12 düymlük SIC substratı silikon karbid əsas dərəcəli diametri 300 mm böyük ölçülü 4H-N Yüksək güclü cihaz istilik yayılması üçün uyğundur
Məhsul xüsusiyyətləri
1. Yüksək istilik keçiriciliyi: silikon karbidin istilik keçiriciliyi silikondan 3 dəfədən çoxdur ki, bu da yüksək güclü cihaz istilik yayılması üçün uyğundur.
2. Yüksək parçalanma sahəsinin gücü: Parçalanma sahəsinin gücü silikondan 10 dəfə çoxdur və yüksək təzyiqli tətbiqlər üçün uyğundur.
3. Geniş zolaq boşluğu: Zolaq boşluğu 3.26eV (4H-SiC)-dir, yüksək temperatur və yüksək tezlikli tətbiqlər üçün uyğundur.
4. Yüksək sərtlik: Mohs sərtliyi 9.2-dir, yalnız almazdan sonra ikinci yerdədir, əla aşınma müqaviməti və mexaniki möhkəmlik.
5. Kimyəvi sabitlik: güclü korroziyaya davamlılıq, yüksək temperaturda və sərt mühitdə sabit performans.
6. Böyük ölçü: 12 düym (300 mm) substrat, istehsal səmərəliliyini artırır, vahid maya dəyərini azaldır.
7. Aşağı qüsur sıxlığı: aşağı qüsur sıxlığını və yüksək tutarlılığı təmin etmək üçün yüksək keyfiyyətli tək kristal böyümə texnologiyası.
Məhsulun əsas tətbiq istiqaməti
1. Güc elektronikası:
Mosfetlər: Elektrikli nəqliyyat vasitələrində, sənaye mühərriklərində və güc çeviricilərində istifadə olunur.
Diodlar: səmərəli rektifikasiya və kommutasiya enerji təchizatı üçün istifadə olunan Şottki diodları (SBD) kimi.
2. RF cihazları:
Rf gücləndiricisi: 5G rabitə baza stansiyalarında və peyk rabitəsində istifadə olunur.
Mikrodalğalı cihazlar: Radar və simsiz rabitə sistemləri üçün uyğundur.
3. Yeni enerji vasitələri:
Elektrikli nəqliyyat vasitələri üçün mühərrik nəzarətçiləri və invertorlar: elektrikli nəqliyyat vasitələri üçün elektrik ötürücü sistemləri.
Şarj yığını: Sürətli şarj avadanlığı üçün enerji modulu.
4. Sənaye tətbiqləri:
Yüksək gərginlikli inverter: sənaye mühərrikinin idarə edilməsi və enerjinin idarə edilməsi üçün.
Ağıllı şəbəkə: Yüksək gərginlikli dC ötürücü və güc elektronikası transformatorları üçün.
5. Aerokosmik:
Yüksək temperaturlu elektronika: aerokosmik avadanlıqların yüksək temperaturlu mühitləri üçün uyğundur.
6. Tədqiqat sahəsi:
Geniş zolaqlı yarımkeçirici tədqiqat: yeni yarımkeçirici materialların və cihazların inkişafı üçün.
12 düymlük silikon karbid substratı, yüksək istilik keçiriciliyi, yüksək parçalanma sahəsi gücü və geniş zolaq boşluğu kimi əla xüsusiyyətlərə malik yüksək performanslı yarımkeçirici material substratı növüdür. Güc elektronikasında, radiotezlik cihazlarında, yeni enerji nəqliyyat vasitələrində, sənaye idarəetməsində və aerokosmik sənayedə geniş istifadə olunur və növbəti nəsil səmərəli və yüksək güclü elektron cihazların inkişafını təşviq etmək üçün əsas materialdır.
Silikon karbid substratlarının hazırda AR eynəkləri kimi istehlakçı elektronikasında birbaşa tətbiqi az olsa da, onların səmərəli enerji idarəetməsi və miniatürləşdirilmiş elektronika sahəsindəki potensialı gələcək AR/VR cihazları üçün yüngül, yüksək performanslı enerji təchizatı həllərini dəstəkləyə bilər. Hazırda silikon karbid substratının əsas inkişafı yeni enerji nəqliyyat vasitələri, rabitə infrastrukturu və sənaye avtomatlaşdırması kimi sənaye sahələrində cəmləşib və yarımkeçirici sənayesinin daha səmərəli və etibarlı istiqamətdə inkişafını təşviq edir.
XKH, aşağıdakılar da daxil olmaqla, yüksək keyfiyyətli 12 düymlük SIC substratlarını hərtərəfli texniki dəstək və xidmətlərlə təmin etməyə sadiqdir:
1. Xüsusi istehsal: Müştərinin ehtiyaclarına görə fərqli müqavimət, kristal istiqaməti və səth təmizlənməsi substratı təmin etmək lazımdır.
