Tam Avtomatik Vafli Halqa Kəsici Avadanlıq İş Ölçüsü 8 düym/12 düym Vafli Halqa Kəsici
Texniki parametrlər
| Parametr | Vahid | Xüsusiyyət |
| Maksimum iş parçası ölçüsü | mm | ø12" |
| Mili | Konfiqurasiya | Tək mili |
| Sürət | 3000–60000 dövr/dəq | |
| Çıxış Gücü | 30.000 dəq⁻¹-də 1.8 kVt (2.4 isteğe bağlı) | |
| Max Blade Dia. | Ø58 mm | |
| X oxu | Kəsmə diapazonu | 310 mm |
| Y oxu | Kəsmə diapazonu | 310 mm |
| Addım Artımı | 0.0001 mm | |
| Mövqeləndirmə Dəqiqliyi | ≤0.003 mm/310 mm, ≤0.002 mm/5 mm (tək xəta) | |
| Z oxu | Hərəkət Qətnaməsi | 0.00005 mm |
| Təkrarlanabilirlik | 0.001 mm | |
| θ-ox | Maksimum fırlanma | 380 dərəcə |
| Mili Növü | Tək mili, halqa kəsmə üçün sərt bıçaqla təchiz olunmuşdur | |
| Halqa Kəsmə Dəqiqliyi | μm | ±50 |
| Vafli Yerləşdirmə Dəqiqliyi | μm | ±50 |
| Tək Vafer Səmərəliliyi | dəq/vafli | 8 |
| Çoxqatlı lövhə səmərəliliyi | Eyni anda 4-ə qədər vafli emal olunur | |
| Avadanlıq Çəkisi | kg | ≈3,200 |
| Avadanlıq Ölçüləri (E×D×H) | mm | 2730 × 1550 × 2070 |
Əməliyyat prinsipi
Sistem bu əsas texnologiyalar vasitəsilə müstəsna kəsmə performansına nail olur:
1. Ağıllı Hərəkət Nəzarət Sistemi:
· Yüksək dəqiqlikli xətti mühərrik sürücüsü (təkrar yerləşdirmə dəqiqliyi: ±0.5μm)
· Mürəkkəb trayektoriya planlaşdırmasını dəstəkləyən altı oxlu sinxron idarəetmə
· Kəsmə sabitliyini təmin edən real vaxt vibrasiya basqısı alqoritmləri
2. Qabaqcıl Aşkarlama Sistemi:
· İnteqrasiya olunmuş 3D lazer hündürlük sensoru (dəqiqlik: 0.1μm)
· Yüksək qətnaməli CCD vizual yerləşdirmə (5 meqapiksel)
· Onlayn keyfiyyət yoxlaması modulu
3. Tam Avtomatlaşdırılmış Proses:
· Avtomatik yükləmə/boşaltma (FOUP standart interfeysi ilə uyğundur)
· Ağıllı çeşidləmə sistemi
· Qapalı dövrəli təmizləmə qurğusu (təmizlik: 10-cu sinif)
Tipik Tətbiqlər
Bu avadanlıq yarımkeçirici istehsal tətbiqlərində əhəmiyyətli dəyər təmin edir:
| Tətbiq Sahəsi | Proses materialları | Texniki üstünlüklər |
| İnteqrasiya olunmuş İnteqrasiya İstehsalı | 8/12 düymlük silikon lövhələr | Litoqrafiya uyğunlaşmasını gücləndirir |
| Güc Cihazları | SiC/GaN lövhələri | Kenar qüsurlarının qarşısını alır |
| MEMS Sensorları | SOI vafliləri | Cihazın etibarlılığını təmin edir |
| RF Cihazları | GaAs vafliləri | Yüksək tezlikli performansı artırır |
| Qabaqcıl Qablaşdırma | Bərpa olunmuş vaflilər | Qablaşdırma məhsuldarlığını artırır |
Xüsusiyyətlər
1. Yüksək emal səmərəliliyi üçün dörd stansiyalı konfiqurasiya;
2. TAIKO halqasının sabit şəkildə bağlanması və çıxarılması;
3. Əsas istehlak materialları ilə yüksək uyğunluq;
4. Çox oxlu sinxron kəsmə texnologiyası dəqiq kənar kəsməni təmin edir;
5. Tam avtomatlaşdırılmış proses axını əmək xərclərini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır;
6. Xüsusi iş masası dizaynı xüsusi strukturların sabit emalına imkan verir;
Funksiyalar
1. Halqa düşməsini aşkarlama sistemi;
2. Avtomatik iş masasının təmizlənməsi;
3. Ağıllı UB şüalanmanı aradan qaldırma sistemi
4. Əməliyyat jurnalının qeydi;
5. Zavod avtomatlaşdırma modulu inteqrasiyası;
Xidmət Öhdəliyi
XKH, istehsal səyahətiniz boyunca avadanlıqların performansını və əməliyyat səmərəliliyini maksimum dərəcədə artırmaq üçün hazırlanmış hərtərəfli, tam həyat dövrü dəstək xidmətləri təqdim edir.
