Ultra Dəqiq SiC Hava Yastığı Mərhələsi

Ultra Dəqiqlikli SiC Hava Yastığı Mərhələsi Xüsusi Şəkil

Qısa Təsvir:

Yarımkeçirici sənayesinin davamlı inkişafı ilə emal və yoxlama avadanlığı getdikcə daha yüksək performans tələb edir. Hərəkətə nəzarət və nanometr səviyyəli yerləşdirmə sahəsində geniş təcrübəyə əsaslanaraq, biz planar H tipli iki oxlu ultra dəqiq hava daşıyan mərhələ hazırlamışıq.

Bizə e-poçt göndərin

Xüsusiyyətlər

Ətraflı Diaqram

Baxış

Sonlu elementlərlə optimallaşdırılmış silikon karbid (SiC) keramika strukturu və kompensasiya olunmuş hava daşıyıcı texnologiyası ilə hazırlanmış mərhələ, üstün dəqiqlik, möhkəmlik və dinamik reaksiya təmin edir. Aşağıdakılar üçün ideal şəkildə uyğundur:

Yarımkeçiricilərin emalı və yoxlanılması
Mikro/nano istehsal və metrologiya
Nanometr miqyaslı milçək kəsmə və cilalama
Yüksək sürətli dəqiq skanlama

Əsas Xüsusiyyətlər

SiC hava daşıyan bələdçi yoluultra yüksək sərtlik və dəqiqlik üçün
Yüksək dinamika: sürət 1 m/s-ə qədər, təcil 4 q-a qədər, sürətli çökmə
İkiqat ötürücülü Y oxuyüksək yük tutumu və sabitliyi təmin edir
Enkoder seçimlərioptik barmaqlıq və ya lazer interferometri
Mövqeləndirmə dəqiqliyi: ±0.15 μm;təkrarlanabilirlik: ±75 nm
Optimallaşdırılmış kabel marşrutlaşdırmasıtəmiz dizayn və uzunmüddətli etibarlılıq üçün
Özelleştirilebilir konfiqurasiyalartətbiqə xas ehtiyaclar üçün

Ultra-Həssas Dizayn və Birbaşa Sürücü, Təmassız Memarlıq

SiC Keramika Çərçivəsi: Alüminium ərintisinin ~5x sərtliyi və ~5x aşağı istilik genişlənməsi, yüksək sürətli sabitlik və istilik davamlılığını təmin edir.
Kompensasiya olunmuş hava yastığıXüsusi dizayn sərtliyi, yük tutumunu və hərəkət sabitliyini artırır.
Dinamik Performans: Yüksək məhsuldarlıqlı proseslər üçün ideal olan 1 m/s sürət və 4 q sürətlənməni dəstəkləyir.
Sorunsuz İnteqrasiyaVibrasiya izolyasiya sistemləri, fırlanan pillələr, əyilmə modulları və lövhə idarəetmə platformaları ilə uyğundur.
Kabel İdarəetməsi: İdarə olunan əyilmə radiusu, uzun xidmət müddəti üçün gərginliyi minimuma endirir.

Özəksiz Xətti MotorSıfır əyilmə qüvvəsi ilə hamar hərəkət.
Çoxmühərrikli SürücüYük müstəvisi mühərrikinin yerləşdirilməsi düzlüyü, müstəviliyi və bucaq dəqiqliyini artırır.
İstilik İzolyasiyasıMühərriklər səhnə quruluşundan təcrid olunmuşdur; yüksək iş dövrləri üçün hava və ya su ilə soyutma seçimi mümkündür.

Xüsusiyyətlər

Model	400-400	500-500	600-600
Baltalar	X (skanlama) / Y (addım)	X (skanlama) / Y (addım)	X (skanlama) / Y (addım)
Səyahət (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Dəqiqlik (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Təkrarlanma (nm)	±75	±100	±100
Çözünürlük (nm)	0.3	0.3	0.3
Maksimum Sürət (m/s)	1	1	1
Sürətlənmə (g)	4	4	4
Düzlük (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Sabitlik (nm)	±5	±5	±5
Maksimum Yük (kq)	20	20	20
Pitch/Roll/Walking (qövs-san)	±1	±1	±1

Test Şərtləri:

Hava təchizatı: təmiz, quru; şeh nöqtəsi ≤ 0°F; hissəciklərin filtrasiyası ≤ 0,25 μm; və ya 99,99% azot.
Dəqiqlik 20±1 °C-də, 40–60% nisbi rütubətdə səhnə mərkəzindən 25 mm yuxarıda ölçüldü.

Tətbiqlər

Yarımkeçirici litoqrafiya, yoxlama və lövhə emalı
Mikro/nano istehsal və dəqiq metrologiya
Yüksək səviyyəli optika istehsalı və interferometriya
Aerokosmik və qabaqcıl elmi tədqiqatlar

Tez-tez verilən suallar – Silikon Karbid Hava Yastığı Mərhələsi

1. Hava daşıyan mərhələ nədir?

Hava daşıyan bir mərhələ, mərhələ və istiqamətləndirici yol arasında nazik bir təzyiqli hava təbəqəsindən istifadə edirsürtünmədən, aşınmadan və ultra hamar hərəkətƏnənəvi mexaniki yastıqlardan fərqli olaraq, o, çubuq sürüşməsini aradan qaldırır, nanometr səviyyəli dəqiqlik təmin edir və uzunmüddətli etibarlılığı dəstəkləyir.

2. Səhnə quruluşu üçün niyə silikon karbiddən (SiC) istifadə olunur?

Yüksək sərtlik: Dinamik hərəkət zamanı deformasiyanı minimuma endirən alüminium ərintisinin ~5 ×.
Aşağı istilik genişlənməsi: Alüminiumdan ~5 dəfə aşağı, temperatur dəyişiklikləri altında dəqiqliyi qoruyur.
YüngülPoladla müqayisədə daha aşağı sıxlıq, yüksək sürətli və yüksək sürətlənmə ilə işləməyə imkan verir.
Əla sabitlikUltra dəqiq yerləşdirmə üçün üstün amortizasiya və sərtlik.

3. Səhnənin yağlanması və ya texniki xidmət tələb olunurmu?

Ənənəvi yağlamaya ehtiyac yoxdur, çünki mövcuddurmexaniki təmas yoxdurTövsiyə olunan texniki xidmət aşağıdakıları əhatə edir:

Təchizattəmiz, quru sıxılmış hava və ya azot
Filtrlərin və qurutma maşınlarının dövri yoxlanılması
Monitorinq kabelləri və soyutma sistemləri

4. Hava təchizatı tələbləri nələrdir?

Şeh nöqtəsi: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Hissəciklərin filtrasiyası: ≤ 0,25 μm
Təmiz, quru hava və ya 99.99% təmiz azot
Minimal dalğalanma ilə sabit təzyiq

Haqqımızda

XKH xüsusi optik şüşə və yeni kristal materiallarının yüksək texnologiyalı inkişafı, istehsalı və satışı üzrə ixtisaslaşıb. Məhsullarımız optik elektronika, istehlakçı elektronikası və hərbçilərə xidmət göstərir. Biz Sapphire optik komponentləri, mobil telefon linza örtükləri, keramika, LT, silikon karbid SIC, kvars və yarımkeçirici kristal lövhələr təklif edirik. Bacarıqlı təcrübə və qabaqcıl avadanlıqlarla, aparıcı optoelektron materialları yüksək texnologiyalı müəssisə olmağı hədəfləyərək qeyri-standart məhsul emalı sahəsində üstünlüyümüz var.