Silikon karbid keramika qabı əmici Silikon karbid keramika borusu yüksək temperaturlu sinterləmə xüsusi emalı təmin edir
Əsas xüsusiyyətlər:
1. Silikon karbid keramika qabı
- Yüksək sərtlik və aşınma müqaviməti: sərtlik almaza yaxındır və uzun müddət gofret emalında mexaniki aşınmaya tab gətirə bilər.
- Yüksək istilik keçiriciliyi və aşağı istilik genişlənmə əmsalı: sürətli istilik yayılması və ölçülü sabitlik, istilik stressinin yaratdığı deformasiyanın qarşısını alır.
- Yüksək düzlük və səth örtüyü: Səth düzlüyü mikron səviyyəsinə qədərdir, lövhə ilə disk arasında tam təmas təmin edir, çirklənməni və zədələnməni azaldır.
Kimyəvi stabillik: Güclü korroziyaya davamlılıq, yarımkeçirici istehsalında yaş təmizləmə və aşındırma prosesləri üçün uyğundur.
2. Silikon karbid keramika borusu
- Yüksək temperatur müqaviməti: 1600°C-dən yuxarı yüksək temperatur mühitində uzun müddət işləyə bilər, yarımkeçirici yüksək temperatur prosesi üçün uyğundur.
Əla korroziyaya davamlılıq: turşulara, qələvilərə və müxtəlif kimyəvi həlledicilərə davamlıdır, sərt proses mühitləri üçün uyğundur.
- Yüksək sərtlik və aşınma müqaviməti: hissəciklərin eroziyasına və mexaniki aşınmaya qarşı müqavimət göstərir, xidmət müddətini uzadır.
- Yüksək istilik keçiriciliyi və aşağı istilik genişlənmə əmsalı: istilik keçiriciliyinin sürətli olması və ölçülü sabitlik, istilik gərginliyinin yaratdığı deformasiyanı və ya çatlamanı azaldır.
Məhsul Parametri：
Silikon karbid keramika qabının parametri:
| (Maddi əmlak) | (Vahid) | (ssic) | |
| (SiC tərkibi) | (Çəki)% | >99 | |
| (Orta dənə ölçüsü) | mikron | 4-10 | |
| (Sıxlıq) | kq/dm3 | >3.14 | |
| (Görünən məsaməlilik) | Səs 1% | <0.5 | |
| (Vickers sərtliyi) | HV 0.5 | Ümumi Orta Pa | 28 |
| *() Bükülmə gücü* (üç xal) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Sıxılma gücü) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Elastik Modul) | 20ºC | Ümumi Orta Pa | 420 |
| (Sınmaya davamlılıq) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (İstilik keçiriciliyi) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Müqavimət) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(İstilik genişlənmə əmsalı) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Maksimum işləmə temperaturu) | oºC | 1700 | |
Silikon karbid keramika borusu parametri:
| Əşyalar | İndeks |
| α-SIC | 99% dəq |
| Görünən məsaməlilik | Maksimum 16% |
| Toplu Sıxlıq | 2.7 q/sm3 dəq |
| Yüksək temperaturda əyilmə gücü | 100 Mpa dəq |
| İstilik Genişlənməsi Əmsalı | K-1 4.7x10 -6 |
| İstilik Keçiriciliyi Əmsalı (1400ºC) | 24 Vt/mk |
| Maksimum İş Temperaturu | 1650ºC |
Əsas tətbiqlər:
1. Silikon karbid keramika lövhəsi
- Plitənin kəsilməsi və cilalanması: kəsmə və cilalama zamanı yüksək dəqiqlik və sabitlik təmin etmək üçün dayaq platforması kimi xidmət edir.
- Litoqrafiya prosesi: Ekspozisiya zamanı yüksək dəqiqlikli yerləşdirməni təmin etmək üçün lövhə litoqrafiya maşınına sabitlənir.
- Kimyəvi Mexaniki Cilalama (KMC): cilalama yastıqları üçün dəstək platforması kimi çıxış edir və vahid təzyiq və istilik paylanmasını təmin edir.
2. Silikon karbid keramika borusu
- Yüksək temperaturlu soba borusu: yüksək temperaturlu proses emalı üçün lövhələr daşımaq üçün diffuziya sobası və oksidləşmə sobası kimi yüksək temperaturlu avadanlıqlarda istifadə olunur.
- CVD/PVD prosesi: Reaksiya kamerasında daşıyıcı boru kimi, yüksək temperaturlara və korroziyalı qazlara davamlıdır.
- Yarımkeçirici avadanlıq aksesuarları: avadanlıqların istilik idarəetmə səmərəliliyini artırmaq üçün istilik dəyişdiriciləri, qaz boru kəmərləri və s. üçün.
XKH, silikon karbid keramika qabları, sorucu stəkanlar və silikon karbid keramika boruları üçün tam çeşiddə xüsusi xidmətlər təklif edir. XKH, silikon karbid keramika qabları və sorucu stəkanlar, müxtəlif ölçülərdə, formalarda və səth pürüzlülüyündə müştəri tələblərinə uyğun olaraq fərdiləşdirilə bilər və xüsusi örtük müalicəsini dəstəkləyə, aşınma müqavimətini və korroziyaya davamlılığı artıra bilər; Silikon karbid keramika boruları üçün XKH müxtəlif daxili diametr, xarici diametr, uzunluq və mürəkkəb quruluşu (məsələn, formalı boru və ya məsaməli boru) fərdiləşdirə və cilalama, antioksidləşmə örtüyü və digər səth emalı prosesləri təmin edə bilər. XKH, müştərilərin yarımkeçiricilər, LED-lər və fotovoltaiklər kimi yüksək səviyyəli istehsal sahələrinin tələbkar tələblərini ödəmək üçün silikon karbid keramika məhsullarının performans üstünlüklərindən tam yararlana bilmələrini təmin edir.
Ətraflı Diaqram