1. Fərdiləşdirmə Xidmətləri
· Xüsusi Avadanlıq Konfiqurasiyası: Mühəndislik qrupumuz, müəyyən material xüsusiyyətlərinə (Si/SiC/GaAs) və proses tələblərinə əsaslanaraq sistem parametrlərini (kəsmə sürəti, bıçaq seçimi və s.) optimallaşdırmaq üçün müştərilərlə sıx əməkdaşlıq edir.
· Proses İnkişafına Dəstək: Biz kənarların pürüzlülüyünün ölçülməsi və qüsur xəritələşdirilməsi daxil olmaqla ətraflı təhlil hesabatları ilə nümunə emalı təklif edirik.
· Sərfiyyat Materiallarının Birgə İnkişafı: Yeni materiallar (məsələn, Ga₂O₃) üçün, tətbiqə xas bıçaqlar/lazer optikaları hazırlamaq üçün aparıcı istehlak materialları istehsalçıları ilə tərəfdaşlıq edirik.
2. Peşəkar Texniki Dəstək
· Yerində Xüsusi Dəstək: Kritik yüksəliş mərhələləri (adətən 2-4 həftə) üçün sertifikatlı mühəndislər təyin edin, bunlar aşağıdakıları əhatə edir:
Avadanlığın kalibrlənməsi və proseslərin dəqiq tənzimlənməsi
Operator səriştəsi təlimi
ISO 5 Sinif Təmiz Otaq İnteqrasiyası üzrə Təlimat
· Proqnozlaşdırıcı Baxım: Planlaşdırılmamış dayanmaların qarşısını almaq üçün vibrasiya təhlili və servo motor diaqnostikası ilə rüblük texniki xidmət yoxlamaları.
· Uzaqdan Monitorinq: Avtomatlaşdırılmış anomaliya xəbərdarlıqları ilə IoT platformamız (JCFront Connect®) vasitəsilə avadanlıqların real vaxt rejimində işləməsinin izlənməsi.
3. Əlavə Dəyər Verən Xidmətlər
· Proses Bilikləri Bazası: Müxtəlif materiallar üçün 300+ təsdiqlənmiş kəsmə reseptinə daxil olun (rüblük yenilənir).
· Texnologiya Yol Xəritəsinin Uyğunlaşdırılması: Aparat/proqram təminatı yeniləmə yolları (məsələn, süni intellekt əsaslı qüsur aşkarlama modulu) ilə investisiyanızı gələcəyə doğru qurun.
· Təcili Yardım: 4 saatlıq məsafədən diaqnoz və 48 saatlıq yerində müdaxilə (qlobal əhatə dairəsi) təmin edilir.
4. Xidmət İnfrastrukturu
· Performans Zəmanəti: SLA ilə dəstəklənən cavab müddətləri ilə ≥98% avadanlıq işləmə müddətinə dair müqavilə öhdəliyi.
Davamlı Təkmilləşdirmə
Biz ildə iki dəfə müştəri məmnuniyyəti sorğuları keçiririk və xidmət göstərilməsini artırmaq üçün Kaizen təşəbbüslərini tətbiq edirik. Tədqiqat və İnkişaf qrupumuz sahə məlumatlarını avadanlıqların təkmilləşdirilməsinə çevirir - proqram təminatının təkmilləşdirilməsinin 30%-i müştəri rəylərindən qaynaqlanır.
