Safir SiC Si üçün ion şüa cilalama maşını

Safir SiC Si üçün İon Şüalı Cilalama Maşını Xüsusi Şəkil

Qısa təsvir:

İon şüası ilə cilalama və cilalama maşını prinsipinə əsaslanırion püskürməsi. Yüksək vakuumlu kameranın içərisində ion mənbəyi yüksək enerjili ion şüasına çevrilən plazma əmələ gətirir. Bu şüa optik komponentin səthini bombalayır, səthi ultra dəqiq korreksiyaya və bitirməyə nail olmaq üçün atom miqyasında materialı çıxarır.

Bizə e-poçt göndərin

Xüsusiyyətlər

Ətraflı Diaqram

İon şüa cilalama maşınının məhsula baxışı

İon Şüasını Fiqurlaşdırma və Cilalama Maşını ion püskürtmə prinsipinə əsaslanır. Yüksək vakuumlu kameranın içərisində ion mənbəyi yüksək enerjili ion şüasına çevrilən plazma əmələ gətirir. Bu şüa optik komponentin səthini bombalayır, səthi ultra dəqiq korreksiyaya və bitirməyə nail olmaq üçün atom miqyasında materialı çıxarır.

Təmassız bir proses olaraq, ion şüalarının cilalanması mexaniki gərginliyi aradan qaldırır və yeraltı zədələnmənin qarşısını alır, bu da onu astronomiya, aerokosmik, yarımkeçiricilər və qabaqcıl tədqiqat tətbiqlərində istifadə olunan yüksək dəqiqlikli optikaların istehsalı üçün ideal edir.

İon şüa cilalama maşınının iş prinsipi

İonların yaranması
İnert qaz (məsələn, arqon) vakuum kamerasına daxil edilir və plazma əmələ gətirmək üçün elektrik boşalması vasitəsilə ionlaşdırılır.

Sürətləndirmə və Şüa Yaratma
İonlar bir neçə yüz və ya min elektron volta (eV) qədər sürətlənir və sabit, fokuslanmış şüa nöqtəsinə çevrilir.

Materialın çıxarılması
İon şüası kimyəvi reaksiyalara başlamadan atomları səthdən fiziki olaraq püskürür.

Səhvlərin aşkarlanması və yolun planlaşdırılması
Səth fiqurunun sapmaları interferometriya ilə ölçülür. Silinmə funksiyaları dayanma vaxtlarını təyin etmək və optimallaşdırılmış alət yollarını yaratmaq üçün tətbiq edilir.

Qapalı Döngə Korreksiyası
Emal və ölçmənin təkrarlanan dövrləri RMS/PV dəqiqliyi hədəflərinə çatana qədər davam edir.

İon şüa cilalama maşınının əsas xüsusiyyətləri

Universal Səth Uyğunluğu– Düz, sferik, asferik və sərbəst formalı səthləri emal edir

Ultra-stabil Silinmə dərəcəsi– Sub-nanometr rəqəm korreksiyasına imkan verir

Zərərsiz Emal– Yeraltı qüsurlar və ya struktur dəyişiklikləri yoxdur

Davamlı Performans– Müxtəlif sərtlikdəki materiallarda eyni dərəcədə yaxşı işləyir

Aşağı/Orta Tezlik Korreksiyası– Orta/yüksək tezlikli artefaktlar yaratmadan səhvləri aradan qaldırır

Aşağı Baxım Tələbləri– Minimum fasilələrlə uzun fasiləsiz işləmə

İon şüa cilalama maşınının əsas texniki xüsusiyyətləri

Maddə	Spesifikasiya
Emal üsulu	Yüksək vakuumlu mühitdə ion püskürməsi
Emal növü	Qeyri-təmas səthinin düzəldilməsi və cilalanması
Maksimum iş parçasının ölçüsü	Φ4000 mm
Hərəkət oxları	3-oxlu / 5-oxlu
Silinmə Sabitliyi	≥95%
Səthin dəqiqliyi	PV < 10 nm; RMS ≤ 0,5 nm (tipik RMS < 1 nm; PV < 15 nm)
Tezlik Korreksiyası İmkanı	Orta/yüksək tezlikli xətaları təqdim etmədən aşağı-orta tezlikli xətaları aradan qaldırır
Davamlı Əməliyyat	Vakuum baxımı olmadan 3-5 həftə
Baxım Xərci	Aşağı

