Tam Avtomatik Gofret Üzük Kəsmə Avadanlığı İş Ölçüsü 8 düym/12 düym Vafli Üzük Kəsici

Qısa təsvir:

XKH müstəqil olaraq ön yarımkeçirici istehsal prosesləri üçün nəzərdə tutulmuş qabaqcıl həlli təmsil edən tam avtomatik vafli kənar kəsmə sistemini işləyib hazırlayıb. Bu avadanlıq innovativ çoxoxlu sinxron idarəetmə texnologiyasını özündə birləşdirir və ±5μm-ə qədər kəsmə dəqiqliyi ilə dəqiq kənarların kəsilməsini təmin edən yüksək sərtlikli mil sisteminə (maksimum fırlanma sürəti: 60.000 RPM) malikdir. Sistem müxtəlif yarımkeçirici substratlarla əla uyğunluq nümayiş etdirir, o cümlədən, lakin bunlarla məhdudlaşmır:
1.Silikon vaflilər (Si): 8-12 düymlük vaflilərin kənarlarının işlənməsi üçün uyğundur;
2. Mürəkkəb yarımkeçiricilər: GaAs və SiC kimi üçüncü nəsil yarımkeçirici materiallar;
3.Xüsusi substratlar: LT/LN daxil olmaqla piezoelektrik material vafliləri;

Modul dizayn almaz bıçaqlar və lazer kəsici başlıqlar da daxil olmaqla, sənaye standartlarını üstələyən uyğunluqla çoxsaylı istehlak materiallarının sürətlə dəyişdirilməsini dəstəkləyir. Xüsusi proses tələbləri üçün biz aşağıdakıları əhatə edən hərtərəfli həllər təqdim edirik:
· Xüsusi kəsici istehlak materiallarının təchizatı
· Xüsusi emal xidmətləri
· Proses parametrlərinin optimallaşdırılması həlləri


  • :
  • Xüsusiyyətlər

    Texniki parametrlər

    Parametr Vahid Spesifikasiya
    Maksimum iş parçasının ölçüsü mm ø12"
    Mil    Konfiqurasiya Tək Mil
    Sürət 3,000-60,000 rpm
    Çıxış Gücü 30.000 dəq⁻¹-də 1,8 kVt (2,4 isteğe bağlı).
    Max Blade Dia. Ø58 mm
    X oxu Kəsmə Aralığı 310 mm
    Y oxu   Kəsmə Aralığı 310 mm
    Addım artımı 0.0001 mm
    Yerləşdirmə Dəqiqliyi ≤0,003 mm/310 mm, ≤0,002 mm/5 mm (tək xəta)
    Z oxu  Hərəkət qətnaməsi 0,00005 mm
    Təkrarlanma qabiliyyəti 0,001 mm
    θ-ox Maksimum Fırlanma 380 dərəcə
    Mil növü   Halqa kəsmə üçün sərt bıçaqla təchiz edilmiş tək mil
    Halqa kəsmə dəqiqliyi μm ±50
    Gofret Yerləşdirmə Dəqiqliyi μm ±50
    Tək vafli Səmərəlilik dəq/vafli 8
    Multi-Vaffer Effektivliyi   4-ə qədər vafli eyni vaxtda işlənir
    Avadanlığın çəkisi kg ≈3,200
    Avadanlıq Ölçüləri (W×D×H) mm 2,730 × 1,550 × 2,070

    Əməliyyat prinsipi

    Sistem bu əsas texnologiyalar vasitəsilə müstəsna kəsmə performansına nail olur:

    1. İntellektual Hərəkət İdarəetmə Sistemi:
    · Yüksək dəqiqlikli xətti motor sürücüsü (təkrar yerləşdirmə dəqiqliyi: ±0,5μm)
    · Mürəkkəb trayektoriya planlamasını dəstəkləyən altı oxlu sinxron idarəetmə
    · Kəsmə sabitliyini təmin edən real vaxt vibrasiyanın yatırılması alqoritmləri

    2. Qabaqcıl Aşkarlama Sistemi:
    · İnteqrasiya edilmiş 3D lazer hündürlük sensoru (dəqiqlik: 0.1μm)
    · Yüksək qətnamə CCD vizual yerləşdirmə (5 meqapiksel)
    · Onlayn keyfiyyət yoxlama modulu

    3. Tam Avtomatlaşdırılmış Proses:
    · Avtomatik yükləmə/boşaltma (FOUP standart interfeysinə uyğundur)
    · Ağıllı çeşidləmə sistemi
    · Qapalı dövrə təmizləyici qurğu (təmizlik: Sinif 10)

    Tipik Tətbiqlər

    Bu avadanlıq yarımkeçirici istehsal proqramlarında əhəmiyyətli dəyər verir:

    Tətbiq sahəsi Proses materialları Texniki Üstünlüklər
    IC istehsalı 8/12" Silikon Vaflilər Litoqrafiya düzülməsini gücləndirir
    Güc Cihazları SiC/GaN vafliləri Kənar qüsurların qarşısını alır
    MEMS Sensorları SOI vafliləri Cihazın etibarlılığını təmin edir
    RF Cihazları GaAs vafliləri Yüksək tezlikli performansı yaxşılaşdırır
    Təkmil Qablaşdırma Yenidən qurulmuş vaflilər Qablaşdırma məhsuldarlığını artırır

