Silikon karbid keramika tepsisi Sucker Silikon Carbide Seramik Boru Təchizatı Yüksək temperaturu Xüsusi emal

Silikon karbid keramika tepsisi sucker silikon karbid keramik boru təchizatı yüksək temperaturu yüksək temperaturu Xüsusi emal Xüsusi işarə

Qısa təsvir:

Silikon karbid keramika tepsisi və silikon karbid keramika boruları yarımkeçirici istehsalında əvəzolunmaz yüksək performanslı materiallardır. Silikon karbid keramika tepsisi əsasən yüksək dəqiqlikli prosesin sabitliyini təmin etmək üçün sabit və rulman emalında istifadə olunur; Silikon karbid keramika boruları yüksək temperatur soba borularında, diffuziya soba borularında və digər ssenarilərdə həddindən artıq mühitlərə tab gətirmək və effektiv istilik idarəçiliyini qorumaq üçün geniş istifadə olunur. Hər ikisi də əla fiziki və kimyəvi xüsusiyyətləri səbəbindən yarımkeçirici sənayesində əsas komponent halına gələn Core material kimi silikon karbidinə əsaslanır.

Bizə e-poçt göndər

Məhsul təfərrüatı

Məhsul etiketləri

Əsas xüsusiyyətlər:

1. Silikon karbid keramika tepsisi
- Yüksək sərtlik və aşınma müqaviməti: Sərtlik almaza yaxındır və uzun müddət vaffer emalında mexaniki aşınmaya tab gətirə bilər.
- Yüksək istilik keçiriciliyi və aşağı istilik genişləndirmə əmsalı: istilik stressi nəticəsində yaranan deformasiyanın qarşısını almaq üçün sürətli istilik yayılması və ölçülü sabitlik.
- Yüksək düzlük və səthin sonu: Səth düzlüyü mikron səviyyəsinə qədərdir, vafdan və disk arasında tam təmasda, çirklənmədən və zərərin azaldılması ilə doludur.
Kimyəvi sabitlik: Yarımkeçirici istehsalda nəm təmizlik və aşınma prosesləri üçün uyğun güclü korroziyaya qarşı müqavimət.
2. Silikon karbid keramika borusu
- Yüksək temperaturda müqavimət: Uzun müddətdir 1600 ° C-dən yuxarı olan yüksək temperatur mühitində işləyə bilər, yarımkeçirici yüksək temperatur prosesi üçün uyğundur.
Əla korroziyaya qarşı müqavimət: turşulara, qələvilərə və müxtəlif kimyəvi həlledicilərə, sərt proses mühitləri üçün uyğun olan müxtəlif kimyəvi həll yollarına davamlıdır.
- Yüksək sərtlik və aşınma müqaviməti: hissəcik eroziyasına və mexaniki aşınmaya müqavimət göstərin, xidmət həyatını genişləndirin.
- Yüksək istilik keçiriciliyi və istilik genişlənməsinin aşağı əmsalı: istilik və ölçülü sabitliyin sürətli keçirilməsi, istilik stressinin yaranan deformasiyanı və ya çatlamağın azaldılması.

Məhsul parametri:

Silikon karbid keramika tepsisi parametr:

(Maddi xüsusiyyət)		(Vahid)	(SSIC)
(SIC məzmunu)		(Wt)%	> 99
(Orta taxıl ölçüsü)		mikron	4-10
(Sıxlıq)		kq / dm3	> 3.14
(Aydın məsaməsizlik)		VO1%	<0.5
(Vickers sərtliyi)	HV 0.5	Gpa	28
* () Fleksiyalı güc * (üç xal)	20ºC	Mpa	450
(Kompressiv güc)	20ºC	Mpa	3900
(Elastik modul)	20ºC	Gpa	420
(Sınığı sərtliyi)		Mpa / m '%	3.5
(İstilik keçiriciliyi)	20 ° ° °	W / (m * k)	160
(Müqavimət)	20 ° ° °	Ohm.cm	106-108
(Termal genişləndirmə əmsalı)	A (RT ** ... 80ºC)	K-1 * 10-6	4.3
(Maksimum işləmə temperaturu)		oºc	1700

Silikon karbid keramika borusu parametrləri:

Maddələr	İndeks
α-sic	99% min
Aydın məsaməlilik	16% max
Toplu sıxlıq	2.7g / sm3 dəq
Yüksək temperaturda əyilmə gücü	100 mpa min
İstilik genişləndirilməsi əmsalı	K-1 4.7x10 -6
İstilik keçiriciliyinin əmsalı (1400ºc)	24 w / mk
Maks. İş temperaturu	1650ºC

Əsas tətbiqlər:

1. Silikon karbid keramika boşqab
- Kəsmə və cilalama: kəsmə və cilalanma zamanı yüksək dəqiqlik və sabitliyi təmin etmək üçün bir rulman platforması kimi xidmət edir.
- Litoqrafiya prosesi: Dafar, məruz qalma zamanı yüksək dəqiqlikli yerləşdirməyi təmin etmək üçün gofren maşınında sabitlənir.
- Kimyəvi mexaniki cilalanma (CMP): Cilalama yastiqciqlar üçün dəstək platforması rolunu oynayır, vahid təzyiq və istilik paylaması təmin edir.
2. Silikon karbid keramika borusu
- Yüksək temperatur soba borusu: yüksək temperatur prosesi müalicəsi üçün geniş temperatur sobası və oksidləşmə sobası kimi yüksək temperatur avadanlıqları üçün istifadə olunur.
- CVD / PVD prosesi: reaksiya otağında bir boru kimi, yüksək temperatur və aşındırıcı qazlara davamlıdır.
- Yarımkeçirici avadanlıq aksesuarları: İstilik mübadiləsi, qaz kəmərləri və s. Üçün avadanlıqların istilik idarəetmə səmərəliliyini artırmaq üçün.
XKH, silikon karbid keramika qabları, emiş stəkanları və silikon karbid keramika boruları üçün xüsusi xidmətlər təklif edir. Silikon karbid keramika qabları və emiş stəkanları, XKH müxtəlif ölçülü, forma və səth pürüzünün müştəri tələblərinə uyğun olaraq düzəldilə bilər və xüsusi örtük müalicəsi, aşınma müqavimətini və korroziyaya qarşı müqavimət göstərə bilər; Silikon Carbide keramika boruları üçün, XKH müxtəlif daxili diametri, xarici diametrli, uzunluğu və mürəkkəb quruluşu (məsələn, şəkilli boru və ya məsaməli boru) düzəldə bilər və cilalama, anti-oksidləşmə örtüyü və digər səth müalicə proseslərini təmin edə bilər. XKH, müştərilərin silikon karbid keramika məhsullarının performans faydalarından tam istifadə edərək, yarımkeçiricilər, LED və fotovoltaika kimi yüksək səviyyəli istehsal sahələrinin tələb olunan tələblərinə cavab vermələrini təmin edə bilər.