İon şüa cilalama maşınının emal imkanları

Dəstəklənən Səth növləri

Sadə: Düz, sferik, prizma

Kompleks: simmetrik/asimmetrik asfera, oxdan kənar asfera, silindrik

Xüsusi: Ultra nazik optika, lamel optika, yarımkürə optika, konformal optika, faza plitələri, sərbəst forma səthlər

Dəstəklənən Materiallar

Optik şüşə: Kvars, mikrokristal, K9 və s.

İnfraqırmızı materiallar: Silikon, germanium və s.

Metallar: Alüminium, paslanmayan polad, titan ərintisi və s.

Kristallar: YAG, monokristal silisium karbid və s.

Sərt/kövrək materiallar: Silikon karbid və s.

Səthin Keyfiyyəti / Dəqiqliyi

PV < 10 nm

RMS ≤ 0,5 nm

Ion Beam Cilalama Maşın Emal Case Studies

Case 1 – Standart Düz Güzgü

İş parçası: D630 mm kvars düz

Nəticə: PV 46,4 nm; RMS 4.63 nm

2-ci hal – X-şüalarını əks etdirən güzgü

İş parçası: 150 × 30 mm silikon düz

Nəticə: PV 8,3 nm; RMS 0,379 nm; Yamac 0.13 µrad

Case 3 – Oxdan kənar güzgü

İş parçası: D326 mm oxdan kənar yer güzgüsü

Nəticə: PV 35,9 nm; RMS 3.9 nm

Kvars eynəkləri haqqında tez-tez verilən suallar

Tez-tez verilən suallar – İon şüa cilalama maşını

S1: İon şüasının cilalanması nədir?
A1:İon şüasının cilalanması iş parçasının səthindən materialı çıxarmaq üçün fokuslanmış ion şüasından (məsələn, arqon ionları) istifadə edən təmassız bir prosesdir. İonlar sürətlənir və səthə doğru yönəldilir, atom səviyyəsində materialın çıxarılmasına səbəb olur və nəticədə ultra hamar bitirmə əldə edilir. Bu proses mexaniki gərginliyi və yeraltı zədələri aradan qaldıraraq onu dəqiq optik komponentlər üçün ideal hala gətirir.

S2: Ion Beam Cilalama Maşını hansı səthləri emal edə bilər?
A2:Theİon şüa cilalama maşınıkimi sadə optik komponentlər də daxil olmaqla müxtəlif səthləri emal edə bilirdüzlər, kürələr və prizmalarkimi mürəkkəb həndəsələr kimiasferlər, oxdan kənar asferlər, vəsərbəst formalı səthlər. Xüsusilə optik şüşə, infraqırmızı optika, metallar və sərt/kövrək materiallar kimi materiallarda effektivdir.

3-cü sual: İon şüa cilalama maşını hansı materiallarla işləyə bilər?
A3:Theİon şüa cilalama maşınıgeniş çeşidli materialları cilalaya bilər, o cümlədən:

Optik şüşə: Kvars, mikrokristal, K9 və s.
İnfraqırmızı materiallar: Silikon, germanium və s.
Metallar: Alüminium, paslanmayan polad, titan ərintisi və s.
Kristal materiallar: YAG, monokristal silisium karbid və s.
Digər sərt/kövrək materiallar: silisium karbid və s.

Haqqımızda

XKH xüsusi optik şüşə və yeni kristal materialların yüksək texnologiyalı inkişafı, istehsalı və satışı üzrə ixtisaslaşmışdır. Məhsullarımız optik elektronika, istehlak elektronikası və orduya xidmət edir. Biz Sapphire optik komponentləri, mobil telefon linzaları, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Kvars və yarımkeçirici kristal vafliləri təklif edirik. Bacarıqlı təcrübə və qabaqcıl avadanlıqla, biz qabaqcıl optoelektronik materialların yüksək texnologiyalı müəssisəsi olmağı qarşısına məqsəd qoyaraq qeyri-standart məhsul emalı sahəsində üstünyük.