    Xüsusiyyətlər

    1.Yüksək emal səmərəliliyi üçün dörd stansiya konfiqurasiyası;
    2. Stabil TAIKO halqasının ayrılması və çıxarılması;
    3.Əsas istehlak materialları ilə yüksək uyğunluq;
    4.Çox oxlu sinxron kəsmə texnologiyası kənarın dəqiq kəsilməsini təmin edir;
    5.Tam avtomatlaşdırılmış proses axını əmək xərclərini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır;
    6.Xüsusi iş masasının dizaynı xüsusi strukturların sabit işləməsinə imkan verir;

    Funksiyalar

    1. Zəngin düşməsi aşkarlama sistemi;
    2. İş masasının avtomatik təmizlənməsi;
    3. Ağıllı UV ayırma sistemi;
    4.Əməliyyat jurnalının qeydi;
    5.Fabrika avtomatlaşdırma modulunun inteqrasiyası;

    Xidmət Öhdəliyi

    XKH istehsal səyahətiniz boyu avadanlıq performansını və əməliyyat səmərəliliyini maksimuma çatdırmaq üçün nəzərdə tutulmuş hərtərəfli, tam həyat dövrü dəstək xidmətləri təqdim edir.
    1. Fərdiləşdirmə Xidmətləri
    · Xüsusi Avadanlıq Konfiqurasiyası: Mühəndislik komandamız xüsusi material xüsusiyyətlərinə (Si/SiC/GaAs) və proses tələblərinə əsaslanaraq sistem parametrlərini (kəsmə sürəti, bıçaq seçimi və s.) optimallaşdırmaq üçün müştərilərlə sıx əməkdaşlıq edir.
    · Proseslərin İnkişafına Dəstək: Biz kənar pürüzlülüyün ölçülməsi və qüsurların xəritələşdirilməsi daxil olmaqla ətraflı təhlil hesabatları ilə nümunə emalını təklif edirik.
    · İstehlak materiallarının birgə inkişafı: Yeni materiallar üçün (məsələn, Ga₂O₃) biz tətbiq üçün xüsusi bıçaqlar/lazer optikaları hazırlamaq üçün aparıcı istehlak materialları istehsalçıları ilə əməkdaşlıq edirik.

    2. Peşəkar Texniki Dəstək
    · Xüsusi Yerdə Dəstək: Aşağıdakıları əhatə edən kritik yüksəliş mərhələləri (adətən 2-4 həftə) üçün sertifikatlı mühəndislər təyin edin:
    Avadanlığın kalibrlənməsi və prosesin dəqiq tənzimlənməsi
    Operator bacarıqları üzrə təlim
    ISO Class 5 təmiz otaq inteqrasiyası təlimatı
    · Proqnozlaşdırılan Baxım: Planlaşdırılmamış fasilələrin qarşısını almaq üçün vibrasiya təhlili və servo motor diaqnostikası ilə rüblük sağlamlıq yoxlanışı.
    · Uzaqdan Monitorinq: Avtomatlaşdırılmış anomaliya xəbərdarlığı ilə IoT platformamız (JCFront Connect®) vasitəsilə real vaxt rejimində avadanlıq performansının izlənməsi.

    3. Əlavə Dəyərli Xidmətlər
    · Proses Bilik Bazası: Müxtəlif materiallar üçün 300+ təsdiqlənmiş kəsmə reseptlərinə daxil olun (rüblük yenilənir).
    · Texnologiya Yol Xəritəsinin Uyğunlaşdırılması: Aparat/proqram təminatının təkmilləşdirmə yolları (məsələn, AI əsaslı qüsur aşkarlama modulu) ilə investisiyanızı gələcəyə sübut edin.
    · Fövqəladə hallara cavab: Zəmanətli 4 saatlıq uzaqdan diaqnostika və 48 saat yerində müdaxilə (qlobal əhatə dairəsi).

    4. Xidmət infrastrukturu
    · Performans Zəmanəti: SLA tərəfindən dəstəklənən cavab müddətləri ilə ≥98% avadanlıq işləmə müddətinə dair müqavilə öhdəlikləri.

    Davamlı Təkmilləşdirmə

    Biz ildə iki dəfə müştəri məmnuniyyəti sorğuları keçiririk və xidmətin çatdırılmasını artırmaq üçün Kaizen təşəbbüslərini həyata keçiririk. Ar-Ge komandamız sahədəki məlumatları avadanlığın təkmilləşdirilməsinə çevirir - proqram təminatının təkmilləşdirilməsinin 30%-i müştəri rəyindən qaynaqlanır.

    Tam Avtomatik Vafli Halqa Kəsmə Avadanlığı 7
    Tam Avtomatik Vafli Halqa Kəsmə Avadanlığı 8

  • Əvvəlki:
  • Sonrakı:

  • Mesajınızı buraya yazın və bizə göndərin