SiC sapfir Si GAAs Wafer üçün Silikon Karbid Keramika Çak

SiC sapfir Si GAAs lövhəsi üçün silikon karbid keramika çubuğu Seçilmiş Şəkil

Qısa Təsvir:

Silikon Karbid Keramika Çakırı, yarımkeçirici yoxlama, lövhə istehsalı və yapışdırma tətbiqləri üçün hazırlanmış yüksək performanslı bir platformadır. Sinterlənmiş SiC (SSiC), reaksiya ilə əlaqəli SiC (RSiC), silisium nitrid və alüminium nitrid daxil olmaqla qabaqcıl keramika materialları ilə hazırlanmış bu cihaz yüksək sərtlik, aşağı istilik genişlənməsi, əla aşınma müqaviməti və uzun xidmət müddəti təklif edir.

Bizə e-poçt göndərin

Xüsusiyyətlər

Ətraflı Diaqram

Silikon Karbid (SiC) Keramika Çakına Baxış

TheSilikon Karbid Keramika Çakyarımkeçirici yoxlama, lövhə istehsalı və yapışdırma tətbiqləri üçün hazırlanmış yüksək performanslı platformadır. Qabaqcıl keramika materialları ilə hazırlanmışdır - o cümlədənsinterlənmiş SiC (SSiC), reaksiya ilə əlaqəli SiC (RSiC), silisium nitridivəalüminium nitrid— təklif ediryüksək sərtlik, aşağı istilik genişlənməsi, əla aşınma müqaviməti və uzun xidmət müddəti.

Dəqiq mühəndislik və ən müasir cilalama ilə patron təmin edirsubmikron düzlüyü, güzgü keyfiyyətli səthlər və uzunmüddətli ölçülü sabitlik, bu, onu kritik yarımkeçirici proseslər üçün ideal həll edir.

Əsas üstünlüklər

Yüksək Dəqiqlik
Düzlük içəridə idarə olunur0.3–0.5 μm, lövhənin sabitliyini və ardıcıl proses dəqiqliyini təmin edir.
Güzgü Cilalanması
NailiyyətlərRa 0.02 μmsəth pürüzlülüyünü, lövhə cızıqlarını və çirklənməni minimuma endirir - ultra təmiz mühitlər üçün idealdır.
Ultra Yüngül
Kvars və ya metal substratlardan daha güclü, lakin daha yüngüldür, hərəkət nəzarətini, cavabdehliyi və mövqeləndirmə dəqiqliyini artırır.
Yüksək Sərtlik
Müstəsna Yanq modulu ağır yüklər altında ölçülü sabitliyi və yüksək sürətli işləməni təmin edir.
Aşağı Termal Genişlənmə
CTE, istilik gərginliyini azaltmaqla və prosesin etibarlılığını artırmaqla silikon lövhələrlə yaxından uyğunlaşır.
Görkəmli aşınma müqaviməti
Həddindən artıq sərtlik, uzunmüddətli, yüksək tezlikli istifadə zamanı belə düzlüyü və dəqiqliyi qoruyur.

İstehsal prosesi

Xammalın hazırlanması
Nəzarət olunan hissəcik ölçüsü və ultra aşağı çirkləri olan yüksək təmizlikli SiC tozları.
Formalaşdırma və Sinterləmə
Kimi texnikalarTəzyiqsiz sinterləmə (SSiC) or reaksiya rabitəsi (RSiC)sıx, vahid keramika substratları istehsal edir.
Dəqiq emal
CNC üyütmə, lazerlə kəsmə və ultra dəqiq emal ±0,01 mm tolerantlığa və ≤3 μm paralelliyə nail olur.
Səthi müalicə
Ra 0.02 μm-ə qədər çoxmərhələli üyütmə və cilalama; korroziyaya davamlılıq və ya xüsusi sürtünmə xüsusiyyətləri üçün isteğe bağlı örtüklər mövcuddur.
Təftiş və Keyfiyyətə Nəzarət
İnterferometrlər və pürüzlülük test cihazları yarımkeçirici dərəcəli spesifikasiyalara uyğunluğunu yoxlayır.

Texniki Xüsusiyyətlər

Parametr	Dəyər	Vahid
Düzlük	≤0.5	μm
Vafli ölçüləri	6'', 8'', 12'' (xüsusi sifarişlə mövcuddur)	—
Səth növü	Sancaq növü / Üzük növü	—
Sancaq hündürlüyü	0.05–0.2	mm
Minimum sancaq diametri	ϕ0.2	mm
Minimum sancaq aralığı	3	mm
Minimum möhür halqasının eni	0.7	mm
Səth pürüzlülüyü	Ra 0.02	μm
Qalınlığa dözümlülük	±0.01	mm
Diametr tolerantlığı	±0.01	mm
Paralellik tolerantlığı	≤3	μm

Əsas Tətbiqlər

Yarımkeçirici lövhə yoxlama avadanlığı
Plitənin hazırlanması və ötürmə sistemləri
Lövhə yapışdırma və qablaşdırma alətləri
Qabaqcıl optoelektron cihaz istehsalı
Ultra düz, ultra təmiz səthlər tələb edən dəqiq alətlər

Sual-Cavab – Silikon Karbid Keramika Çak

S1: SiC keramika patronları kvars və ya metal patronlarla necə müqayisə olunur?
A1: SiC patronları daha yüngül, daha sərtdir və silikon lövhələrə yaxın CTE-yə malikdir, bu da istilik deformasiyasını minimuma endirir. Onlar həmçinin üstün aşınma müqaviməti və daha uzun ömür müddəti təklif edirlər.

S2: Hansı düzlük əldə edilə bilər?
A2: Daxildə idarə olunur0.3–0.5 μm, yarımkeçirici istehsalının sərt tələblərinə cavab verir.

S3: Səth lövhələri cızacaqmı?
A3: Xeyr — güzgü ilə cilalanmışdırRa 0.02 μm, cızıqsız işləməni və hissəcik əmələ gəlməsinin azaldılmasını təmin edir.

S4: Hansı lövhə ölçüləri dəstəklənir?
A4: Standart ölçülər6 düym, 8 düym və 12 düym, özelleştirme mümkündür.

S5: İstilik müqaviməti necədir?
A5: SiC keramika, istilik dövriyyəsi altında minimal deformasiya ilə əla yüksək temperatur performansı təmin edir.

Haqqımızda

XKH xüsusi optik şüşə və yeni kristal materiallarının yüksək texnologiyalı inkişafı, istehsalı və satışı üzrə ixtisaslaşıb. Məhsullarımız optik elektronika, istehlakçı elektronikası və hərbçilərə xidmət göstərir. Biz Sapphire optik komponentləri, mobil telefon linza örtükləri, keramika, LT, silikon karbid SIC, kvars və yarımkeçirici kristal lövhələr təklif edirik. Bacarıqlı təcrübə və qabaqcıl avadanlıqlarla, aparıcı optoelektron materialları yüksək texnologiyalı müəssisə olmağı hədəfləyərək qeyri-standart məhsul emalı sahəsində üstünlüyümüz var.