8 düymlük SiC bildirişinin uzunmüddətli davamlı təchizatı

Hazırda şirkətimiz 8inchN tipli SiC vaflilərinin kiçik partiyasını tədarük etməyə davam edə bilər, əgər nümunə ehtiyacınız varsa, lütfən mənimlə əlaqə saxlayın. Göndərməyə hazır bir neçə nümunə vaflilərimiz var.

8 düymlük SiC bildirişinin uzunmüddətli davamlı təchizatı
8 düymlük SiC bildirişinin uzunmüddətli davamlı təchizatı1

Yarımkeçirici materiallar sahəsində şirkət böyük ölçülü SiC kristallarının tədqiqi və inkişafında böyük bir irəliləyiş əldə etdi. Diametri bir neçə dəfə böyütdükdən sonra öz toxum kristallarından istifadə edərək, şirkət 8 düymlük N-tipli SiC kristallarını uğurla yetişdirdi ki, bu da qeyri-bərabər temperatur sahəsi, kristal krekinq və qaz fazasının xammalın böyüməsi prosesində paylanması kimi çətin problemləri həll edir. 8 düymlük SIC kristalları və böyük ölçülü SIC kristallarının böyüməsini və avtonom və idarə olunan emal texnologiyasını sürətləndirir. SiC monokristal substrat sənayesində şirkətin əsas rəqabət qabiliyyətini əhəmiyyətli dərəcədə artırır. Eyni zamanda, şirkət böyük ölçülü silisium karbid substratının hazırlanması eksperimental xəttinin texnologiyasının və prosesinin yığılmasını fəal şəkildə təşviq edir, yuxarı və aşağı axın sahələrində texniki mübadilə və sənaye əməkdaşlığı gücləndirir və məhsulun performansını daim təkrarlamaq üçün müştərilərlə əməkdaşlıq edir və birgə silisium karbid materiallarının sənaye tətbiqi sürətini təşviq edir.

8 düym N tipli SiC DSP Xüsusiyyətləri

Nömrə Maddə Vahid İstehsal Araşdırma dummy
1. Parametrlər
1.1 politip -- 4H 4H 4H
1.2 səth oriyentasiyası ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Elektrik parametri
2.1 dopant -- n-tipli azot n-tipli azot n-tipli azot
2.2 müqavimət ohm · sm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Mexaniki parametr
3.1 diametri mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 qalınlığı μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Çentik oriyentasiyası ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Çəngəl dərinliyi mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 LTV μm ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Yay μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Çarpma μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0.2 Ra≤0.2 Ra≤0.2
4. Quruluş
4.1 mikroborunun sıxlığı e/sm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 metal tərkibi atomlar/sm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD e/sm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD e/sm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED e/sm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Müsbət keyfiyyət
5.1 ön -- Si Si Si
5.2 səthi bitirmə -- Si-üzlü CMP Si-üzlü CMP Si-üzlü CMP
5.3 hissəcik ea / gofret ≤100(ölçü≥0.3μm) NA NA
5.4 cızmaq ea / gofret ≤5,Ümumi Uzunluq≤200mm NA NA
5.5 Kənar
çiplər / girintilər / çatlar / ləkələr / çirklənmə
-- Heç biri Heç biri NA
5.6 Politip sahələr -- Heç biri Sahə ≤10% Sahə ≤30%
5.7 ön işarələmə -- Heç biri Heç biri Heç biri
6. Arxa keyfiyyət
6.1 arxa finiş -- C üzlü deputat C üzlü deputat C üzlü deputat
6.2 cızmaq mm NA NA NA
6.3 Arxa qüsurların kənarı
çiplər / girintilər
-- Heç biri Heç biri NA
6.4 Arxa pürüzlülük nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Geri işarələmə -- çentik çentik çentik
7. Kənar
7.1 kənar -- pax pax pax
8. Paket
8.1 qablaşdırma -- Vakuum ilə epi-hazır
qablaşdırma
Vakuum ilə epi-hazır
qablaşdırma
Vakuum ilə epi-hazır
qablaşdırma
8.2 qablaşdırma -- Çox vafli
kaset qablaşdırması
Çox vafli
kaset qablaşdırması
Çox vafli
kaset qablaşdırması

Göndərmə vaxtı: 18 aprel 2023-cü il