Silikon karbid almaz tel kəsmə maşını 4/6/8/12 düymlük SiC külçə emalı

Silikon karbid almaz məftil kəsmə maşını 4/6/8/12 düymlük SiC külçə emalı Xüsusi Şəkil

Qısa təsvir:

Silikon karbid Diamond Wire kəsmə maşını, yüksək dəqiqliyə nail olmaq üçün yüksək sürətli hərəkət edən almaz məftildən (xəttin diametri 0,1 ~ 0,3 mm) SiC külçə çox telli kəsmə ilə Diamond Wire Saw texnologiyasından istifadə edərək, silikon karbid (SiC) külçə diliminə həsr olunmuş yüksək dəqiqlikli emal avadanlığıdır. Avadanlıq SiC güc yarımkeçiricisində (MOSFET/SBD), radiotezlik cihazında (GaN-on-SiC) və optoelektronik cihaz substratının emalında geniş istifadə olunur, SiC sənaye zəncirində əsas avadanlıqdır.

Bizə e-poçt göndərin

Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

İş prinsipi:

1. Külçə fiksasiyası: SiC külçəsi (4H/6H-SiC) mövqe dəqiqliyini (±0,02 mm) təmin etmək üçün armatur vasitəsilə kəsici platformaya bərkidilir.

2. Almaz xəttinin hərəkəti: almaz xətti (səthdə elektrolizlənmiş almaz hissəcikləri) yüksək sürətli dövriyyə üçün bələdçi təkər sistemi tərəfindən idarə olunur (xətt sürəti 10~30m/s).

3. Kəsmə yemi: külçə təyin olunmuş istiqamət üzrə qidalanır və almaz xətti çoxsaylı paralel xətlərlə (100~500 sətir) eyni vaxtda kəsilir və çoxlu vafli formalaşdırılır.

4. Soyutma və çiplərin çıxarılması: İstilik zədəsini azaltmaq və çipləri çıxarmaq üçün kəsmə sahəsinə soyuducu (deionlaşdırılmış su + əlavələr) püskürtün.

Əsas parametrlər:

1. Kəsmə sürəti: 0,2~1,0mm/dəq (SiC-nin kristal istiqamətindən və qalınlığından asılı olaraq).

2. Xətt gərginliyi: 20~50N (xətti qırmaq çox asan, çox aşağı kəsmə dəqiqliyinə təsir edir).

3.Vaffer qalınlığı: standart 350~500μm, vafli 100μm-ə çata bilər.

Əsas xüsusiyyətlər:

(1) Kəsmə dəqiqliyi
Qalınlığa dözümlülük: ±5μm (@350μm vafli), adi havan kəsilməsindən (±20μm) daha yaxşıdır.

Səthin pürüzlülüyü: Ra<0.5μm (sonrakı emalın miqdarını azaltmaq üçün əlavə üyütmə tələb olunmur).

Çarpma: <10μm (sonrakı cilalama çətinliyini azaldır).

(2) Emal səmərəliliyi
Çox xəttli kəsmə: bir anda 100~500 ədəd kəsin, istehsal gücünü 3~5 dəfə artırın (Tək xətt kəsilməsinə qarşı).

Xətt ömrü: Almaz xətti 100~300km SiC kəsə bilər (külçənin sərtliyindən və prosesin optimallaşdırılmasından asılı olaraq).

(3) Aşağı zərər emalı
Kənarın qırılması: <15μm (ənənəvi kəsmə >50μm), vafli məhsuldarlığını yaxşılaşdırın.

Səthi zədələnmiş təbəqə: <5μm (cilalanmanın çıxarılmasını azaldın).

(4) Ətraf mühitin mühafizəsi və iqtisadiyyat
Havan çirklənməsinin olmaması: Məhlulun kəsilməsi ilə müqayisədə tullantı mayesinin utilizasiyası xərcləri azaldılır.

Materialdan istifadə: Kəsmə itkisi <100μm/ kəsici, SiC xammalına qənaət.

Kəsmə effekti:

1. Gofret keyfiyyəti: səthdə makroskopik çatlar yoxdur, bir neçə mikroskopik qüsur (idarə olunan dislokasiya uzadılması). Kobud cilalama bağlantısına birbaşa daxil ola bilər, proses axını qısaldır.

2. Ardıcıllıq: partiyada vaflinin qalınlığından sapma <±3%, avtomatlaşdırılmış istehsal üçün uyğundur.

3. Tətbiq qabiliyyəti: keçirici/yarı izolyasiyalı tipə uyğun 4H/6H-SiC külçə kəsməni dəstəkləyin.

Texniki spesifikasiya:

Spesifikasiya	Təfərrüatlar
Ölçülər (U × G × Y)	2500x2300x2500 və ya fərdiləşdirin
Emal materialının ölçü diapazonu	4, 6, 8, 10, 12 düym silisium karbid
Səthin pürüzlülüyü	Ra≤0.3u
Orta kəsmə sürəti	0,3 mm/dəq
Çəki	5,5 t
Kəsmə prosesinin qurulması addımları	≤30 addım
Avadanlıq səs-küyü	≤80 dB
Polad telin gərginliyi	0~110N(0,25 naqil gərginliyi 45N)
Polad telin sürəti	0~30m/S
Ümumi güc	50kv
Diamond tel diametri	≥0,18 mm
Son düzlük	≤0,05 mm
Kəsmə və qırma dərəcəsi	≤1% (insan səbəbləri, silikon material, xətt, texniki xidmət və digər səbəblər istisna olmaqla)

XKH xidmətləri:

XKH, müştərilərə yüksək məhsuldarlıq (>95%), aşağı qiymətli SiC istehsalına kömək etmək üçün avadanlıq seçimi (telin diametri/tel sürətinin uyğunlaşdırılması), prosesin inkişafı (kəsmə parametrlərinin optimallaşdırılması), istehlak materiallarının təchizatı (almaz məftil, bələdçi çarx) və satışdan sonrakı dəstək (avadanlığın texniki xidməti, kəsmə keyfiyyətinin təhlili) daxil olmaqla, silikon karbid almaz məftil kəsmə maşınının bütün proses xidmətini təmin edir. O, həmçinin 4-8 həftəlik istehsal müddəti ilə fərdiləşdirilmiş təkmilləşdirmələri (ultra nazik kəsmə, avtomatlaşdırılmış yükləmə və boşaltma kimi) təklif edir.