5G/6G Rabitə üçün LiTaO3 Wafer 2 düym-8 düym 10x10x0.5 mm 1 ədəd 2 ədəd
Texniki parametrlər
| Ad | Optik dərəcəli LiTaO3 | Səs cədvəli səviyyəsi LiTaO3 |
| Oxvari | Z kəsimi + / - 0.2 ° | 36 ° Y kəsim / 42 ° Y kəsim / X kəsim (+ / - 0.2 °) |
| Diametr | 76.2mm + / - 0.3mm/ 100±0.2mm | 76.2mm + /-0.3mm 100 mm + /-0.3 mm 0r 150±0.5 mm |
| Datum müstəvisi | 22mm + / - 2mm | 22mm + /-2mm 32mm + /-2mm |
| Qalınlıq | 500 mkm + /-5 mm 1000 mkm + /-5 mm | 500 mkm + /-20 mm 350 mkm + /-20 mm |
| TTV | ≤ 10um | ≤ 10um |
| Küri temperaturu | 605 °C + / - 0.7 °C (DTA metodu) | 605 °C + / -3 °C (DTA metodu |
| Səth keyfiyyəti | İki tərəfli cilalama | İki tərəfli cilalama |
| Kənarları yivlənmiş | kənar yuvarlaqlaşdırma | kənar yuvarlaqlaşdırma |
Əsas Xüsusiyyətlər
1. Elektrik və Optik Performans
· Elektro-Optik Əmsal: r33 30 pm/V-yə (X-kəsik) çatır ki, bu da LiNbO3-dən 1,5 dəfə yüksəkdir və ultra genişzolaqlı elektro-optik modulyasiyaya (>40 GHz bant genişliyi) imkan verir.
· Geniş Spektral Cavab: Ötürmə diapazonu 0.4–5.0 μm (8 mm qalınlıq), ultrabənövşəyi şüalanmanın udma kənarı 280 nm-ə qədərdir, UB lazerləri və kvant nöqtə cihazları üçün idealdır.
· Aşağı Piroelektrik Əmsal: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), yüksək temperaturlu infraqırmızı sensorlarda sabitliyi təmin edir.
2. İstilik və mexaniki xüsusiyyətlər
· Yüksək İstilik Keçiriciliyi: 4.6 Vt/m·K (X-kəsik), kvarsdan dörd dəfə çox, -200–500°C istilik dövriyyəsinə davam gətirir.
· Aşağı İstilik Genişlənmə Əmsalı: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), istilik gərginliyini minimuma endirmək üçün silikon qablaşdırma ilə uyğundur.
3. Qüsurların İdarə Edilməsi və Emal Dəqiqliyi
· Mikroboru Sıxlığı: <0.1 sm⁻² (8 düymlük lövhələr), dislokasiya sıxlığı <500 sm⁻² (KOH aşındırma ilə təsdiqlənmişdir).
· Səth Keyfiyyəti: Ra <0.5 nm-ə qədər CMP ilə cilalanmış, EUV litoqrafiya dərəcəli düzlük tələblərinə cavab verir.
Əsas Tətbiqlər
| Domen | Tətbiq Ssenariləri | Texniki üstünlüklər |
| Optik Rabitə | 100G/400G DWDM lazerləri, silikon fotonika hibrid modulları | LiTaO3 lövhəsinin geniş spektral ötürücüsü və aşağı dalğaötürücü itkisi (α <0.1 dB/sm3) C-zolaq genişlənməsinə imkan verir. |
| 5G/6G Rabitə | SAW filtrləri (1.8–3.5 GHz), BAW-SMR filtrləri | 42°Y kəsimli lövhələr Kt² >15% -ə çatır və aşağı daxiletmə itkisi (<1.5 dB) və yüksək yuvarlanma (>30 dB) təmin edir. |
| Kvant Texnologiyaları | Tək fotonlu detektorlar, parametrik aşağı çevirmə mənbələri | Yüksək qeyri-xətti əmsal (χ(2)=40 pm/V) və aşağı qaranlıq sayma sürəti (<100 say/s) kvant dəqiqliyini artırır. |
| Sənaye Zondlama | Yüksək temperaturlu təzyiq sensorları, cərəyan transformatorları | LiTaO3 lövhəsinin pyezoelektrik reaksiyası (g33 >20 mV/m) və yüksək temperatur tolerantlığı (>400°C) ekstremal mühitlərə uyğundur. |
XXKH Xidmətləri
1. Xüsusi Vafli İstehsalı
· Ölçü və Kəsmə: X/Y/Z kəsimli, 42°Y kəsimli və xüsusi bucaqlı kəsimli 2–8 düymlük lövhələr (±0.01° tolerantlıq).
· Dopinq Nəzarəti: Elektro-optik əmsalları və istilik stabilliyini optimallaşdırmaq üçün Çozralski metodu ilə Fe, Mg dopinqləmə (konsentrasiya diapazonu 10¹⁶–10¹⁹ sm⁻³).
2. Qabaqcıl Proses Texnologiyaları
-
· Dövri Cilalama (PPLT): LTOI lövhələri üçün Smart-Cut texnologiyası, ±10 nm domen dövrü dəqiqliyinə və kvazifaza uyğun (QPM) tezlik çevrilməsinə nail olmaq.
· Heterojen İnteqrasiya: Yüksək tezlikli SAW filtrləri üçün qalınlıq nəzarəti (300–600 nm) və 8,78 Vt/m·K-ə qədər istilik keçiriciliyi olan Si əsaslı LiTaO3 kompozit lövhələr (POI).
3. Keyfiyyət İdarəetmə Sistemləri
-
· Başdan-ayağa sınaq: Raman spektroskopiyası (politip yoxlaması), XRD (kristallıq), AFM (səth morfologiyası) və optik vahidlik testi (Δn <5×10⁻⁵).
4.Qlobal Təchizat Zəncirinə Dəstək
-
· İstehsal gücü: Aylıq istehsal >5000 lövhə (8 düym: 70%), 48 saat təcili çatdırılma ilə.
· Logistika Şəbəkəsi: Hava/dəniz yükləri vasitəsilə temperatur nəzarətli qablaşdırma ilə Avropa, Şimali Amerika və Asiya-Sakit okean regionunda əhatə dairəsi.