2. Proseslərin optimallaşdırılması: Məhsulun performansını artırmaq üçün müştərilərə epitaksial böyümə, cihaz istehsalı və digər proseslər üzrə texniki dəstək verin.
3. Test və sertifikatlaşdırma: Substratın sənaye standartlarına cavab verməsini təmin etmək üçün ciddi qüsur aşkarlanması və keyfiyyət sertifikatı təmin edin.
4.Ar-Ge əməkdaşlığı: Texnoloji innovasiyanı təşviq etmək üçün müştərilərlə birlikdə yeni silikon karbid cihazları hazırlayın.
Məlumat qrafiki
| 1,2 düymlük Silikon Karbid (SiC) Substrat Spesifikasiyası | |||||
| Dərəcə | ZeroMPD İstehsalı Dərəcə (Z Dərəcəsi) | Standart İstehsal Dərəcə (P Dərəcəsi) | Saxta Dərəcə (D dərəcəsi) | ||
| Diametr | 3 0 0 mm~305 mm | ||||
| Qalınlıq | 4H-N | 750μm±15 µm | 750μm±25 µm | ||
| 4H-SI | 750μm±15 µm | 750μm±25 µm | |||
| Vafli İstiqaməti | Oxdan kənar: 4H-N üçün <1120 >±0.5° istiqamətində 4.0°, Oxda: 4H-SI üçün <0001>±0.5° | ||||
| Mikroboru Sıxlığı | 4H-N | ≤0.4 sm-2 | ≤4 sm-2 | ≤25 sm-2 | |
| 4H-SI | ≤5 sm-2 | ≤10 sm-2 | ≤25 sm-2 | ||
| Müqavimət | 4H-N | 0.015~0.024 Ω·sm | 0.015~0.028 Ω·sm | ||
| 4H-SI | ≥1E10 Ω·sm | ≥1E5 Ω·sm | |||
| Əsas Düz Orientasiya | {10-10} ±5.0° | ||||
| Əsas Düz Uzunluq | 4H-N | Yoxdur | |||
| 4H-SI | Çənə | ||||
| Kənar İstisnası | 3 mm | ||||
| LTV/TTV/Bow /Warp | ≤5μm/≤15μm/≤35μm/≤55μm | ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm | |||
| Kobudluq | Polşa Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
| Yüksək İntensivli İşıqla Kənar Çatları Yüksək İntensivli İşıqla Altıbucaqlı Plitələr Yüksək İntensivli İşıqla Politip Sahələri Vizual Karbon Əlavələri Yüksək İntensivli İşıqla Silikon Səth Cızıqları | Heç biri Kümülatif sahə ≤0.05% Heç biri Kümülatif sahə ≤0.05% Heç biri | Kümülatif uzunluq ≤ 20 mm, tək uzunluq ≤ 2 mm Kümülatif sahə ≤0.1% Kümülatif sahə ≤3% Kümülatif sahə ≤3% Kümülatif uzunluq ≤1 × lövhə diametri | |||
| Yüksək İntensivli İşıqla Kənar Çiplər | ≥0.2 mm en və dərinliyə icazə verilmir | 7 icazə verilir, hər biri ≤1 mm | |||
| (TSD) Yivli vintin çıxığı | ≤500 sm-2 | Yoxdur | |||
| (BPD) Baza müstəvisinin dislokasiyası | ≤1000 sm-2 | Yoxdur | |||
| Yüksək İntensivli İşıqla Silikon Səthinin Çirklənməsi | Heç biri | ||||
| Qablaşdırma | Çoxvariatlı kaset və ya təkvariatlı qab | ||||
| Qeydlər: | |||||
| 1 Qüsur limitləri, kənar kənar sahəsi istisna olmaqla, lövhənin bütün səthinə tətbiq olunur. 2 Cızıqlar yalnız Si üzündə yoxlanılmalıdır. 3 Dislokasiya məlumatları yalnız KOH ilə oyulmuş lövhələrdən götürülmüşdür. | |||||
XKH, böyük ölçülü, aşağı qüsurlu və yüksək tutarlılıqlı 12 düymlük silikon karbid substratlarının irəliləyişini təşviq etmək üçün tədqiqat və inkişafa investisiya qoymağa davam edəcək, XKH isə istehlakçı elektronikası (məsələn, AR/VR cihazları üçün enerji modulları) və kvant hesablamaları kimi inkişaf etməkdə olan sahələrdə tətbiqlərini araşdırır. Xərcləri azaltmaq və tutumu artırmaqla XKH yarımkeçirici sənayesinə çiçəklənmə gətirəcək.
Ətraflı Diaqram









