Silikon karbid almaz məftil kəsmə maşını 4/6/8/12 düymlük SiC külçə emalı

Qısa Təsvir:

Silikon karbidli almaz məftil kəsmə maşını, yüksək dəqiqlikli, az zərərli lövhə hazırlığına nail olmaq üçün almaz məftil mişarı texnologiyasından istifadə edərək, yüksək sürətli hərəkət edən almaz məftil (xətt diametri 0,1 ~ 0,3 mm) vasitəsilə SiC külçəsinin çoxməftilli kəsilməsinə qədər silikon karbid (SiC) külçə diliminə həsr olunmuş yüksək dəqiqlikli emal avadanlığı növüdür. Avadanlıq SiC güc yarımkeçiricilərində (MOSFET/SBD), radiotezlik cihazlarında (GaN-on-SiC) və optoelektron cihaz substratının emalında geniş istifadə olunur və SiC sənaye zəncirində əsas avadanlıqdır.

Bizə e-poçt göndərin

Xüsusiyyətlər

İş prinsipi:

1. Külçə fiksasiyası: SiC külçəsi (4H/6H-SiC) mövqe dəqiqliyini (±0.02 mm) təmin etmək üçün armatur vasitəsilə kəsici platformaya bərkidilir.

2. Almaz xəttinin hərəkəti: almaz xətti (səthdə elektrolizlənmiş almaz hissəcikləri) yüksək sürətli dövriyyə üçün bələdçi çarx sistemi tərəfindən idarə olunur (xətt sürəti 10~30m/s).

3. Kəsmə qidası: külçə müəyyən edilmiş istiqamətdə qidalanır və almaz xətti eyni vaxtda birdən çox paralel xətlə (100~500 xətt) kəsilərək çoxlu lövhə əmələ gətirir.

4. Soyutma və qırıntıların çıxarılması: İstilik zədəsini azaltmaq və qırıntıları çıxarmaq üçün kəsmə sahəsinə soyuducu maye (deionlaşdırılmış su + əlavələr) püskürdün.

Əsas parametrlər:

1. Kəsmə sürəti: 0,2~1,0 mm/dəq (kristal istiqamətindən və SiC qalınlığından asılı olaraq).

2. Xətt gərginliyi: 20~50N (xətti qırmaq çox asandır, kəsmə dəqiqliyinə çox aşağı təsir göstərir).

3. Lövhənin qalınlığı: standart 350~500μm, lövhə 100μm-ə çata bilər.

Əsas xüsusiyyətlər:

(1) Kəsmə dəqiqliyi
Qalınlığa dözümlülük: ±5μm (@350μm lövhə), ənənəvi havan kəsməsindən (±20μm) daha yaxşıdır.

Səth pürüzlülüyü: Ra <0.5μm (sonrakı emal miqdarını azaltmaq üçün əlavə üyütmə tələb olunmur).

Çürümə: <10μm (sonrakı cilalama çətinliyini azaldır).

(2) Emal səmərəliliyi
Çoxxətli kəsmə: bir anda 100-500 ədəd kəsmək, istehsal gücünü 3-5 dəfə artırmaq (təkxətli kəsmə ilə müqayisədə).

Xəttin ömrü: Almaz xətti 100~300 km SiC kəsə bilər (külçə sərtliyindən və prosesin optimallaşdırılmasından asılı olaraq).

(3) Az zərərli emal
Kənarların qırılması: <15μm (ənənəvi kəsmə >50μm), lövhənin məhsuldarlığını artırır.

Səthaltı zədələnmə təbəqəsi: <5μm (cilalamanın təmizlənməsini azaldın).

(4) Ətraf mühitin mühafizəsi və iqtisadiyyatı
Hövzə çirklənməsinin olmaması: Hövzə kəsmə ilə müqayisədə tullantı mayesinin atılması xərclərinin azaldılması.

Material istifadəsi: Kəsmə itkisi <100μm/ kəsici, SiC xammalına qənaət.

Kəsmə effekti:

1. Plitənin keyfiyyəti: səthdə makroskopik çatlar yoxdur, mikroskopik qüsurlar azdır (idarəolunan dislokasiya uzantısı). Kobud cilalama linkinə birbaşa daxil ola bilər, proses axınını qısaldır.

2. Ardıcıllıq: partiyadakı lövhənin qalınlıq sapması <±3% -dir və avtomatlaşdırılmış istehsal üçün uyğundur.

3. Tətbiqetmə qabiliyyəti: Keçirici/yarı izolyasiyalı tiplə uyğun olan 4H/6H-SiC külçə kəsməsini dəstəkləyir.

Texniki spesifikasiya:

Xüsusiyyət	Təfərrüatlar
Ölçülər (U × E × H)	2500x2300x2500 və ya fərdiləşdirin
Emal materialının ölçüsü diapazonu	4, 6, 8, 10, 12 düymlük silikon karbid
Səth pürüzlülüyü	Ra≤0.3u
Orta kəsmə sürəti	0.3 mm/dəq
Çəki	5.5t
Kəsmə prosesinin qurulması addımları	≤30 addım
Avadanlıq səs-küyü	≤80 dB
Polad məftil gərginliyi	0~110N (0.25 tel gərginliyi 45N-dir)
Polad tel sürəti	0~30m/S
Ümumi güc	50 kVt
Almaz tel diametri	≥0.18 mm
Son düzlük	≤0.05 mm
Kəsmə və qırılma dərəcəsi	≤1% (insan səbəbləri, silikon materialı, xətt, texniki xidmət və digər səbəblər istisna olmaqla)

XKH Xidmətləri:

XKH, müştərilərə yüksək məhsuldarlığa (>95%), aşağı qiymətli SiC lövhə kütləvi istehsalına nail olmağa kömək etmək üçün avadanlıq seçimi (tel diametri/tel sürətinin uyğunlaşdırılması), prosesin inkişafı (kəsmə parametrlərinin optimallaşdırılması), istehlak materiallarının təchizatı (almaz məftil, istiqamətləndirici çarx) və satış sonrası dəstək (avadanlığın texniki xidməti, kəsmə keyfiyyətinin təhlili) daxil olmaqla, silikon karbid almaz məftil kəsmə maşınının bütün proses xidmətini təqdim edir. Həmçinin, 4-8 həftəlik müddətlə xüsusi təkmilləşdirmələr (məsələn, ultra nazik kəsmə, avtomatlaşdırılmış yükləmə və boşaltma) təklif edir.