MOS və ya SBD İstehsal Tədqiqatı və Saxta dərəcəli üçün 6 düymlük 150 mm Silikon Karbid SiC Vafliləri 4H-N tipli
Tətbiq Sahələri
6 düymlük silikon karbid tək kristal substratı bir çox sənayedə mühüm rol oynayır. Birincisi, o, yarımkeçiricilər sənayesində güc tranzistorları, inteqral sxemlər və güc modulları kimi yüksək güclü elektron cihazların istehsalı üçün geniş istifadə olunur. Yüksək istilik keçiriciliyi və yüksək temperatur müqaviməti daha yaxşı istilik yayılmasına imkan verir və nəticədə səmərəliliyin və etibarlılığın artmasına səbəb olur. İkincisi, silikon karbid lövhələri yeni materialların və cihazların hazırlanması üçün tədqiqat sahələrində vacibdir. Bundan əlavə, silikon karbid lövhəsi LED və lazer diodlarının istehsalı da daxil olmaqla optoelektronika sahəsində geniş tətbiq tapır.
Məhsul Xüsusiyyətləri
6 düymlük silikon karbid tək kristal substratının diametri 6 düymdür (təxminən 152,4 mm). Səth pürüzlülüyü Ra < 0,5 nm, qalınlığı isə 600 ± 25 μm-dir. Substrat müştəri tələblərinə əsasən N tipli və ya P tipli keçiriciliklə fərdiləşdirilə bilər. Bundan əlavə, təzyiq və vibrasiyaya davam gətirə bilən müstəsna mexaniki sabitlik nümayiş etdirir.
| Diametr | 150±2.0mm（6 düym） | ||||
| Qalınlıq | 350 μm±25μm | ||||
| İstiqamət | Oxda: <0001>±0.5° | Oxdan kənar: 1120±0.5° istiqamətində 4.0° | |||
| Politip | 4H | ||||
| Müqavimət (Ω·sm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·sm/0,015~0,025ohm·sm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Əsas düz istiqamət | {10-10}±5.0° | ||||
| Əsas düz uzunluq (mm) | 47.5 mm±2.5 mm | ||||
| Kənar | Paxla | ||||
| TTV/Bow /Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| AFM Ön (Si-face) | Polşa Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.5 nm | |||||
| LTV | ≤3μm (10mm*10mm) | ≤5μm (10mm*10mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
| TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
| Portağal qabığı/çuxurlar/çatlaqlar/çirklənmə/ləkələr/soyuqluqlar | Heç biri | Heç biri | Heç biri | ||
| girintilər | Heç biri | Heç biri | Heç biri | ||
6 düymlük silikon karbid tək kristal substratı, yarımkeçirici, tədqiqat, optoelektronika sənayesində geniş istifadə olunan yüksək performanslı bir materialdır. Əla istilik keçiriciliyi, mexaniki sabitlik və yüksək temperatur müqaviməti təklif edir ki, bu da onu yüksək güclü elektron cihazların istehsalı və yeni material tədqiqatları üçün uyğun edir. Müxtəlif müştəri tələblərini ödəmək üçün müxtəlif spesifikasiyalar və fərdiləşdirmə seçimləri təqdim edirik.Silikon karbid lövhələri haqqında daha çox məlumat üçün bizimlə əlaqə saxlayın!
Ətraflı Diaqram
