Ti/Cu Metalla Örtüklü Silikon Plitəsi (Titan/Mis)

Qısa Təsvir:

BizimTi/Cu metal örtüklü silikon lövhələrilə örtülmüş yüksək keyfiyyətli silikon (və ya isteğe bağlı şüşə/kvars) substratına malikdirtitan yapışma təbəqəsivə birmis keçirici təbəqəistifadə edərəkstandart maqnetron püskürtməTi təbəqəsi yapışmanı və proses stabilliyini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır, Cu üst təbəqəsi isə elektrik interfeysi və sonrakı mikro istehsal üçün ideal olan aşağı müqavimətli, vahid bir səth təklif edir.

Bizə e-poçt göndərin

Xüsusiyyətlər

Ətraflı Diaqram

Ti/Cu Metalla Örtüklü Silikon Plitəsi (Titan/Mis)6

Baxış

Həm tədqiqat, həm də pilot miqyaslı tətbiqlər üçün nəzərdə tutulmuş bu lövhələr qalınlıq, substrat növü və örtük konfiqurasiyası üçün çevik fərdiləşdirmə ilə müxtəlif ölçülərdə və müqavimət diapazonlarında mövcuddur.

Əsas Xüsusiyyətlər

Güclü yapışma və etibarlılıqTi yapışdırıcı təbəqəsi filmin Si/SiO₂-a yapışmasını artırır və işləmə möhkəmliyini artırır
Yüksək keçiricilik səthiCu örtüyü kontaktlar və sınaq strukturları üçün əla elektrik performansı təmin edir
Geniş özelleştirme çeşidi: lövhə ölçüsü, müqavimət, istiqamət, substrat qalınlığı və film qalınlığı tələb üzrə mövcuddur
Prosesə hazır substratlar: ümumi laboratoriya və fabrik iş axınları ilə uyğundur (litoqrafiya, elektrokaplama quruluşu, metrologiya və s.)
Material seriyası mövcuddurTi/Cu ilə yanaşı, biz həmçinin Au, Pt, Al, Ni, Ag metal örtüklü lövhələr təklif edirik

Tipik Quruluş və Çöküntü

YığınSubstrat + Ti yapışma təbəqəsi + Cu örtük təbəqəsi
Standart prosesMaqnetron püskürtməsi
Könüllü proseslərTermal buxarlanma / Elektrokaplama (daha qalın Cu tələbləri üçün)

Kvars Şüşəsinin Mexaniki Xüsusiyyətləri

Məhsul	Seçimlər
Vafli ölçüsü	2", 4", 6", 8"; 10×10 mm; xüsusi doğrama ölçüləri
Keçiricilik növü	P-tip / N-tip / Daxili yüksək müqavimət (Un)
İstiqamət	<100>, <111> və s.
Müqavimət	<0,0015 Ω·sm; 1–10 Ω·sm; >1000–10000 Ω·sm
Qalınlıq (µm)	2": 200/280/400/500; 4": 450/500/525; 6": 625/650/675; 8": 650/700/725/775; xüsusi
Substrat materialları	Silikon; isteğe bağlı kvars, BF33 şüşəsi və s.
Film qalınlığı	10 nm / 50 nm / 100 nm / 150 nm / 300 nm / 500 nm / 1 µm (tənzimlənə bilər)
Metal film seçimləri	Ti/Cu; həmçinin Au, Pt, Al, Ni, Ag mövcuddur

Ti/Cu Metalla Örtüklü Silikon Plitəsi (Titan/Mis)4

Tətbiqlər

Omik kontakt və keçirici substratlarcihazların tədqiqat və inkişaf etdirilməsi və elektrik sınaqları üçün
Elektrokaplama üçün toxum təbəqələri(RDL, MEMS strukturları, qalın Cu yığılması)
Sol-gel və nanomaterial böyümə substratlarınano və nazik təbəqə tədqiqatları üçün
Mikroskopiya və səth metrologiyası(SEM/AFM/SPM nümunəsinin hazırlanması və ölçülməsi)
Bio/kimyəvi səthlərhüceyrə kulturası platformaları, zülal/DNT mikroçipləri və reflektometriya substratları kimi

Tez-tez verilən suallar (Ti/Cu metal örtüklü silikon vafli)

S1: Cu örtüyünün altında niyə Ti təbəqəsi istifadə olunur?
A: Titan aşağıdakı kimi işləyiryapışma (bağlama) təbəqəsi, misin substrata yapışmasını yaxşılaşdırır və səth sabitliyini artırır ki, bu da işləmə və emal zamanı soyulmanı və ya delaminasiyanı azaltmağa kömək edir.

S2: Tipik Ti/Cu qalınlığı konfiqurasiyası nədir?
A: Ümumi kombinasiyalar daxildirTi: onlarla nm (məsələn, 10–50 nm)vəCu: 50–300 nmpüskürtülmüş filmlər üçün. Daha qalın Cu təbəqələri (µm səviyyəli) tez-tez əldə edilirçilənmiş Cu toxum təbəqəsi üzərində elektrokaplama, tətbiqinizdən asılı olaraq.

S3: Plitənin hər iki tərəfini örtüklə örtmək olarmı?
A: Bəli.Tək tərəfli və ya iki tərəfli örtükSifariş əsasında mövcuddur. Sifariş verərkən tələbinizi qeyd edin.

Haqqımızda

XKH xüsusi optik şüşə və yeni kristal materiallarının yüksək texnologiyalı inkişafı, istehsalı və satışı üzrə ixtisaslaşıb. Məhsullarımız optik elektronika, istehlakçı elektronikası və hərbçilərə xidmət göstərir. Biz Sapphire optik komponentləri, mobil telefon linza örtükləri, keramika, LT, silikon karbid SIC, kvars və yarımkeçirici kristal lövhələr təklif edirik. Bacarıqlı təcrübə və qabaqcıl avadanlıqlarla, aparıcı optoelektron materialları yüksək texnologiyalı müəssisə olmağı hədəfləyərək qeyri-standart məhsul emalı sahəsində üstünlüyümüz var.