keramika qabı əmzikli Silikon karbid keramika boru təchizatı yüksək temperaturda sinterləmə xüsusi emal
Əsas xüsusiyyətlər:
1. Silikon karbid keramika qabı
- Yüksək sərtlik və aşınma müqaviməti: sərtlik almaza yaxındır və vafli emal zamanı mexaniki aşınmaya uzun müddət davam edə bilər.
- Yüksək istilik keçiriciliyi və aşağı istilik genişlənmə əmsalı: sürətli istilik yayılması və ölçü sabitliyi, istilik stressinin yaratdığı deformasiyadan qaçınmaq.
- Yüksək düzlük və səthi bitirmə: Səthin hamarlığı mikron səviyyəsinə qədərdir, vafli ilə disk arasında tam təması təmin edir, çirklənmə və zədələnməni azaldır.
Kimyəvi sabitlik: Güclü korroziyaya davamlıdır, yarımkeçirici istehsalında nəm təmizləmə və aşındırma prosesləri üçün uyğundur.
2. Silikon karbid keramik boru
- Yüksək temperatur müqaviməti: 1600°C-dən yuxarı yüksək temperatur mühitində uzun müddət işləyə bilər, yarımkeçirici yüksək temperatur prosesinə uyğundur.
Əla korroziya müqaviməti: turşulara, qələvilərə və müxtəlif kimyəvi həlledicilərə davamlıdır, sərt proses mühitləri üçün uyğundur.
- Yüksək sərtlik və aşınma müqaviməti: hissəciklərin aşınmasına və mexaniki aşınmaya müqavimət göstərin, xidmət müddətini uzadın.
- Yüksək istilik keçiriciliyi və istilik genişlənməsinin aşağı əmsalı: istilik və ölçülü sabitliyin sürətli ötürülməsi, istilik stresindən yaranan deformasiya və ya krekinqlərin azaldılması.
Məhsul parametri:
Silikon karbid keramika qabının parametri:
| (maddi əmlak) | (vahid) | (ssic) | |
| (SiC məzmunu) | (ağırlıq)% | >99 | |
| (Orta taxıl ölçüsü) | mikron | 4-10 | |
| (sıxlıq) | kq/dm3 | >3.14 | |
| (Görünən məsaməlik) | Səs 1% | <0,5 | |
| (Vickers sərtliyi) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Bükülmə gücü* (üç xal) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Sıxılma gücü) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Elastik Modul) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Qırılma sərtliyi) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (istilik keçiriciliyi) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (müqavimət) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Termal genişlənmə əmsalı) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Maksimum iş temperaturu) | oºC | 1700 | |
Silikon karbid keramika borusu parametri:
| Əşyalar | indeks |
| α-SIC | 99% min |
| Görünən məsaməlik | 16% maks |
| Kütləvi sıxlıq | 2,7 q/sm3 dəq |
| Yüksək temperaturda əyilmə gücü | 100 Mpa dəq |
| İstilik genişlənmə əmsalı | K-1 4.7x10 -6 |
| İstilik keçiricilik əmsalı (1400ºC) | 24 Vt/mk |
| Maks. İş temperaturu | 1650ºC |
Əsas tətbiqlər:
1. Silikon karbid keramika lövhəsi
- Gofretin kəsilməsi və cilalanması: kəsmə və cilalama zamanı yüksək dəqiqliyi və sabitliyi təmin etmək üçün daşıyıcı platforma kimi xidmət edir.
- Litoqrafiya prosesi: Ekspozisiya zamanı yüksək dəqiqlikli yerləşdirməni təmin etmək üçün vafli litoqrafiya maşınında sabitlənmişdir.
- Kimyəvi Mexanik Cilalama (CMP): Yastıqları cilalamaq üçün dəstək platforması kimi çıxış edir, vahid təzyiq və istilik paylanmasını təmin edir.
2. Silikon karbid keramik boru
- Yüksək temperaturlu soba borusu: diffuziya sobası və oksidləşmə sobası kimi yüksək temperaturlu avadanlıq üçün yüksək temperatur prosesinin müalicəsi üçün vafli daşımaq üçün istifadə olunur.
- CVD/PVD prosesi: Reaksiya kamerasında daşıyıcı boru kimi, yüksək temperaturlara və aşındırıcı qazlara davamlıdır.
- Yarımkeçirici avadanlıq aksesuarları: istilik dəyişdiriciləri, qaz kəmərləri və s. üçün, avadanlıqların istilik idarəetmə səmərəliliyini artırmaq üçün.
XKH silisium karbid keramika qablar, vantuzlar və silisium karbid keramika boruları üçün xüsusi xidmətlərin tam çeşidini təklif edir. Silikon karbid keramika qablar və vantuzlar, XKH müxtəlif ölçülərdə, formalarda və səth pürüzlülüyündə müştəri tələblərinə uyğun olaraq düzəldilə bilər və xüsusi örtük müalicəsini dəstəkləyir, aşınma müqavimətini və korroziyaya davamlılığı artırır; Silikon karbid keramika boruları üçün XKH müxtəlif daxili diametrləri, xarici diametrləri, uzunluqları və mürəkkəb strukturları (məsələn, formalı boru və ya məsaməli boru) fərdiləşdirə bilər və cilalama, oksidləşmə əleyhinə örtük və digər səth müalicəsi proseslərini təmin edə bilər. XKH müştərilərin yarımkeçiricilər, ledlər və fotovoltaiklər kimi yüksək səviyyəli istehsal sahələrinin tələblərinə cavab vermək üçün silisium karbid keramika məhsullarının performans üstünlüklərindən tam istifadə etmələrini təmin edir.
Ətraflı Diaqram
