MOS və ya SBD İstehsal Tədqiqatı və Dummy dərəcəli üçün 6 düym 150 mm Silikon Karbid SiC Gofretləri 4H-N
Tətbiq Sahələri
6 düymlük silisium karbid monokristal substratı bir çox sənayedə mühüm rol oynayır. Birincisi, yarımkeçiricilər sənayesində güclü tranzistorlar, inteqral sxemlər və güc modulları kimi yüksək güclü elektron cihazların istehsalı üçün geniş istifadə olunur. Yüksək istilik keçiriciliyi və yüksək temperatur müqaviməti daha yaxşı istilik yayılmasına imkan verir, nəticədə səmərəlilik və etibarlılıq artır. İkincisi, silisium karbid vafliləri yeni materialların və cihazların inkişafı üçün tədqiqat sahələrində vacibdir. Bundan əlavə, silisium karbid vaflisi LED və lazer diodlarının istehsalı da daxil olmaqla optoelektronika sahəsində geniş tətbiqlər tapır.
Məhsulun spesifikasiyası
6 düymlük silisium karbid monokristal substratın diametri 6 düymdür (təxminən 152,4 mm). Səthin pürüzlülüyü Ra < 0,5 nm, qalınlığı isə 600 ± 25 μm-dir. Substrat müştəri tələblərinə əsasən N tipli və ya P tipli keçiriciliklə fərdiləşdirilə bilər. Üstəlik, təzyiq və vibrasiyaya tab gətirə bilən müstəsna mexaniki dayanıqlıq nümayiş etdirir.
Diametri | 150±2.0mm(6inch) | ||||
Qalınlıq | 350 μm±25μm | ||||
Orientasiya | Oxda: <0001>±0,5° | Off ox: 4.0° - 1120±0.5° | |||
Politip | 4H | ||||
Müqavimət (Ω·sm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·sm/0,015~0,025ohm·sm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
İlkin düz oriyentasiya | {10-10}±5,0° | ||||
Əsas düz uzunluq (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
Kənar | pax | ||||
TTV/Yay/Çürük (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM Ön (Si-üz) | Polşa Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.5 nm | |||||
LTV | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Portağal qabığı / çuxurlar / çatlar / çirklənmə / ləkələr / zolaqlar | Heç biri | Heç biri | Heç biri | ||
girintilər | Heç biri | Heç biri | Heç biri |
6 düymlük silisium karbid monokristal substratı yarımkeçirici, tədqiqat və optoelektronika sənayelərində geniş istifadə olunan yüksək performanslı materialdır. Mükəmməl istilik keçiriciliyi, mexaniki dayanıqlıq və yüksək temperatur müqaviməti təklif edir ki, bu da onu yüksək güclü elektron cihazların istehsalı və yeni material araşdırması üçün əlverişli edir. Müxtəlif müştəri tələblərinə cavab vermək üçün müxtəlif spesifikasiyalar və fərdiləşdirmə variantları təqdim edirik.Silikon karbid vaflilər haqqında ətraflı məlumat üçün bizimlə əlaqə saxlayın!